一种显示面板及其制备方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显示面板及其制备方法、显示装置，显示面板包括显示区和非显示区，显示面板的制备方法包括：提供衬底基板；在衬底基板一侧制备第一金属层；在第一金属层一侧制备第一绝缘层；采用掩膜板对第一绝缘层进行图案化制程，第一绝缘层上形成有多个第一过孔；在第一绝缘层一侧制备钝化层；采用同一掩膜板对钝化层进行图案化制程，钝化层上形成有多个第二过孔，其中，第一过孔在衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖第二过孔在衬底基板所在平面上的垂直投影。采用上述技术方案，第一绝缘层与钝化层采用同一掩膜板进行图案化制程，降低掩膜板购置成本，降低显示面板在工艺研发阶段以及量产阶段的整体成本，可大大节省生产成本。

A display panel and its preparation method and display device

The invention discloses a display panel, a preparation method and a display device, the display panel includes a display area and a non display area, and the preparation method of the display panel includes: providing a substrate; preparing a first metal layer on one side of the substrate; preparing a first insulating layer on one side of the first metal layer; patterning the first insulating layer with a mask, and forming the first insulating layer There are a plurality of first vias; a passivation layer is prepared on one side of the first insulating layer; the passivation layer is patterned with the same mask plate, and a plurality of second vias are formed on the passivation layer, wherein the vertical projection of the first vias on the plane where the substrate is located covers the vertical projection of the second vias on the plane where the substrate is located. With the above technical scheme, the first insulating layer and passivating layer adopt the same mask for the patterning process, so as to reduce the purchase cost of the mask and the overall cost of the display panel in the process development stage and mass production stage, which can greatly save the production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板及其制备方法、显示装置
本专利技术实施例涉及显示
，尤其涉及一种显示面板及其制备方法、显示装置。
技术介绍
现有显示产品一般多为液晶显示器或者有机发光显示器，无论液晶显示器还是有机发光显示器，均包括多个不同的膜层，在制备过程中均需要使用多个不同的掩膜板对各个膜层进行图案化制程。但是，随着显示器功能多样化，无论是液晶显示器还是有机发光显示器，其膜层数量越来越多，因此在显示器制备过程中需要用到的掩膜板也越来越多，由于掩膜板价格较高，因此掩膜板的购置成本较高，显示器在工艺研发阶段以及量产阶段的成本也越来越高，制约着显示面板的研发设计以及量产。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种显示面板及其制备方法、显示装置，用于解决现有显示器制备成本较高的技术问题。第一方面，本专利技术实施例提供了一种显示面板的制备方法，用于制备显示面板，所述显示面板包括显示区和围绕所述显示区的非显示区；所述制备方法包括：提供衬底基板；在所述衬底基板一侧制备第一金属层，所述第一金属层包括位于显示区的栅极层以及位于非显示区的栅极金属层；在所述第一金属层远离所述衬底基板的一侧制备第一绝缘层；采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔；在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备钝化层；采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，其中，所述第一过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影。第二方面，本专利技术实施例还提供了一种显示面板，采用第一方面所述的显示面板的制备方法制备得到，所述显示面板包括显示区和非显示区，还包括：衬底基板；位于所述衬底基板一侧的第一金属层，所述第一金属层包括位于所述显示区的栅极层以及位于所述非显示区的栅极金属层；位于所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的第一绝缘层，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔；位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的钝化层，所述钝化层上形成有多个第二过孔，其中，所述第一过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影。第三方面，本专利技术实施例还提供了一种显示装置，包括第二方面所述的显示面板。本专利技术实施例提供的显示面板及其制备方法、显示装置，第一金属层上方的第一绝缘层与第一绝缘层上方的钝化层采用同一掩膜板进行图案化制程，减少一层掩膜板的购置成本，可以降低整个显示面板在工艺研发以及量产阶段的制备成本。进一步的，采用该掩膜板制备得到的第一绝缘层上形成有多个第一过孔，钝化层上形成有多个第二过孔，第一过孔在衬底基板上的垂直投影覆盖第二过孔在衬底基板上的垂直投影，通过第一过孔和第二过孔实现显示面板中各个膜层的电连接关系，保证显示面板可以工作。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1是本专利技术实施例提供的一种显示面板的制备方法的流程示意图；图2是本专利技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图；图3-图10是对应图1提供的显示面板的制备方法各个步骤的结构示意图；图11是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图12是本专利技术实施例提供的制备平坦化层的结构示意图；图13是图2中A区域的放大结构示意图；图14是图13提供的显示面板沿剖面线B-B’的一种剖面结构示意图；图15是图13提供的显示面板沿剖面线B-B’的另一种剖面结构示意图；图16是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图17是图13中第一信号传输区的一种部分电路元件图示意图；图18是图17所示的电路元件在沿剖面线C-C’的剖面结构示意图图19是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的结构示意图；图20是图19提供的显示面板沿剖面线D-D’的剖面结构示意图；图21是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图22是图13提供的显示面板沿剖面线E-E’的一种剖面结构示意图；图23是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图24是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的结构示意图；图25是图24中F区域的放大示意图；图26是图25提供的显示面板沿剖面线G-G’的剖面结构示意图；图27是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图28是图25提供的显示面板沿剖面线H-H’的剖面结构示意图；图29是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图30是图12中沿剖面线I-I’的剖面结构示意图；图31是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法的流程示意图；图32是本专利技术实施例提供的制备遮光金属层的结构示意图；图33是图32中沿剖面线J-J’的剖面结构示意图；图34是本专利技术实施例提供的在平坦化层上制备对位标记的结构示意图；图35是本专利技术实施例提供的另一种显示面板的制备方法流程图；图36是本专利技术实施例提供的一种显示装置的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，以下将结合本专利技术实施例中的附图，通过具体实施方式，完整地描述本专利技术的技术方案。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下获得的所有其他实施例，均落入本专利技术的保护范围之内。图1是本专利技术实施例提供的一种显示面板的制备方法的流程示意图，图2是本专利技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图，结合图1和图2所示，本专利技术实施例提供的显示面板的制备方法用于制备图2所示的显示面板，显示面板包括显示区11和围绕显示区11的非显示区12。本专利技术实施例提供的显示面板的制备方法包括：S110、提供衬底基板。图3是本专利技术实施例提供的一种衬底基板20的示意图，如图3所示，衬底基板20上形成有显示区11和围绕显示区11的非显示区12。衬底基板20对显示面板中的其他膜层具有支撑和保护作用，后续在衬底基板20上形成显示面板的各个膜层。示例性的，衬底基板20可为刚性基板或柔性基板；其中，刚性基板可为玻璃，柔性基板可为聚酰亚胺；或者衬底基板20还可为本领域技术人员可知的其他类型的衬底基板，本专利技术实施例对此不作限定。S120、在所述衬底基板一侧制备第一金属层，所述第一金属层包括位于显示区的栅极层以及位于非显示区的栅极金属层。图4是本专利技术实施例提供的制备第一金属层的结构示意图，如图4所示，第一金属层21可以包括位于显示区11的栅极层211以及位于非显示区12的栅极金属层212，其中栅极层211可以包括薄膜晶体管中的栅极以及扫描线，栅极金属层212可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板的制备方法，用于制备显示面板，所述显示面板包括显示区和围绕所述显示区的非显示区，其特征在于，所述制备方法包括：/n提供衬底基板；/n在所述衬底基板一侧制备第一金属层，所述第一金属层包括位于显示区的栅极层以及位于非显示区的栅极金属层；/n在所述第一金属层远离所述衬底基板的一侧制备第一绝缘层；/n采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔；/n在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备钝化层；/n采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，其中，所述第一过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影。/n

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制备方法，用于制备显示面板，所述显示面板包括显示区和围绕所述显示区的非显示区，其特征在于，所述制备方法包括：
提供衬底基板；
在所述衬底基板一侧制备第一金属层，所述第一金属层包括位于显示区的栅极层以及位于非显示区的栅极金属层；
在所述第一金属层远离所述衬底基板的一侧制备第一绝缘层；
采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔；
在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备钝化层；
采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，其中，所述第一过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备钝化层的步骤，包括：
在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备平坦化层；
在所述平坦化层远离所述衬底基板的一侧制备所述钝化层。


3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述非显示区包括信号端子设置区；
采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔，包括：
采用掩膜板对位于所述信号端子设置区的所述第一绝缘层进行图案化制程，在所述信号端子设置区对应的所述第一绝缘层上形成第一甲过孔；
采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，包括：
采用所述掩膜板对位于所述信号端子设置区的所述钝化层进行图案化制程，在所述信号端子设置区对应的所述钝化层上形成第二甲过孔；其中，所述第一甲过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二甲过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影；
所述在所述第一金属层远离所述衬底基板的一侧制备第一绝缘层的步骤之后，还包括：
在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备第二金属层，所述第二金属层包括位于所述非显示区的源漏金属层；所述源漏金属层通过所述第一甲过孔与所述栅极金属层电连接；
所述制备方法还包括：
在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧制备第二透明电极层；所述第二透明电极层通过所述第二甲过孔与所述源漏金属层电连接。


4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述显示区和/或所述非显示区包括第一信号传输区；
采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔，包括：
采用掩膜板对位于所述第一信号传输区的所述第一绝缘层进行图案化制程，在所述第一信号传输区对应的所述第一绝缘层上形成第一乙过孔；
采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，包括：
采用所述掩膜板对位于所述第一信号传输区的所述钝化层进行图案化制程，在所述第一信号传输区对应的所述钝化层上形成第二乙过孔；其中，所述第一乙过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二乙过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影；
所述在所述第一金属层远离所述衬底基板的一侧制备第一绝缘层的步骤之后，还包括：
在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备第二金属层，所述第二金属层包括位于所述显示区的源漏层以及位于所述非显示区的源漏金属层；所述源漏层通过所述第一乙过孔与所述栅极层电连接，和/或，所述源漏金属层通过所述第一乙过孔与所述栅极金属层电连接。


5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述非显示区包括第二信号传输区；
采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔，包括：
采用掩膜板对位于所述第二信号传输区的所述第一绝缘层进行图案化制程，在所述第二信号传输区对应的所述第一绝缘层上形成第一丙过孔；
采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，包括：
采用所述掩膜板对位于所述第二信号传输区的所述钝化层进行图案化制程，在所述第二信号传输区对应的所述钝化层上形成第二丙过孔；其中，所述第一丙过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二丙过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影；
所述制备方法还包括：
在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧制备第二透明电极层；所述第二透明电极层通过所述第二丙过孔和所述第一丙过孔与所述栅极金属层电连接。


6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述非显示区包括第二信号传输区和第三信号传输区；
采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔，包括：
采用掩膜板对分别位于所述第二信号传输区和所述第三信号传输区的所述第一绝缘层进行图案化制程，在所述第二信号传输区对应的所述第一绝缘层上形成第一丙过孔，在所述三信号传输区对应的所述第一绝缘层上形成第一丁过孔；
采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，包括：
采用所述掩膜板分别对位于所述第二信号传输区和所述第三信号传输区的所述钝化层进行图案化制程，在所述第二信号传输区对应的所述钝化层上形成第二丙过孔，在所述第三信号传输区对应的所述钝化层上形成第二丁过孔；其中，所述第一丙过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二丙过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影，所述第一丁过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二丁过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影；
所述制备方法还包括：
在所述平坦化层与所述钝化层之间制备第一透明电极层；
在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧制备第二透明电极层，所述第二透明电极层通过所述第二丙过孔和所述第一丙过孔与所述栅极金属层电连接；所所述第二透明电极层通过所述第二丁过孔与所述第一透明电极层电连接。


7.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述显示区包括第四信号传输区；
采用掩膜板对所述第一绝缘层进行图案化制程，所述第一绝缘层上形成有多个第一过孔，包括：
采用掩膜板对位于所述第四信号传输区的所述第一绝缘层进行图案化制程，在所述第四信号传输区对应的所述第一绝缘层上形成第一戊过孔；
采用所述掩膜板对所述钝化层进行图案化制程，所述钝化层上形成有多个第二过孔，包括：
采用所述掩膜板对位于所述第四信号传输区的所述钝化层进行图案化制程，在所述第四信号传输区对应的所述钝化层上形成第二戊过孔；其中，所述第一戊过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影覆盖所述第二戊过孔在所述衬底基板所在平面上的垂直投影；
所述在所述第一金属层远离所述衬底基板的一侧制备第一绝缘层的步骤之后，还包括：
在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧制备第二金属层，所述第二金属层包括位于所述显示区的源漏层；
所述制备方法还包括：
在所述钝化层远离所述衬底基板的一侧制备第二透明电极层，所述第二透明电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴文君，
申请(专利权)人：上海中航光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31