取放载盘的夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种取放载盘的夹具，用以取放载置于沉积装置中的载盘。夹具包括夹持部、支撑部、及握把架。夹持部包括传动件；支撑部是用以撑抵沉积装置的炉壁；握把架具有转轴，转轴与支撑部、夹持部机械连接，使支撑部夹设在夹持部与握把架之间，且转轴经由传动件与夹持部机械连接；当支撑部撑抵炉壁时，握把架以转轴为轴心进行转矩在Z轴轴向的旋转，使夹持部在Z轴轴向移动；并转动传动件，使夹持部达到取放宽度，以取放具有圆形凹陷空间的载盘。

Clamp for taking and releasing the load plate

The utility model provides a clamp for taking and releasing a load plate, which is used for taking and releasing a load plate placed in a deposition device. The fixture includes a clamping part, a supporting part and a grip frame. The gripping part includes a driving part; the supporting part is used to support the furnace wall of the deposition device; the gripping frame is provided with a rotating shaft, which is mechanically connected with the supporting part and the gripping part, so that the supporting part is clamped between the gripping part and the gripping frame, and the rotating shaft is mechanically connected with the gripping part through the driving part; when the supporting part supports the furnace wall, the gripping frame rotates in the Z axis with the rotating shaft as the axis to make the gripping The part moves axially in the z-axis, and rotates the driving part to make the clamping part reach the width of taking and placing, so as to take and place the load plate with circular concave space.

【技术实现步骤摘要】
取放载盘的夹具
本技术为提供一种夹具，特别是运用于取放薄膜沉积装置中的载盘的夹具。
技术介绍
有机金属化学气相沉积(MOCVD)设备的料件石磨载盘需定期更换下机清洁,石磨载盘位于反应炉室内，更换石磨载盘时需隔着透明隔板，手戴橡胶手套人工操作更换,难免会遇到手动更换设备料件失误的风险，不慎碰撞到石磨载盘。且石磨载盘下方配置了许多贵重的料件,例如:加热丝线圈、石英等等,人工操作更换恐怕人为疏失会造成相当大的损失。
技术实现思路
为了改善现有技术所提及的缺失，本技术的目的是提供一种取放载盘的夹具，用于取放MOCVD设备中的载盘，藉此，提升更换MOCVD设备料件的稳定性并避免失误。本技术的夹具用以取放载置于沉积装置中的载盘，包括夹持部、支撑部、及握把架。夹持部包括传动件；支撑部是用以撑抵沉积装置的炉壁；握把架具有转轴，转轴与支撑部、夹持部机械连接，使支撑部夹设在夹持部与握把架之间，且转轴经由传动件与夹持部机械连接；当支撑部撑抵炉壁时，握把架以转轴为轴心进行转矩在Z轴轴向的旋转，使夹持部在Z轴轴向移动；并转动传动件，使夹持部达到取放宽度，以取放具有圆形凹陷空间的载盘。基于上述，本技术的夹具可便利使用者操作，使用者不需将手伸入沉积装置即可取放载盘。可避免人为失误，提升更换MOCVD设备料件的稳定性。附图说明图1是根据本技术所述的技术，表示表示在第二平面上，利用夹具取放载盘的示意图；图2A是根据本技术所述的技术，表示在第一平面上，夹具所取放的载盘的局部视图；图2B是根据图2A的取放载盘的夹具，表示沿BB’线切开后，在第二平面上的视图；图3是根据本技术所述的技术，表示第一平面上，传动件与转轴机械连接结构的视图；图4是根据本技术所述的技术，表示利用夹具取起载盘的流程图；以及图5是根据本技术所述的技术，表示利用夹具放入载盘的流程图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术特征及优点，能更为相关
人员所了解，并得以实施本技术，在此配合所附的图式、具体阐明本技术的技术特征与实施方式，并列举较佳实施例进一步说明。以下文中所对照的图式，为表达与本技术特征有关的示意，并不需要依据实际情形完整绘制。而关于本案实施方式的说明中涉及本领域技术人员所熟知的
技术实现思路
，亦不再加以陈述。在本技术中，所述的X轴、Y轴与Z轴系采用右旋的卡式坐标系(Cartesiancoordinatesystem)。X轴、Y轴、Z轴与原点的详细方向，在本技术中，是依照各个图式内容所标示，其中X轴的箭头方向为X轴轴向，Y轴的箭头方向为Y轴轴向，Z轴的箭头方向为Z轴轴向。又定义X轴与Y轴所构成的平面为第一平面，X轴与Z轴所构成的平面为第二平面，X轴与Y轴所构成的平面为第三平面。首先请参照图1，图1表示在第二平面上，利用夹具取放载盘的示意图。如图1所示，夹具1包括夹持部13、支撑部12、及握把架11。夹持部13包括传动件131，转动传动件131使夹持部13达到取放宽度W1；支撑部12是用以撑抵沉积装置的炉壁51；握把架11具有转轴111，转轴111与支撑部12、夹持部13机械连接，优选地，转轴111经由螺丝111与支撑部12机械连接，使支撑部12夹设在夹持部13与握把架11之间。夹持部13包括传动件131，传动件131是以齿轮对螺杆的机械式作动，夹持部13透过传动件131与转轴111机械连接。当支撑部撑抵炉壁时，以便固定住握把架11使握把架11在旋转时不会错移，即夹具1的质心不会在X轴轴向、Y轴轴向、Z轴轴向上移动。当握把架11以转轴111为轴心，进行第一平面上顺时针方向旋转时(转矩方向w为Z轴轴向)，夹持部13会上升；逆时针方向旋转时，夹持部13会下降，使夹持部13达到取放高度(未图示)为止。取放高度为沉积装置内载盘所需载置的高度。接着请参照图2A、图2B，图2A表示在第一平面上，夹具所取放的载盘的局部视图；图2B是根据图2A，表示沿BB’线的第二平面的视图。如图2A、图2B所示，载盘10为具有圆形凹陷空间10A的圆形盘状物，圆形凹陷空间10A位于载盘10的中央。优选地，载盘10为石磨材质。继续参照图1，在一实施例中，必须将夹持部13的宽度缩放至小于载盘10直径的取放宽度W1，始能嵌抵住载盘10，载盘10的直径优选为300mm～750mm，取放宽度W1优选为100mm～350mm；更优选为取放宽度W1接近于载盘10上圆形凹陷空间10A的直径，圆形凹陷空间10A的直径优选为120mm～350mm，以便将夹持部13嵌置于圆形凹陷空间10A内，并使夹持部13两端的阻力器132与载盘10抵接，即可往上取起载盘10。因此，在取放载盘10时，夹持部13的取放宽度W1须小于载盘10的直径，更优选为接近于载盘10上圆形凹陷空间10A的直径，以便将夹持部13嵌置于圆形凹陷空间10A内，始能透过夹持部13嵌抵载盘10。夹持部13的两端分别设有阻力器132，以与载盘10抵接。更详细而言，阻力器132是配置在载盘10与夹持部13的夹持点，当取放宽度W1接近于载盘10的圆形凹陷空间10A的直径时，夹持部13透过阻力器132嵌抵载盘10。以便在取放载盘10时，可透过阻力器132将夹持部13固定在载盘10的圆形凹陷空间10A内以免掉落。接着请参照图3，图3表示第二平面上，传动件与转轴机械连接结构的视图。如图3所示，在第二平面上，传动件131是由两片转杆1111、驱动机构1112、转动关节1311、弹性带1312、及基座1313构成。转轴111优选为双层伸缩套筒，与两片转杆1111套接，且藉由驱动机构1112将两片转杆1111螺固，驱动机构1112具有介于两片转杆1111螺固之间的调整轮1113，以手转动调整轮1113可使传动件131转动，转动传动件131可使夹持部达到取放宽度W1。基座1313与两片转杆1111是以螺丝固接；转动关节1311是以螺丝与两片转杆1111固接，并靠近于基座1313；藉由弹性带1312将两片转杆1111束紧，且弹性带1312束在转动关节1311与基座1313之间。当转动驱动机构1112的调整轮1113时会带动两片转杆1111、弹性带1312与基座1313将以转动关节1311为轴心进行扩张或紧缩。因此，基座1313紧缩后，连带夹持部13在X轴轴向的宽度会缩短。以下提供本技术不同实施例的详细内容，以更加明确说明本技术，然而本技术并不受限于下述实施例。请参考图4，图4表示利用夹具取起载盘的流程图。如图4所示，利用本技术的夹具1取起载盘10的流程包括：步骤S1：将夹具1的支撑部12撑抵在沉积装置的炉壁51。步骤S2：以握把架11的转轴111为轴心旋转握把架11。以面对握把架11来看，逆时针方向旋转握把架11，使夹持部13会下降至取放高度。步骤S3：使夹持部13缩短至取放宽度W1。载盘10的直径为300mm～750m，圆形凹陷空间10A的直本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种取放载盘的夹具，用以取放载置于沉积装置中的载盘，其特征在于，包括：/n夹持部，包括传动件；/n支撑部，用以撑抵所述沉积装置的炉壁；及/n握把架，具有转轴，所述转轴与所述支撑部、所述夹持部机械连接，使所述支撑部夹设在所述夹持部与所述握把架之间，且所述转轴经由所述传动件与所述夹持部机械连接，其中，/n当所述支撑部撑抵所述炉壁时，所述握把架以所述转轴为轴心进行转矩方向在Z轴轴向的旋转，使所述夹持部在Z轴轴向移动；并转动所述传动件，使所述夹持部达到取放宽度，以取放具有圆形凹陷空间的所述载盘。/n

【技术特征摘要】
1.一种取放载盘的夹具，用以取放载置于沉积装置中的载盘，其特征在于，包括：
夹持部，包括传动件；
支撑部，用以撑抵所述沉积装置的炉壁；及
握把架，具有转轴，所述转轴与所述支撑部、所述夹持部机械连接，使所述支撑部夹设在所述夹持部与所述握把架之间，且所述转轴经由所述传动件与所述夹持部机械连接，其中，
当所述支撑部撑抵所述炉壁时，所述握把架以所述转轴为轴心进行转矩方向在Z轴轴向的旋转，使所述夹持部在Z轴轴向移动；并转动所述传动件，使所述夹持部达到取放宽度，以取放具有圆形凹陷空间的所述载盘。


2.如权利要求1所述的取放载盘的夹具，其特征在于，在第二平面上，当所述取放宽度小于所述载盘的直径时，所述夹持部嵌置于所述载盘的所述圆形凹陷空间内，其中所述第二平面为X轴与Z轴所构成的平面。


3.如权利要求2所述的取放载盘的夹具，其特征在于，所述夹持部具有阻力器。


4.如权利要求3所述的取放载盘的夹具，其特征在于，当所述夹持部嵌置于所述载盘的所述圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：施森荣，陈彦良，大藤彻，谢明达，
申请(专利权)人：捷苙科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;TW