一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法技术

本发明专利技术公开了一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，包括以下步骤：S1.在干锅炉外壳体内设有固定托盘，将三组石墨坩埚托盘固定在固定托盘上，组成石墨坩埚；S2.将石英坩埚放在石墨坩埚上，通过三组石墨坩埚托盘对石英坩埚进行夹持；S3.干锅炉顶座与干锅炉外壳体通过环形固定螺栓和环形螺栓槽螺接固定；S4.开始对单品硅进行加工生产；该热场坩埚的安装和加持方法，不仅解决了原有坩埚安装调节麻烦，速度慢的问题，同时采用新的加持方式，让坩埚的安装更加便捷，出现故障时，检修更换更加方便，从而达到提高生产效率，降低维修难度，节约时间的目的。

A high efficiency installation and clamping method of single product silicon hot field crucible

The invention discloses an efficient installation and clamping method for single product silicon hot field crucible, which comprises the following steps: S1. A fixed tray is arranged in the shell of the dry boiler, three groups of graphite crucible trays are fixed on the fixed tray to form a graphite crucible; S2. A quartz crucible is placed on the graphite crucible, and the quartz crucible is clamped by three groups of graphite crucible trays; S3. The top seat of the dry boiler and the dry boiler The shell body is fixed by the ring fixed bolt and the ring bolt groove; S4. The single product silicon is processed and produced; the installation and holding method of the crucible in the heat field not only solves the problems of the original crucible installation and adjustment, but also solves the problems of slow speed. At the same time, the new holding method is adopted to make the installation of the crucible more convenient. In case of failure, the maintenance and replacement are more convenient, so as to achieve the improvement Production efficiency, reduce maintenance difficulty, save time.

【技术实现步骤摘要】
一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法
本专利技术属于单品硅热场坩埚安装夹持
，具体涉及一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法。
技术介绍
单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导电，但导电率不及金属，且随着温度升高而增加，具有半导体性质，是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，在开发能源方面是一种很有前途的材料。现有的单品硅热场坩埚在工艺使用过程中，没有一个较好的安装方法，导致在单品硅制备前，需要很长的准备时间，而且锅炉基本焊接固定死，不能进行有效调节，当出现故障进行维修更换，变得十分棘手，不仅浪费大量时间，而且还不易拆卸，影响生产加工的效率，给工艺带来不便。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，以解决上述背景技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1.在干锅炉外壳体（10）内设有固定托盘（12），将三组石墨坩埚托盘（18）固定在固定托盘（12）上，组成石墨坩埚（6）；/nS2.将石英坩埚（13）放在石墨坩埚（6）上，通过三组石墨坩埚托盘（18）对石英坩埚（13）进行夹持；/nS3.干锅炉顶座（15）与干锅炉外壳体（10）通过环形固定螺栓（19）和环形螺栓槽（20）螺接固定；/nS4.开始对单品硅进行加工生产。/n

【技术特征摘要】
1.一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.在干锅炉外壳体（10）内设有固定托盘（12），将三组石墨坩埚托盘（18）固定在固定托盘（12）上，组成石墨坩埚（6）；
S2.将石英坩埚（13）放在石墨坩埚（6）上，通过三组石墨坩埚托盘（18）对石英坩埚（13）进行夹持；
S3.干锅炉顶座（15）与干锅炉外壳体（10）通过环形固定螺栓（19）和环形螺栓槽（20）螺接固定；
S4.开始对单品硅进行加工生产。


2.根据权利要求1所述的一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，其特征在于：在干锅炉外壳体（10）的上方设置有干锅炉顶座（15），所述干锅炉顶座（15）与干锅炉外壳体（10）固定连接；
在干锅炉顶座（15）的顶端中间位置处设置有顶座控制阀（1），所述顶座控制阀（1）与干锅炉顶座（15）固定连接；所述顶座控制阀（1）中间位置处的下方位于干锅炉顶座（15）的内部设置有籽晶（2），所述籽晶（2）的下方设置有单晶棒（3），所述单晶棒（3）的下方设置有石英坩埚（13）所述述石英坩埚（13）的下方设置有石墨坩埚（6），所述石英坩埚（13）与石墨坩埚（6）卡合固定，所述石墨坩埚（6）的下方固接有固定托盘（12）；
在固定托盘（12）中间位置处的下方设置有坩埚中心轴（7），所述固定托盘（12）与坩埚中心轴（7）固定连接，所述坩埚中心轴（7）的底端设置有固定轴承（9），所述坩埚中心轴（7）与固定轴承（9）转动连接，所述坩埚中心轴（7）的底端外部设置有炉底护盘（11），所述炉底护盘（11）与干锅炉外壳体（10）固定连接，所述炉底护盘（11）上设置有护盘环形圈（8），所述炉底护盘（11）与护盘环形圈（8）固定连接，所述石墨坩埚（6）的外部设置有加热器（5），所述加热器（5）的外部设置有保温筒（14），所述保温筒（14）与干锅炉外壳体（10）固定连接，所述干锅炉外壳体（10）外壁顶端的左右两侧均设置有固定螺栓（4），所述固定托盘（12）上设置有托盘固定栓（16），所述干锅炉顶座...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭志宏，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山西;14