The utility model relates to a gas path pipe fitting for batch preparation of mixed gas, which belongs to the field of preparation of mixed gas. The air pipe fitting includes an air inlet pipe, a buffer unit and a gas distribution pipe. One end of the air inlet pipe is vertically connected with the upper end face of the buffer unit. Four air distribution pipes with the same diameter and length are vertically connected with the four sides of the buffer unit one by one. The air inlet of the upper end face of the buffer unit is exactly the same as the air outlet on the four sides, and the air inlet enters vertically from the air inlet After the incoming air flow turns 90 degrees to turbulent state, it flows to each gas distribution cylinder through the outlet, so as to ensure that the instantaneous component gas volume entering each gas distribution cylinder is equal, and improve the consistency of concentration of batch gas distribution. In addition, when the gas pipeline fittings of the utility model are used for gas distribution, the balance time between gas cylinders is not required after the gas cylinders are filled with each component gas, thus the gas distribution time is saved.
【技术实现步骤摘要】
一种批量配制混合气的气路管件
本技术涉及一种批量配制混合气的气路管件,属于混合气体的配制领域。
技术介绍
近年来,光电子、光伏太阳能、IC等新材料
的迅猛发展,牵引高纯气体、混合气体产生巨大需求。电子混合气体和计量学上的标准气体有许多不同,但也有许多相似的特点。电子混合气必须确保混匀的气体中杂质含量不能高于限值,标准气体并没有此项要求,但电子混合气和标准气体均要求保证配制浓度具有高精度。目前批量配气是在充气汇流排上并联多个待配气瓶,在配气气瓶中同时充装各组分气,以大幅度提高混合气配制效率。充气汇流排通常是在一根主气路的一端或中部连接原料气,各待配气瓶依次连接在主气路上。原料气入口与各待配气气瓶间距离和结构的差异,导致进入各待配气瓶的瞬时组分气量不等,因此,无论采用分压法还是称量法配气,每充入一种组分都需要稳定一段时间以使各气瓶内气量平均。
技术实现思路
针对现有批量配气法进入各待配气瓶的瞬时组分气量不等、需要稳定时间的缺点,本技术的目的在于提供一种批量配制混合气的气路管件,由于进气口与各待配气接口间气路完全相同,且进气气流转向90度变为紊态后通向各配气气瓶,确保进入各待配气瓶的瞬时组分气量相等,无需气瓶间平衡时间,既改善了批量配气的浓度一致性水平,又节约了配气时间。本技术所述的批量配制混合气的气路管件,该气路管件包括进气管路、缓冲单元和配气管路;其中,缓冲单元是一个中空的长方体,其上、下两个端面为正方形,其四个侧面为长方形或正方形,其壁厚均匀相等;缓冲单元的上端面的中心位置加工有进气口,每个侧面上与高度方向平行的中心线上加工有一个出气口,且四个侧面上加工的四 ...
【技术保护点】
1.一种批量配制混合气的气路管件,其特征在于:所述气路管件包括进气管路(1)、缓冲单元(2)和配气管路;所述缓冲单元(2)是一个中空的长方体,其上、下两个端面为正方形,其四个侧面为长方形或正方形,其壁厚均匀相等;其中,上端面的中心位置加工有进气口,每个侧面上与高度方向平行的中心线上加工有一个出气口,且四个侧面上加工的四个出气口位于同一水平面上;进气管路(1)的一端与缓冲单元(2)上的进气口配合连接,且与缓冲单元(2)的上端面垂直,另一端分别与原料气以及抽真空设备连接;一个配气管路的一端与缓冲单元(2)的一个侧面上的出气口配合连接,且与该侧面垂直,另一端与待配气气瓶连接;四个配气管路的直径以及长度均相等,配气管路的直径为d,进气管路(1)的直径≥2d,缓冲单元(2)的体积为(0.18~0.9)d
【技术特征摘要】
1.一种批量配制混合气的气路管件,其特征在于:所述气路管件包括进气管路(1)、缓冲单元(2)和配气管路;所述缓冲单元(2)是一个中空的长方体,其上、下两个端面为正方形,其四个侧面为长方形或正方形,其壁厚均匀相等;其中,上端面的中心位置加工有进气口,每个侧面上与高度方向平行的中心线上加工有一个出气口,且四个侧面上加工的四个出气口位于同一水平面上;进气管路(1)的一端与缓冲单元(2)上的进气口配合连接,且与缓冲单元(2)的上端面垂...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫云,张净普,胡帅,王志民,沙婷,罗文键,孙秋丽,张帅,
申请(专利权)人:中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
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