气瓶流路监控系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种气瓶流路监控系统包括第一监控部、第二监控部、以及桥接部；第一监控部包括连接第一气瓶的第一流入管件、第一流出管件，第二监控部包括工型管件、与连接第二气瓶的第二流入管件、第二流出管件，工型管件与反应腔连接，并且与第二流入管件、第二流出管件的一端连接；桥接部跨接在第一流出管件与工型管件之间；其中，第一气瓶内的气体流路是经由至少第一流出管件、桥接部、工型管件，从第一监控部流至第二监控部，最后流至反应腔。

Gas Cylinder Flow Circuit Monitoring System

【技术实现步骤摘要】
气瓶流路监控系统
本技术为提供一种气瓶流路监控系统，特别是可以依据气瓶中气体存量调整流路路径的气瓶流路监控系统。
技术介绍
有机金属化学气相沉积(MOCVD)技术目前普遍使用在半导体Ⅲ-Ⅴ族外延生长工艺上。在外延生长工艺中，通常使用不同种类高纯度金属有机化合物进行工艺所需的薄膜层，供给包括Ⅲ族金属有机化合物、V族氢化物等等前驱物。特定的前驱物实例可以包括三甲基铝trimethylaluminum,TMA)、三乙基铝(triethyl-aluminum,TEA)、三甲基铟(trimethylindium,TMI)、三乙基铟(triethylindium,TEI)、三甲基镓(trimethylgallium,TMG)和三乙基镓(triethylgallium,TEG)。可向反应腔导入两种或多种有机金属前驱物以反应并形成包括金属合金的薄膜层。例如，有机金属前驱物可以包括可在基板上形成III族合金氮化物的两种或多种III族金属(例如Al、Ga、In)，例如AlGaN、InGaN、InAIN、InAlGaN等等。例如在AlGaN中，可以向反应腔室内一起导入TMG与TMA以及氮前驱物(例如氨)，以形成合金的III-V层。所使用前驱物气体装于密封气瓶内，在密封气瓶顶部各有一进气管与出气管，前驱物气体通过管路、由各控制阀件、流量控制器、控制进气量进入钢瓶内，再从出口端的出气管送至反应腔进行沉积反应。当气瓶内的气体量消耗至一定的气体量,需进行更换气瓶的作业，更换过程中必须使用氮气对管路进行清理，清理方式是冲洗残留的高纯度金属有机化合物以免造成管路污染，此种清理方式会使操作人员曝露在这些有毒的高纯度金属有机化合物，损害操作人员的健康。另外，因为工厂中气体消耗量大，因此需要时常更换气体钢瓶，对于雇主来说，会增加大量人力成本。
技术实现思路
为了改善现有技术所提及的缺失，本技术的气瓶流路监控系统包括第一监控部、第二监控部、以及桥接部；第一监控部包括连接第一气瓶的第一流入管件、第一流出管件，第二监控部包括工型管件、与连接第二气瓶的第二流入管件、第二流出管件，工型管件与反应腔连接，并且与第二流入管件、第二流出管件的一端连接；桥接部跨接在第一流出管件与工型管件之间；其中，第一气瓶内的气体流路是经由至少第一流出管件、桥接部、工型管件，从第一监控部流至第二监控部，最后流至反应腔。基于上述，本技术的气瓶流路监控系统藉由新颖的管件设计，将第一气瓶与第二气瓶串联，可调整前驱物气体的供给流路，更换气瓶的经常性作业，可节省更换时间，而且藉此提高气瓶的使用效率，减少气瓶的更换频率与人员清理频率，减少雇主看雇成本以及维护操作人员健康。附图说明图1是根据本技术的技术，表示气瓶流路监控系统的系统架构图；图2A是根据本技术的技术，表示气瓶流路监控系统的第一具体实施例的示意图；图2B是根据本技术的技术，表示第一具体实施例中，桥接部在第一平面上的投影视图；图3是根据本技术的技术，表示气瓶流路监控系统的工型管件的结构示意图；图4A是根据本技术的技术，表示气瓶流路监控系统的第二具体实施例的示意图；图4B是根据本技术的技术，表示第二具体实施例中，桥接部的立体视图；图5是根据本技术的技术，表示流量高于阈值的操作模式下，气流流向的示意图；以及图6是根据本技术的技术，表示流量低至阈值的操作模式下，气流流向的示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术特征及优点，能更为相关
人员所了解，并得以实施本技术，在此配合所附的图式、具体阐明本技术的技术特征与实施方式，并列举较佳实施例进一步说明。以下文中所对照的图式，为表达与本技术特征有关的示意，并不需要依据实际情形完整绘制。而关于本案实施方式的说明中涉及本领域技术人员所熟知的
技术实现思路
，亦不再加以陈述。在本技术中，X轴、Y轴与Z轴系采用右旋的卡式坐标系(Cartesiancoordinatesystem)。定义X轴与Y轴所构成的平面为第一平面，X轴与Z轴所构成的平面为第二平面，Y轴与Z轴所构成的平面为第三平面。首先请参照图1，图1表示气瓶流路监控系统的系统架构图。如图1所示，气瓶流路监控系统1包括第一监控部10、第二监控部12、以及桥接部11；第一监控部10包括连接第一气瓶91A的第一流入管件101A、第一流出管件101B，第二监控部12包括工型管件121、与连接第二气瓶91B的第二流入管件122A、第二流出管件122B，工型管件121与反应腔(未图示)连接，并且与第二流入管件122A、第二流出管件122B的一端连接，优选为以法兰连接；接桥接部11跨接在第一流出管件101B与工型管件121之间，优选为以法兰连接；当第二流出管件122B内的流量低至阈值时，第一气瓶91A内的气体流路是依序经由第一流出管件101B、桥接部11、工型管件121，从第一监控部10流至第二监控部12，最后流至反应腔(未图示)。接着参照图2A，图2A表示气瓶流路监控系统的第一具体实施例的示意图。如图2A所示，气体源90经由第一流入管件101A流入第一气瓶91A，第一流入管件101A安装有第一流入阀102A，常温久置于第一气瓶91A的气体会部分呈现液态，第一气瓶91A处于气液平衡的状态，第一气瓶91A的气体经由第一流出管件101B流出，依序流至桥接部11、工型管件121，第一流出管件101B安装有第一流出阀102B。在一实施例中，第一流入阀102A、第一流出阀102B可以安装流量计(未图示)。接着参考图2B，图2B表示第一具体实施例中，桥接部在第一平面上的投影视图。如图2B所示，桥接部11在第一平面上的投影视图为长条状，桥接部11可为直线管路。接着参照图3，图3表示气瓶流路监控系统的工型管件的结构示意图。如图3所示，工型管件121在第一平面上的投影形状是工字型，由切换管125、流入管126、流出管127构成，切换管125连接流入管126与流出管127而成工字型。切换管125安装有切换阀124。继续参照图2A，切换阀124为关闭，来自桥接部11的气体从工型管件121的流入管126流至第二流入管件122A，进而流入第二气瓶91B。久置于第二气瓶91B的气体会部分呈现液态，第二气瓶91B处于气液平衡的状态，第二气瓶91B的气体经由第二流出管件122B流出，流经工型管件121的流出管127而流至反应腔92。第二流入管件122A安装有第二流入阀123A，第二流出管件122B安装有第二流出阀123B。在一实施例中，第二流入阀123A、第二流出阀123B可以安装流量计128。接着参照图4A，图4A表示气瓶流路监控系统的第二具体实施例的示意图。如图4A所示，气体源90经由第一流入管件101A流入第一气瓶91A，第一流入管件101A安装有第一流入阀102A，常温久置于第一气瓶91A的气体会部分呈现液态，第一气瓶91A处于气液平衡的状态，第一气瓶91A的气体经由第一流出管件101B依序流至桥接部11、工型管件121，第一流出管件101B安装有第一流出阀102B。在一实施例中，第一流入阀102A、第一流出阀102B可以安装流量计(未图示)。图4A中，切换阀124为关闭，来自桥接部11的气体从工型管件1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气瓶流路监控系统，其特征在于，包括:第一监控部,所述第一监控部包括连接第一气瓶的第一流入管件、第一流出管件；第二监控部，所述第二监控部包括工型管件、与连接第二气瓶的第二流入管件、第二流出管件，所述工型管件与反应腔连接，并且与所述第二流入管件、所述第二流出管件的一端连接；以及桥接部，所述桥接部跨接在所述第一流出管件与所述工型管件之间；其中，所述第一气瓶内的气体是经由所述第一流出管件、所述桥接部、所述工型管件，从所述第一监控部流至所述第二监控部，最后流至所述反应腔。

【技术特征摘要】
1.一种气瓶流路监控系统，其特征在于，包括:第一监控部,所述第一监控部包括连接第一气瓶的第一流入管件、第一流出管件；第二监控部，所述第二监控部包括工型管件、与连接第二气瓶的第二流入管件、第二流出管件，所述工型管件与反应腔连接，并且与所述第二流入管件、所述第二流出管件的一端连接；以及桥接部，所述桥接部跨接在所述第一流出管件与所述工型管件之间；其中，所述第一气瓶内的气体是经由所述第一流出管件、所述桥接部、所述工型管件，从所述第一监控部流至所述第二监控部，最后流至所述反应腔。2.如权利要求1所述的气瓶流路监控系统，其特征在于，所述工型管件具有切换管，所述切换管安装有切换阀，当所述第二流出管件内的气体流量高于阈值时，所述切换阀关闭，使所述第一气瓶内的所述气体经由所述第一流出管件、所述桥接部，流至所述工型管件、所述第二流入管件、所述第二气瓶，最后流至所述反应腔。3.如权利要求1所述的气瓶流路监控系统，其特征在于，所述工型管件具有切换管，所述切换管安装有切换阀，当所述第二流出管件内的气体流量低至阈值时，所述切换阀打开，使所述第一气瓶内的所述气体经...

【专利技术属性】
技术研发人员：施森荣，陈彦良，大藤彻，谢明达，
申请(专利权)人：捷苙科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71