镀膜载板及镀膜系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种镀膜载板及镀膜系统，属于镀膜技术领域。镀膜载板包括平板，平板包括相互背离的第一表面和第二表面，在平板的第一表面上凹设有框格，框格的深度小于平板的厚度，在框格的侧面分别设置有凸台，凸台用于支撑待镀膜件，使待镀膜件表面与框格的底面平行且具有间隔，平板上还设有通孔，通孔的一端开口位于第一表面、另一端开口位于框格的侧面以使待镀膜件与框格的底面之间的间隔空间与外界连通。镀膜系统包括上述的镀膜载板。本实用新型专利技术的镀膜载板及镀膜系统，能够通过在镀膜载板上设置的通孔平衡镀膜时待镀膜件两侧的气压，减少待镀膜件损坏的情况发生。

Coating plate and coating system

【技术实现步骤摘要】
镀膜载板及镀膜系统
本技术涉及镀膜
，具体而言，涉及一种镀膜载板及镀膜系统。
技术介绍
在太阳能电池片的生产过程中，需要对电池片进行镀膜处理以提高太阳能电池片的对太阳光的利用率，进而提高太阳能的转换率。目前一般采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积法，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)工艺进行镀膜处理。该工艺中，需要使用镀膜载板作为太阳能电池片的镀膜承载工具，将太阳能电池片放入镀膜载板中再将镀膜载板输送到工艺腔中进行镀膜。镀膜载板通常包括承载电池片区域以及载板区域。其中，承载电池片区域用于放置太阳能电池片，一般为镂空设计。但是镂空设计在镀膜过程中会不可避免的造成电池片背面被镀膜的情况发生，所以现在常用的镀膜载板会将承载电池片区域的一面封闭，但如此设置可能会导致镀膜时由于气压变化不均造成电池片损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种镀膜载板及镀膜系统，能够通过在镀膜载板上设置的通孔平衡镀膜时待镀膜件两侧的气压，减少待镀膜件损坏的情况发生。本技术的实施例是这样实现的：本技术实施例的一方面，提供一种镀膜载板，包括：平板，平板包括相互背离的第一表面和第二表面，在平板的第一表面上凹设有框格，框格的深度小于平板的厚度，在框格的侧面分别设置有凸台，凸台用于支撑待镀膜件，使待镀膜件表面与框格的底面平行且具有间隔，平板上还设有通孔，通孔的一端开口位于第一表面、另一端开口位于框格的侧面以使待镀膜件与框格的底面之间的间隔空间与外界连通。可选地，通孔包括位于两端开口之间且相互连通的第一通道和第二通道，第一通道的延伸方向与第二通道的延伸方向之间具有夹角。可选地，通孔的直径为1mm到4mm之间。可选地，通孔为多个，多个通孔均布设置于框格的侧面。可选地，第一通道的延伸方向与第一表面的夹角为20°到40°之间，第二通道的延伸方向与底面的夹角为0°到20°之间。可选地，框格包括多个，多个框格呈矩阵形式设置在平板的第一表面上。可选地，框格的侧面与底面相互垂直，底面的形状为矩形。可选地，通孔对应设置于框格的四角位置。可选地，镀膜载板还包括把手，把手设置于第一表面的边缘。本技术实施例的另一方面，提供一种镀膜系统，包括上述任意一项的镀膜载板。本技术实施例的有益效果包括：本技术实施例提供的一种镀膜载板，包括具有相互背离的第一表面和第二表面的平板以及在该平板的第一表面上凹设的框格，并且框格的深度小于平板的厚度。在实际使用该镀膜载板时，待镀膜件容置在框格内，在框格的侧面设置有凸台，通过凸台支撑待镀膜件，从而使待镀膜件与框格的底面之间形成间隔空间。在平板上还设置有用来连通外界和间隔空间的通孔，该通孔的一端开口位于第一表面上、另一端开口位于框格的侧面。通过通孔将外界与间隔空间相连通，在镀膜过程中，间隔空间中的气压能够与镀膜装置工艺腔中的气压快速达到平衡，从而使待镀膜件在镀膜过程中，由于气压变化不均匀而导致损坏的情况有所减少。并且框格具有底面而并非贯通，所以能够相对有效的隔绝待镀膜件的非镀膜面(即背面)与工艺腔环境的接触，通过在平板上设置通孔来达到均衡上述间隔空间和外界气压的目的，在镀膜过程中镀膜气体不易进入到间隔空间中，从而减少了待镀膜件背面被镀膜的情况发生。该镀膜载板的结构相对简单，容易加工所以制造成本也相对较低。本技术实施例提供的一种镀膜系统，采用上述的镀膜载板，能够通过在镀膜载板上设置的通孔平衡镀膜时待镀膜件两侧的气压，减少待镀膜件损坏以及待镀膜件的背面被镀膜的情况发生。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例提供的镀膜载板的结构示意图之一；图2为本技术实施例提供的镀膜载板的框格结构示意图之一；图3为本技术实施例提供的镀膜载板的框格结构示意图之二；图4为本技术实施例提供的镀膜载板的结构示意图之二。图标：110-平板；120-框格；121-凸台；130-通孔；131-第一通道；132-第二通道；140-把手；210-待镀膜件。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术实施例提供一种镀膜载板，如图1所示，包括：平板110，平板110包括相互背离的第一表面和第二表面，在平板110的第一表面上凹设有框格120，框格120的深度小于平板110的厚度，如图2所示，在框格120的侧面分别设置有凸台121，凸台121用于支撑待镀膜件210，使待镀膜件210表面与框格120的底面平行且具有间隔，平板110上还设有通孔130，通孔130的一端开口位于第一表面、另一端开口位于框格120的侧面以使待镀膜件210与框格120的底面之间的间隔空间与外界连通。需要说明的是，第一，如图2所示，凸台121通常设置在框格120侧面靠近框格120开口的位置，使待镀膜件210需要镀膜的表面能够与平板110的第一表面齐平。当然，在实际应用中，凸台121还可以设置在侧面的任意位置，且凸台121与框格1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜载板，其特征在于，包括：平板，所述平板包括相互背离的第一表面和第二表面，在所述平板的第一表面上凹设有框格，所述框格的深度小于所述平板的厚度，在所述框格的侧面分别设置有凸台，所述凸台用于支撑待镀膜件，使所述待镀膜件表面与所述框格的底面平行且具有间隔，所述平板上还设有通孔，所述通孔的一端开口位于所述第一表面、另一端开口位于所述框格的侧面以使所述待镀膜件与所述框格的底面之间的间隔空间与外界连通。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜载板，其特征在于，包括：平板，所述平板包括相互背离的第一表面和第二表面，在所述平板的第一表面上凹设有框格，所述框格的深度小于所述平板的厚度，在所述框格的侧面分别设置有凸台，所述凸台用于支撑待镀膜件，使所述待镀膜件表面与所述框格的底面平行且具有间隔，所述平板上还设有通孔，所述通孔的一端开口位于所述第一表面、另一端开口位于所述框格的侧面以使所述待镀膜件与所述框格的底面之间的间隔空间与外界连通。2.如权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述通孔包括位于两端开口之间且相互连通的第一通道和第二通道，所述第一通道的延伸方向与所述第二通道的延伸方向之间具有夹角。3.如权利要求2所述的镀膜载板，其特征在于，所述通孔的直径为1mm到4mm之间。4.如权利要求3所述的镀膜载板，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周桂宏，
申请(专利权)人：南京仁厚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32