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本发明公开了一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，包括以下步骤：S1.在干锅炉外壳体内设有固定托盘，将三组石墨坩埚托盘固定在固定托盘上，组成石墨坩埚；S2.将石英坩埚放在石墨坩埚上，通过三组石墨坩埚托盘对石英坩埚进行夹持；S3.干锅炉顶座与干...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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