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本实用新型提供一种取放载盘的夹具，用以取放载置于沉积装置中的载盘。夹具包括夹持部、支撑部、及握把架。夹持部包括传动件；支撑部是用以撑抵沉积装置的炉壁；握把架具有转轴，转轴与支撑部、夹持部机械连接，使支撑部夹设在夹持部与握把架之间，且转轴经由...
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