用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构制造技术

本实用新型专利技术公开了用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，包括固定块、压紧臂、送丝轮、压紧轮和旋转式驱动机构，在固定块的一侧设置有安装孔，在固定块的顶部设置有安装槽，安装槽的槽底与安装孔连通，压紧臂的一侧与安装槽的一端铰接，压紧臂的另一端与安装槽的另一端拆卸连接，在压紧臂上设置有通孔，在通孔中设置有支撑轴，压紧轮套设在支撑轴上，送丝轮设置在安装孔中，并与驱动机构连接；在安装孔的两侧均设置有送丝孔。本实用新型专利技术不仅能通过滚轮结构的滚动来带动丝材前行，还能控制送丝的速度，并使送丝机构中与丝材接触的部位具有预紧力，能连续不断地对镀膜设备补充蒸发材料，以保证镀膜过程的连续性。

Continuous wire feeding mechanism for vacuum evaporation coating equipment

The utility model discloses a continuous wire feeding mechanism for vacuum evaporation coating equipment, which comprises a fixed block, a pressing arm, a wire feeding wheel, a pressing wheel and a rotary driving mechanism. One side of the fixed block is provided with a mounting hole, the top of the fixed block is provided with a mounting groove, the bottom of the mounting groove is connected with the mounting hole, one side of the pressing arm is hinged with one end of the mounting groove, and the other of the pressing arm The end is disassembled and connected with the other end of the installation groove, a through hole is arranged on the pressing arm, a support shaft is arranged in the through hole, the pressing wheel sleeve is arranged on the support shaft, the wire feeding wheel is arranged in the installation hole, and is connected with the driving mechanism; the wire feeding holes are arranged on both sides of the installation hole. The utility model can not only drive the wire material to move forward through the rolling of the roller structure, but also control the speed of wire feeding, and make the contact part of the wire material in the wire feeding mechanism have the pre tightening force, and can continuously supplement the evaporation material to the coating equipment, so as to ensure the continuity of the coating process.

【技术实现步骤摘要】
用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构
本技术涉及真空镀膜领域，具体涉及用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铜等。真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。物理气相沉积技术是指在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。制备硬质反应膜大多以物理气相沉积方法制得，它利用某种物理过程，如物质的热蒸发，或受到离子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。物理气相沉积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。同时，物理气相沉积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下，因此可作为最终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。由于采用物理气相沉积工艺可大幅度提高刀具的切削性能，人们在竞相开发高性能、高可靠性设备的同时，也对其应用领域的扩展，尤其是在高速钢、硬质合金和陶瓷类刀具中的应用进行了更加深入的研究。化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体，借助气相作用或基体表面上的化学反应，在基体上制出金属或化合物薄膜的方法，主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。在卷绕式真空镀膜设备中，由于基膜是很长的，所以在蒸镀的工艺过程中，往往需要连续不断地蒸发较长时间，在真空环境下，就需要连续不断地对补充蒸发材料，以保证镀膜过程的连续性。蒸发材料做成丝状，由蒸发源进行蒸发。蒸发源作为一种本身高温耐受能力强、同时可实现低电压大电流产热设备，其包括蒸发舟、水冷蒸发阳极、水冷蒸发阴极、阳极可伸缩固定座及导电管路组成，所述蒸发舟的材质为钼或钨钼合金，如图3所示。现有的真空镀膜设备缺乏连续自动送丝机构，导致镀膜工艺无法顺利进行。进一步优化真空镀膜设备的性能、改善真空镀膜的送丝过程是本领域技术人员所亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于：提供了用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，解决了现有的真空镀膜设备缺乏自动送丝机构，导致镀膜工艺无法顺利进行的问题。本技术所设计的连续式送丝机构，不仅能通过滚轮结构的滚动来带动丝材前行，还能控制送丝的速度，并使送丝机构中与丝材接触的部位具有预紧力，防止打滑或者压紧力过大的情况出现。本技术能连续不断地对镀膜设备补充蒸发材料，以保证镀膜过程的连续性。本技术采用的技术方案如下：用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，包括固定块、压紧臂、送丝轮、压紧轮和旋转式驱动机构，在所述固定块的一侧设置有安装孔，在固定块的顶部设置有安装槽，所述安装槽的槽底与安装孔连通，所述压紧臂的一侧与安装槽的一端铰接，压紧臂的另一端与安装槽的另一端拆卸连接，在压紧臂上设置有通孔，在通孔中设置有支撑轴，所述支撑轴的轴线平行于安装孔的轴线，其两端均与通孔的孔壁连接，所述压紧轮套设在支撑轴上，所述送丝轮设置在安装孔中，并与驱动机构连接，驱动机构驱动送丝轮绕自身轴线转动，且送丝轮的轴线与支撑轴的轴线平行；在所述安装孔的两侧均设置有送丝孔，所述送丝孔彼此同轴，其相对的一端均与安装孔连通，且送丝孔的轴线位于压紧轮和送丝轮之间。驱动机构为电机，优选地为步进电机。蒸发材料做成丝状，缠绕成盘形并固定在送丝盘上，蒸发丝的一端依次穿过一个送丝孔、压紧轮和送丝轮之间以及另一个送丝孔后位于蒸发源的上方。压紧轮和送丝轮均与蒸发丝接触，且蒸发丝随着送丝轮的转动而不断向蒸发源移动，源源不断地给蒸发源补充蒸发材料，利于真空蒸镀镀膜设备顺利地、不间断地工作。送丝机构主要由步进电机、固定块、压紧臂和压紧轮组成的压紧机构、送丝轮组成，蒸发材料输送的快慢由步进电机速度调节控制，蒸发材料从送丝盘经过送丝孔后再通过送丝轮转动送到蒸发舟上熔化而蒸发。综上，本技术所设计的连续式送丝机构，不仅能通过滚轮结构的滚动来带动丝材前行，还能控制送丝的速度，并使送丝机构中与丝材接触的部位具有预紧力，防止打滑或者压紧力过大的情况出现。本技术能连续不断地对镀膜设备补充蒸发材料，以保证镀膜过程的连续性。由于采用了本技术方案，本技术的有益效果是：1.本技术用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，不仅能通过滚轮结构的滚动来带动丝材前行，还能控制送丝的速度，并使送丝机构中与丝材接触的部位具有预紧力，防止打滑或者压紧力过大的情况出现。本技术能连续不断地对镀膜设备补充蒸发材料，以保证镀膜过程的连续性；2.本技术用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，压紧弹簧的设置使压紧轮对正在递送的蒸发丝产生预紧力，以使压紧轮始终与蒸发丝接触，保证蒸发丝的顺利送丝；3.本技术用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，螺栓的设置便于根据蒸发丝的外径调整送丝轮和压紧轮之间的最短间距，利于顺利地将蒸发丝送入蒸发源；例如当采用的蒸发丝的直径较大时，则将送丝轮和压紧轮之间的最短间距调大，反之则调小。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图，本说明书附图中的各个部件的比例关系不代表实际选材设计时的比例关系，其仅仅为结构或者位置的示意图，其中：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的剖视图；图3是蒸发源的结构示意图；附图中标号说明：1-固定块，2-压紧臂，3-送丝轮，4-压紧轮，5-安装孔，6-安装槽，7-通孔，8-支撑轴，9-螺栓，10-压紧弹簧，11-送丝管，12-减速电机，13-送丝盘，14-蒸发舟，15-水冷蒸发阳极，16-水冷蒸发阴极，17-阳极可伸缩固定座，18-展平辊，19-过棍，20-基膜，21-主辊，22-蒸发丝，23-轴承，24-连接键，25-输出轴。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术，即所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。下面结合图1至图3对本技术作详细说明。实施例1如图1-图3所示，本技术用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，包括固定块1、压紧臂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，其特征在于：包括固定块(1)、压紧臂(2)、送丝轮(3)、压紧轮(4)和旋转式驱动机构，在所述固定块(1)的一侧设置有安装孔(5)，在固定块(1)的顶部设置有安装槽(6)，所述安装槽(6)的槽底与安装孔(5)连通，所述压紧臂(2)的一侧与安装槽(6)的一端铰接，压紧臂(2)的另一端与安装槽(6)的另一端拆卸连接，在压紧臂(2)上设置有通孔(7)，在通孔(7)中设置有支撑轴(8)，所述支撑轴(8)的轴线平行于安装孔(5)的轴线，其两端均与通孔(7)的孔壁连接，所述压紧轮(4)套设在支撑轴(8)上，所述送丝轮(3)设置在安装孔(5)中，并与驱动机构连接，驱动机构驱动送丝轮(3)绕自身轴线转动，且送丝轮(3)的轴线与支撑轴(8)的轴线平行；在所述安装孔(5)的两侧均设置有送丝孔，所述送丝孔彼此同轴，其相对的一端均与安装孔(5)连通，且送丝孔的轴线位于压紧轮(4)和送丝轮(3)之间。

【技术特征摘要】
1.用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，其特征在于：包括固定块(1)、压紧臂(2)、送丝轮(3)、压紧轮(4)和旋转式驱动机构，在所述固定块(1)的一侧设置有安装孔(5)，在固定块(1)的顶部设置有安装槽(6)，所述安装槽(6)的槽底与安装孔(5)连通，所述压紧臂(2)的一侧与安装槽(6)的一端铰接，压紧臂(2)的另一端与安装槽(6)的另一端拆卸连接，在压紧臂(2)上设置有通孔(7)，在通孔(7)中设置有支撑轴(8)，所述支撑轴(8)的轴线平行于安装孔(5)的轴线，其两端均与通孔(7)的孔壁连接，所述压紧轮(4)套设在支撑轴(8)上，所述送丝轮(3)设置在安装孔(5)中，并与驱动机构连接，驱动机构驱动送丝轮(3)绕自身轴线转动，且送丝轮(3)的轴线与支撑轴(8)的轴线平行；在所述安装孔(5)的两侧均设置有送丝孔，所述送丝孔彼此同轴，其相对的一端均与安装孔(5)连通，且送丝孔的轴线位于压紧轮(4)和送丝轮(3)之间。2.根据权利要求1所述的用于真空蒸镀镀膜设备的连续式送丝机构，其特征在于：所述压紧臂(2)上远离铰接的一端与安装槽(6)上远离铰接的一端通过螺栓(9)拆卸连接，所述螺栓(9)的杆部末端穿过压紧臂(2)后与安装槽(6)的槽底螺纹连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈清胜，赵锐，
申请(专利权)人：四川海格锐特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51