信息处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种信息处理装置，所述信息处理装置具备控制装置，该控制装置具有：取得部，按时间顺序取得向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的所述多个电极供给的电流或者电压的指标值；运算部，基于由所述取得部取得的所述指标值，运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值；存储部，存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值；第一判断部，每当通过所述运算部来运算所述变化值时，基于该变化值和所述特定变化值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否成为所述预定的时机下的电力供给状态；及报告部，在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态成为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息。

Information processing device

The invention provides an information processing device, the information processing device is provided with a control device, the control device is provided with: a obtaining part, which obtains the index value of the current or voltage supplied to the plurality of electrodes of the plasma generating device generating plasma through the discharge between the plurality of electrodes in chronological order; an operation part, based on the index value obtained by the obtaining part And calculating the value related to the change of the index value, i.e. the change value; the storage unit stores the change value calculated by the operation unit at a predetermined time as a specific change value; the first judgment unit, whenever calculating the change value through the operation unit, determines whether the power supply state when calculating the change value is based on the change value and the specific change value The power supply state at the predetermined time; and the reporting unit reports the predetermined information when the power supply state at the time of calculating the change value determined by the first judging unit becomes the power supply state at the predetermined time.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】信息处理装置
本专利技术涉及一种监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值的信息处理装置。
技术介绍
在等离子体产生装置中，如下述专利文献所记载的那样，向反应室供给处理气体，向配设于反应室的多个电极供给电力。由此，在反应室中产生放电，处理气体被等离子体化。因此，通过监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值，能够恰当地执行基于等离子体产生装置的等离子体处理。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-070447号公报专利文献2：日本特开2015-149263号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题通过监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值，能够恰当地执行基于等离子体产生装置的等离子体处理。因此，将恰当地监视向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值作为课题。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本说明书公开一种信息处理装置，所述信息处理装置具备控制装置，该控制装置具有：取得部，按时间顺序取得对向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的所述多个电极供给的电流或者电压进行标识的指标值；运算部，基于由所述取得部取得的所述指标值，运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值；存储部，将在预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值存储为特定变化值；第一判断部，每当通过所述运算部来运算所述变化值时，基于该变化值和所述特定变化值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否成为所述预定的时机下的电力供给状态；及报告部，在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态成为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息。专利技术效果采用本公开，基于与朝向电极的供给电流或者电压的指标值的变化相关的变化值，判断朝向电极的电力供给状态是否成为预定的时机下的电力供给状态。并且，在朝向电极的电力供给状态成为预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息。即，例如，在预定的时机是等离子体处理能力降低的时机等的情况下，在等离子体处理能力降低的时机下，报告预定的信息。由此，能够恰当地监视朝向电极的供给电流或者电压的指标值。附图说明图1是表示大气压等离子体产生装置的立体图。图2是表示大气压等离子体产生装置的下端部的立体图。图3是表示大气压等离子体产生装置的主要部位的剖视图。图4是表示第一实施例的控制装置的框图。图5是表示正常时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。图6是表示等离子体处理能力降低时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。图7是表示等离子体处理能力降低时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。图8是表示朝向颜色因等离子体照射而发生变化的指示器的等离子体照射条件与色差的关系的图。图9是表示第二实施例的控制装置的框图。图10是表示等离子体处理能力降低时的朝向电极的供给电流的波形的概略图。具体实施方式以下，作为用于实施本专利技术的方式，参照附图详细地说明本专利技术的实施例。(A)第一实施例(a)大气压等离子体产生装置的结构在图1～图3中示出大气压等离子体产生装置10。大气压等离子体产生装置10是用于在大气压下产生等离子体的装置，具备等离子体气体喷出装置12、加热气体喷出装置14及控制装置(参照图4)16。此外，图1是自斜上方的视点下的大气压等离子体产生装置10整体的立体图。图2是自斜下方的视点下的大气压等离子体产生装置10的下端部的立体图。图3是大气压等离子体产生装置10的主要部位的剖视图。另外，将大气压等离子体产生装置10的宽度方向称作X方向，将大气压等离子体产生装置10的进深方向称作Y方向，将与X方向和Y方向正交的方向、即上下方向称作Z方向。等离子体气体喷出装置12由壳体20、罩22、一对电极24、26构成。壳体20包括主壳体30、散热板31、接地板32、下部壳体34及喷嘴块36。主壳体30形成为大致块状，在主壳体30的内部形成有反应室38。另外，在主壳体30以沿上下方向延伸的方式形成有多条第一气体流路(在图3中仅标记一条第一气体流路)50，多条第一气体流路50沿X方向隔开预定的间隔地并排。各第一气体流路50的上端部在反应室38开口，下端部在主壳体30的底面开口。散热板31配设于主壳体30的Y方向上的一侧的侧面。散热板31具有多个散热片(省略图示)，对主壳体30的热量进行散热。另外，接地板32作为避雷针发挥功能，固定于主壳体30的下表面。在接地板32，与多条第一气体流路50相对应地形成有沿上下方向贯通的多个贯通孔56，各贯通孔56与对应的第一气体流路50连结。下部壳体34形成为块状，固定于接地板32的下表面。在下部壳体34，与多个贯通孔56相对应地以沿上下方向延伸的方式形成有多条第二气体流路62。各第二气体流路62的上端部与对应的贯通孔56连结，下端部在下部壳体34的底面开口。喷嘴块36固定于下部壳体34的下表面，与下部壳体34的多条第二气体流路62相对应地以沿上下方向延伸的方式形成有多条第三气体流路66。各第三气体流路66的上端部与对应的第二气体流路62连结，下端部在喷嘴块36的底面开口。罩22形成为大致斗形，以覆盖下部壳体34及喷嘴块36的方式配设于接地板32的下表面。在罩22的下表面形成有贯通孔70。该贯通孔70比喷嘴块36的下表面大，喷嘴块36的下表面位于贯通孔70的内部。另外，在罩22的加热气体喷出装置14侧的侧面也以沿Y方向延伸的方式形成有贯通孔72。一对电极24、26被配设为在主壳体30的反应室38的内部相向。在该反应室38连接有处理气体供给装置(参照图4)74。处理气体供给装置74是将氮等非活性气体和氧等活性气体中的至少一方作为处理气体而供给的装置。由此，向反应室38供给处理气体。另外，加热气体喷出装置14包括保护罩80、气体管82、加热器83及连结块84。保护罩80被配设为覆盖等离子体气体喷出装置12的散热板31。气体管82被配设为在保护罩80的内部沿上下方向延伸，在气体管82连接有加热用气体供给装置(参照图4)86。加热用气体供给装置86是供给氧等活性气体、或者氮等非活性气体的装置。另外，在气体管82的外周面配设有大致圆筒状的加热器83，气体管82被加热器83加热。由此，从加热用气体供给装置86供给至气体管82的气体被加热。连结块84与气体管82的下端连结，并且固定于罩22的Y方向上的加热气体喷出装置14侧的侧面。在连结块84形成有呈大致L字型弯折的连通路88，连通路88的一端部在连结块84的上表面开口，并且连通路88的另一端部在Y方向上的等离子体气体喷出装置12侧的侧面开口。并且，连通路88的一端部与气体管82连通，连通路88的另一端部与罩22的贯通孔72连通。另外，如图4所示，控制装置16具备控制器100、多个驱动电路102及控制电路104。多个驱动电路102与上述电极24本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种信息处理装置，具备控制装置，/n所述控制装置具有：/n取得部，按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值，所述等离子体产生装置通过所述多个电极间的放电而产生等离子体；/n运算部，基于由所述取得部取得的所述指标值，运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值；/n存储部，存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值；/n第一判断部，每当通过所述运算部运算所述变化值时，基于该变化值和所述特定变化值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否为所述预定的时机下的电力供给状态；及/n报告部，在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种信息处理装置，具备控制装置，
所述控制装置具有：
取得部，按时间顺序取得表示向等离子体产生装置的多个电极供给的电流或者电压的指标值，所述等离子体产生装置通过所述多个电极间的放电而产生等离子体；
运算部，基于由所述取得部取得的所述指标值，运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值；
存储部，存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值；
第一判断部，每当通过所述运算部运算所述变化值时，基于该变化值和所述特定变化值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否为所述预定的时机下的电力供给状态；及
报告部，在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息。


2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
所述运算部包括判断由所述取得部取得的所述指标值是否满足设定条件的第二判断部，通过计数由所述第二判断部判断为所述指标值不满足所述设定条件的次数来运算该计数值而作为所述变化值，
所述存储部存储所述预定的时机下由所述运算部作为所述变化值所运算出的所述计数值而作为特定计数值，
每当通过所述运算部作为所述变化值而运算所述计数值时，在该计数值为所述特定计数值以上的情况下，所述第一判断部判断为运算该变化值时的电力供给状态为所述预定的时机下的电力供给状态。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：神藤高广，泷川慎二，丹羽阳大，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本;JP