一种硅片加工生产用连续检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片加工生产用连续检测装置，包括设备机架，所述设备机架的下端固定安装有可调支脚，所述设备机架的外侧活动安装有检修箱，所述设备机架的上端固定安装有主控箱，所述主控箱的外侧预留有散热孔，所述设备机架的上端外侧活动安装有观察门，所述设备机架内活动安装有检测室，所述检测室内活动安装有输送带，所述设备机架的一端活动安装有上料台，所述上料台的上端活动安装有上料架，所述设备机架的另一端活动安装有出料台。该硅片加工生产用连续检测装置，整体设备减少操作人员和产品之间相互接触的次数，能够更好保护产品，防止出现工作人员失手将产品损坏的问题，降低操作时候失误率，更好进行生产工作，提高产品的合格率。

A continuous testing device for silicon wafer processing and production

The invention discloses a continuous detection device for silicon wafer processing and production, which includes a device frame, the lower end of the device frame is fixedly installed with adjustable feet, the outer side of the device frame is movably installed with a maintenance box, the upper end of the device frame is fixedly installed with a main control box, the outer side of the main control box is reserved with a heat sink, and the outer side of the upper end of the device frame is movably installed with a view Inspection door, the inspection room is installed in the equipment rack, the inspection room is installed with conveyor belt, one end of the equipment rack is installed with loading platform, the upper end of the loading platform is installed with loading rack, and the other end of the equipment rack is installed with discharging platform. The continuous detection device for silicon wafer processing and production can reduce the number of contact between operators and products, better protect products, prevent the problem of product damage caused by staff failure, reduce the error rate during operation, better carry out production work, and improve the qualified rate of products.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工生产用连续检测装置
本专利技术涉及硅片生产
，具体为一种硅片加工生产用连续检测装置。
技术介绍
硅是地壳中储量最丰富的元素之一，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，而现在的一般生产的是单晶和多晶硅，其特点是光电转换效率高、寿命长且稳定性好，单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天，利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能，实现了迈向绿色能源革命的开始。然而，现有市场上在进行硅片加工生产的时候，一般都是使用人工进行检测的工作，有规则的硅片外形检测主要由人工肉眼去观察，或使用简单的镜头进行检测，这种利用人工肉眼检测的方式，不仅工作效率低，误检率也非常高，且在取拿硅片的过程易造成硅片的损坏和污染，而且现在的检测设备还需要人工进行上下料，非常的麻烦，而在只能够进行单一的检测工作，还需要设备额外的设备进行其余的检测的工作，增加了企业的成本，需要进行额外设备的购置，还需要增加工人进行工作，生产加工的速度较慢，生产的效率不高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片加工生产用连续检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有市场上在进行硅片加工生产的时候，一般都是使用人工进行检测的工作，有规则的硅片外形检测主要由人工肉眼去观察，或使用简单的镜头进行检测，这种利用人工肉眼检测的方式，不仅工作效率低，误检率也非常高，且在取拿硅片的过程易造成硅片的损坏和污染，而且现在的检测设备还需要人工进行上下料，非常的麻烦，而在只能够进行单一的检测工作，还需要设备额外的设备进行其余的检测的工作，增加了企业的成本，需要进行额外设备的购置，还需要增加工人进行工作，生产加工的速度较慢，生产效率不高的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片加工生产用连续检测装置，包括设备机架，所述设备机架的下端固定安装有可调支脚，所述设备机架的外侧活动安装有检修箱，所述设备机架的上端固定安装有主控箱，所述主控箱的外侧预留有散热孔，所述设备机架的上端外侧活动安装有观察门，所述设备机架内活动安装有检测室，所述检测室内活动安装有输送带，所述设备机架的一端活动安装有上料台，所述上料台的上端活动安装有上料架，所述设备机架的另一端活动安装有出料台，所述出料台的上端活动安装有存料架，所述上料台和出料台上固定安装有转运架，所述设备机架内活动安装有摄像头，所述摄像头靠近出料台的一端活动安装有测量器，所述测量器的下端活动安装有检测架。优选的，所述设备机架的下端活动安装装有四个相互对称的可调支脚，且可调支脚在上料台和出料台的下端对称设置有四个，并且可调支脚在初始状态下处于同一水平位置。优选的，所述主控箱为矩形结构设计，且主控箱上对称设置有三组散热孔，并且散热孔为矩形结构设计。优选的，所述输送带的下端固定安装有安装支架，所述安装支架的上端活动安装有防护挡板，所述防护挡板内活动安装有传动滚轮，所述传动滚轮的两端对称设置有转动轴，所述传动滚轮上活动安装有防滑条。优选的，所述转运架的下端固定安装有固定底座，所述固定底座上活动安装有固定螺丝，所述固定底座的上端固定安装有连接柱，所述连接柱的上端活动安装有防护罩，所述防护罩的下端活动安装有连接臂，所述连接臂的外侧固定安装有升降气缸，所述升降气缸的下端固定安装有安装连接板，所述安装连接板的下端活动安装有连接安装座，所述连接安装座的下端活动安装有吸物盘。优选的，所述防护罩的内侧活动安装有旋转电机，所述旋转电机的下端活动安装有输出轴，所述输出轴的下端活动安装有定位底板，所述定位底板和旋转电机之间活动安装有连接轴承。优选的，所述吸物盘的下端活动安装有固定连接板，所述固定连接板上活动安装有柔性垫层，所述柔性垫层上活动安装有取物吸盘，所述固定连接板的外侧活动安装有吸气接头。优选的，所述测量器的上端活动安装有驱动气缸，所述驱动气缸的下端活动安装有连接支架，所述连接支架的下端活动安装有测量板，所述测量板的下端活动安装有卡接底板，所述卡接底板的一端活动安装有连接线座。优选的，所述检测架上固定安装有相互对称的三个限位柱，所述检测架内固定安装有相互对称的六个固定连接架。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该硅片加工生产用连续检测装置，采用自动化的结构设计，在进行工作的时候，操作人员只需要将需要进行检测的产品放置到上料装置上之后，就能够在设备的控制下，进行检测的工作；整体设备减少操作人员和产品之间相互接触的次数，能够更好保护产品，防止出现工作人员失手将产品损坏的问题，降低操作时候的失误率，更好的进行生产的工作，提高产品的合格率；同时增加了能够进行厚度测量的装置，能够在进行过形状的检测之后，再进行厚度上的检测，实现一机多用，能够减少后续生产时候的工作步骤，同时采用吸盘式的转运装置，能够更好的进行工作，同时保护产品，提高工作的速度和效率，帮助企业节约成本。附图说明图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术转运架结构示意图；图3为本专利技术吸物盘结构示意图；图4为本专利技术输送带结构示意图；图5为本专利技术内部结构示意图；图6为本专利技术检测架结构示意图；图7为本专利技术检测器结构示意图；图8为本专利技术驱动结构示意图。图中：1、设备机架；2、可调支脚；3、检修箱；4、主控箱；5、散热孔；6、观察门；7、检测室；8、输送带；81、安装支架；82、防护挡板；83、传动滚轮；84、转动轴；85、防滑条；9、上料台；10、出料台；11、上料架；12、存料架；13、转运架；131、固定底座；132、固定螺丝；133、连接柱；134、防护罩；1341、旋转电机；1342、输出轴；1343、定位底板；1344、连接轴承；135、连接臂；136、升降气缸；137、安装连接板；138、连接安装座；139、吸物盘；1391、固定连接板；1392、柔性垫层；1393、取物吸盘；1394、吸气接头；14、摄像头；15、测量器；151、驱动气缸；152、连接支架；153、测量板；154、卡接底板；155、连接线座；16、检测架；161、限位柱；162、固定连接架。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-8，本专利技术提供一种技术方案：一种硅片加工生产用连续检测装置，包括设备机架1，设备机架1的下端固定安装有可调支脚2，设备机架1的外侧活动安装有检修箱3，设备机架1的上端固定安装有主控箱4，主控箱4的外侧预留有散热孔5，设备机架1的上端外侧活动安装有观察门6，设备机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片加工生产用连续检测装置，包括设备机架(1)，其特征在于：所述设备机架(1)的下端固定安装有可调支脚(2)，所述设备机架(1)的外侧活动安装有检修箱(3)，所述设备机架(1)的上端固定安装有主控箱(4)，所述主控箱(4)的外侧预留有散热孔(5)，所述设备机架(1)的上端外侧活动安装有观察门(6)，所述设备机架(1)内活动安装有检测室(7)，所述检测室(7)内活动安装有输送带(8)，所述设备机架(1)的一端活动安装有上料台(9)，所述上料台(9)的上端活动安装有上料架(11)，所述设备机架(1)的另一端活动安装有出料台(10)，所述出料台(10)的上端活动安装有存料架(12)，所述上料台(9)和出料台(10)上固定安装有转运架(13)，所述设备机架(1)内活动安装有摄像头(14)，所述摄像头(14)靠近出料台(10)的一端活动安装有测量器(15)，所述测量器(15)的下端活动安装有检测架(16)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工生产用连续检测装置，包括设备机架(1)，其特征在于：所述设备机架(1)的下端固定安装有可调支脚(2)，所述设备机架(1)的外侧活动安装有检修箱(3)，所述设备机架(1)的上端固定安装有主控箱(4)，所述主控箱(4)的外侧预留有散热孔(5)，所述设备机架(1)的上端外侧活动安装有观察门(6)，所述设备机架(1)内活动安装有检测室(7)，所述检测室(7)内活动安装有输送带(8)，所述设备机架(1)的一端活动安装有上料台(9)，所述上料台(9)的上端活动安装有上料架(11)，所述设备机架(1)的另一端活动安装有出料台(10)，所述出料台(10)的上端活动安装有存料架(12)，所述上料台(9)和出料台(10)上固定安装有转运架(13)，所述设备机架(1)内活动安装有摄像头(14)，所述摄像头(14)靠近出料台(10)的一端活动安装有测量器(15)，所述测量器(15)的下端活动安装有检测架(16)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片加工生产用连续检测装置，其特征在于：所述设备机架(1)的下端活动安装装有四个相互对称的可调支脚(2)，且可调支脚(2)在上料台(9)和出料台(10)的下端对称设置有四个，并且可调支脚(2)在初始状态下处于同一水平位置。


3.根据权利要求1所述的一种硅片加工生产用连续检测装置，其特征在于：所述主控箱(4)为矩形结构设计，且主控箱(4)上对称设置有三组散热孔(5)，并且散热孔(5)为矩形结构设计。


4.根据权利要求1所述的一种硅片加工生产用连续检测装置，其特征在于：所述输送带(8)的下端固定安装有安装支架(81)，所述安装支架(81)的上端活动安装有防护挡板(82)，所述防护挡板(82)内活动安装有传动滚轮(83)，所述传动滚轮(83)的两端对称设置有转动轴(84)，所述传动滚轮(83)上活动安装有防滑条(85)。


5.根据权利要求1所述的一种硅片加工生产用连续检测装置，其特征在于：所述转运架(13)的下端固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉庆，胡苏安，
申请(专利权)人：马鞍山致青工业设计有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34