靶材组件的制作方法技术

一种靶材组件的制作方法，包括：提供镍靶材坯料和背板，所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽；利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层；利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层；将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽，利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合，以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。本发明专利技术能够使超高纯镍靶材与背板进行可靠性结合，焊接效率高并且焊接缺陷率小，满足长期稳定生产、使用靶材的需要。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：提供镍靶材坯料和背板，所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽；利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层；利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层；将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽，利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合，以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，相原俊夫，大岩一彦，潘杰，王学泽，何梅，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：