一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备及其方法技术

本发明专利技术公开了一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备及其方法，其加工设备，针对现有的上述技术方案在制作坩埚时，需要对石墨板进行喷涂氮化硅涂层，但现有的喷涂方式一般就是采用手工喷涂，容易出现漏喷和效率低下的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部对称固定安装有两个立柱，且两个立柱相互靠近的一侧顶部固定安装有同一个横梁，所述底座的顶部滑动连接有移动板。本发明专利技术通过启动推杆电机可分别带动石墨板进行移动和挤压海绵进行横向往复运动，实现了对石墨板均匀的涂抹氮化硅，以此可以代替手工操作，实现对石墨板进行均匀的涂抹，可有效避免漏喷的问题，并且可以提高工作效率。

A processing equipment and method of crucible for polysilicon ingot

The invention discloses a processing equipment and method for a crucible used for polysilicon ingot. The processing equipment needs to spray silicon nitride coating on the graphite plate when manufacturing the crucible according to the existing technical scheme, but the existing spraying method generally adopts manual spraying, which is prone to leakage and low efficiency. The following scheme is proposed, including the base, The top of the base is symmetrically fixed and installed with two columns, and the top of the two columns close to each other is fixed and installed with the same beam, and the top of the base is slidably connected with a moving plate. The invention can drive the graphite plate to move and extrude the sponge to move horizontally and reciprocally by starting the push rod motor, thus realizing the uniform coating of silicon nitride on the graphite plate, which can replace the manual operation, realize the uniform coating of the graphite plate, effectively avoid the problem of leakage spraying, and improve the working efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备及其方法
本专利技术涉及坩埚
，尤其涉及一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备及其方法。
技术介绍
多晶硅太阳能电池是光伏发电的主要发电方式，通常用的多晶硅铸锭坩埚为纯度99.9％的熔融石英坩埚，它是多晶铸锭过程中的一次性容器，以熔融石英颗粒为主要原料制备的熔融石英坩埚因存在有大量的熔融石英颗粒间的微小孔隙，可避免或减少熔融石英晶化过程中体积效应所致的表面张应力裂纹扩展的危害，进一步提高材料的使用安全性，申请公布号：CN108301042A一种多晶硅铸锭用坩埚，由若干石墨板拼接而成，所述石墨板的内表面复合有氮化硅涂层，相邻石墨板之间通过石墨螺丝和/或石墨加固块来连接或固定，相邻石墨板连接的接缝处喷涂有氮化硅涂层。本专利技术的坩埚采用石墨板拼接而成，不但可重复使用，而且由于石墨的高温强度高，在铸锭过程中可不用石墨板护板来支持，大大节约了铸锭成本；由于石墨导热性好，且不易与硅反应的特点，因而解决了熔融石英坩埚存在的漏硅率高、氧含量偏高引起的衰减、侧面红区及底部红区偏长的问题，铸锭周期可缩短约18小时以上，每月可多生产近3个硅锭，大大提高了铸锭效率。上述技术方案在制作坩埚时，需要对石墨板进行喷涂氮化硅涂层，但现有的喷涂方式一般就是采用手工喷涂，容易出现漏喷和效率低下的问题，所以我们提出一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备及其方法，用于解决上述所提出的问题。
技术实现思路
基于
技术介绍
存在上述技术方案在制作坩埚时，需要对石墨板进行喷涂氮化硅涂层，但现有的喷涂方式一般就是采用手工喷涂，容易出现漏喷和效率低下的的技术问题，本专利技术提出了一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备及其方法。本专利技术提出的一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，包括底座，所述底座的顶部对称固定安装有两个立柱，且两个立柱相互靠近的一侧顶部固定安装有同一个横梁，所述底座的顶部滑动连接有移动板，所述底座的顶部一侧固定安装有推杆电机，所述推杆电机的输出轴与移动板的一侧固定连接，所述横梁上滑动连接有两个限位柱，且两个限位柱的底端均滑动连接有滑轨，两个滑轨的底部固定安装有同一个喷涂罩，所述喷涂罩内固定安装有挤压海绵，所述移动板的顶部卡装有石墨板，且挤压海绵与石墨板相接触，所述横梁的顶部一侧固定安装有涂料箱，所述涂料箱内固定连接有出液管，且出液管的底端贯穿横梁并延伸至延伸至横梁的下方，所述出液管的底端固定连接有连接罩，所述连接罩内密封滑动连接有移动管，所述移动管的一端延伸至喷涂罩内。优选的，所述涂料箱的底部一侧开设有安装槽，且安装槽的一侧内壁上固定安装有输料泵，所述输料泵的出料端与出液管固定连接，所述输料泵的进料端延伸至涂料箱内，利用输料泵，可以增加涂料输出的动力。优选的，所述限位柱上套设有限位弹簧，且限位弹簧位于横梁的下方，所述限位弹簧的顶端和底端分别与横梁的底部和限位柱固定连接，且两个限位柱的顶端均延伸至横梁的上方并固定安装有同一个拉杆，利用拉杆，可以方便同时带动两个限位柱向上进行移动，以此可以方便带动喷涂罩纵向移动。优选的，所述拉杆的底部滑动连接有U型板，且U型板的顶部开设有限位槽，限位槽内滑动连接有制动杆，限位槽的内壁上固定安装有限位板，所述制动杆贯穿限位板，所述拉杆的底部开设有卡槽，且卡槽的内滑动连接有推杆，推杆的顶端延伸至拉杆的上方，且制动杆与卡槽相适配，所述制动杆上套设有拉伸弹簧，且拉伸弹簧位于限位板的下方，所述拉伸弹簧的两端分别与限位板的底部和制动杆的底部固定连接，所述U型板上转动连接有支撑杆且支撑杆的一端与横梁的顶部转动连接，利用拉伸弹簧的复位力，可以方便实现制动杆向上进行移动，将制动杆移动至卡槽内，实现对U型板的限位。优选的，所述底座的顶部一侧转动连接有转动齿轮，且移动板的一侧固定安装有齿条，所述齿条与转动齿轮相啮合，所述转动齿轮的顶部固定安装有推动轴，且推动轴上套设有连接环，连接环的一侧固定安装有移动杆，所述移动杆的一端与喷涂罩的一侧固定连接，利用齿条的移动，可以带动转动齿轮进行转动，此时可以通过推动轴和连接环的配合，实现移动杆的横向往复运动，因此可以带动喷涂罩进行横向往复运动。优选的，所述喷涂罩的内壁上密封转动连接有安装罩，且移动管的一端延伸至安装罩内并与安装罩的内壁密封贴合，所述安装罩的底部内壁上等间距固定安装有多个喷头，且喷头的底部延伸至喷涂罩内，所述喷涂罩的内壁上固定安装有筛网，且挤压海绵固定安装在筛网的底部，利用安装罩和喷头，可将涂料喷涂至挤压海绵上，并且利用挤压海绵对石墨板进行涂抹氮化硅。优选的，所述安装罩上分别固定套设有复位齿轮和传动齿轮，所述喷涂罩的两侧顶部内壁上分别固定安装有驱动马达和转动连接有固定轴，且固定轴的一端固定安装有连接齿轮，所述连接齿轮与复位齿轮相啮合，且固定轴上固定套设有扭力弹簧，所述扭力弹簧的两端分别与喷涂罩的一侧内壁和连接齿轮的一侧固定连接，所述驱动马达的输出轴上固定安装有半圆齿轮，且半圆齿轮与传动齿轮相啮合，通过半圆齿轮与传动齿轮，可以实现安装罩进行弧型转动，并且可以通过扭力弹簧实现对安装罩进行复位。优选的，所述移动板的顶部对称转动连接有两个转动杆，且两个转动杆上均转动连接有缓冲液压杆，所述缓冲液压杆的一端转动连接有夹板，且两个夹板均与石墨板相夹装，可以将石墨板固定在移动板上。优选的，所述缓冲液压杆和转动杆相互靠近的一端均固定安装有安装环，且两个安装环转动连接有同一个销轴，两个安装环上分别开设有环形槽和滑动连接有限位杆，所述环形槽的一侧内壁上开设有卡装槽，且限位杆的一端延伸至卡装槽内并与卡装槽相卡装，所述限位杆上套设有限位弹簧，所述限位弹簧位于两个安装环之间，且限位弹簧的两端分别与限位杆和位于一侧的安装环固定连接，利用限位杆和限位弹簧可以方便对两个安装环进行制动。本专利技术还提出了一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备的方法，包括以下步骤：S1：首先将石墨板放置在移动板上，此时可以向下推动转动杆，以带动两个夹板相互靠近并与石墨板相夹紧；S2：接着向下推动推杆，将制动杆移出卡槽内，使得U型板可以发生移动，这时支撑杆就会向下进行转动，以此在两个限位弹簧的作用下，带动喷涂罩向下进行移动，直至挤压海绵与石墨板相接触；S3：利用输料泵将涂料箱内的碳化硅涂料抽送至出液管内之后经过连接罩和连接管可以将涂料输送至安装罩内，此时喷头的作用下，可以将涂料向挤压海绵进行喷涂；S4：接着启动驱动马达可以带动半圆齿轮进行转动，以此可以实现半圆齿轮与传动齿轮间断啮合，以此实现多个喷头进行转动，所以可以实现扩大对挤压海绵的喷淋范围；S5：启动推动电机可带动移动板进行移动，这时通过齿条带动转动齿轮进行转动，在转动齿轮进行转动时，可以带动连接轴环形移动，此时在于连接环的配合下，可以实现对喷涂罩进行横向往复运动。本专利技术的有益效果是：1、利用输料泵将涂料箱内的碳化硅涂料抽送至出液管内之后经过连接罩和连接管可以将涂料输送至安装罩内，此时喷头的作用下，可以将涂料向挤压海绵进行喷涂，所以可以利用挤压海绵对石墨板进行擦拭；2、利用驱动马达可以带动半圆齿轮进行转动，以此可以实现半圆齿轮与传动齿轮间断啮合，因此在半圆齿轮与传动齿轮啮合时，可以带动安装罩内进行转动，此时通过复位齿轮和连接齿轮的啮合关系，可以实现扭力弹簧处于受力状本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，包括底座，其特征在于，所述底座的顶部对称固定安装有两个立柱，且两个立柱相互靠近的一侧顶部固定安装有同一个横梁，所述底座的顶部滑动连接有移动板，所述底座的顶部一侧固定安装有推杆电机，所述推杆电机的输出轴与移动板的一侧固定连接，所述横梁上滑动连接有两个限位柱，且两个限位柱的底端均滑动连接有滑轨，两个滑轨的底部固定安装有同一个喷涂罩，所述喷涂罩内固定安装有挤压海绵，所述移动板的顶部卡装有石墨板，且挤压海绵与石墨板相接触，所述横梁的顶部一侧固定安装有涂料箱，所述涂料箱内固定连接有出液管，且出液管的底端贯穿横梁并延伸至延伸至横梁的下方，所述出液管的底端固定连接有连接罩，所述连接罩内密封滑动连接有移动管，所述移动管的一端延伸至喷涂罩内。

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，包括底座，其特征在于，所述底座的顶部对称固定安装有两个立柱，且两个立柱相互靠近的一侧顶部固定安装有同一个横梁，所述底座的顶部滑动连接有移动板，所述底座的顶部一侧固定安装有推杆电机，所述推杆电机的输出轴与移动板的一侧固定连接，所述横梁上滑动连接有两个限位柱，且两个限位柱的底端均滑动连接有滑轨，两个滑轨的底部固定安装有同一个喷涂罩，所述喷涂罩内固定安装有挤压海绵，所述移动板的顶部卡装有石墨板，且挤压海绵与石墨板相接触，所述横梁的顶部一侧固定安装有涂料箱，所述涂料箱内固定连接有出液管，且出液管的底端贯穿横梁并延伸至延伸至横梁的下方，所述出液管的底端固定连接有连接罩，所述连接罩内密封滑动连接有移动管，所述移动管的一端延伸至喷涂罩内。2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，其特征在于，所述涂料箱的底部一侧开设有安装槽，且安装槽的一侧内壁上固定安装有输料泵，所述输料泵的出料端与出液管固定连接，所述输料泵的进料端延伸至涂料箱内。3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，其特征在于，所述限位柱上套设有限位弹簧，且限位弹簧位于横梁的下方，所述限位弹簧的顶端和底端分别与横梁的底部和限位柱固定连接，且两个限位柱的顶端均延伸至横梁的上方并固定安装有同一个拉杆。4.根据权利要求3所述的一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，其特征在于，所述拉杆的底部滑动连接有U型板，且U型板的顶部开设有限位槽，限位槽内滑动连接有制动杆，限位槽的内壁上固定安装有限位板，所述制动杆贯穿限位板，所述拉杆的底部开设有卡槽，且卡槽的内滑动连接有推杆，推杆的顶端延伸至拉杆的上方，且制动杆与卡槽相适配，所述制动杆上套设有拉伸弹簧，且拉伸弹簧位于限位板的下方，所述拉伸弹簧的两端分别与限位板的底部和制动杆的底部固定连接，所述U型板上转动连接有支撑杆且支撑杆的一端与横梁的顶部转动连接。5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，其特征在于，所述底座的顶部一侧转动连接有转动齿轮，且移动板的一侧固定安装有齿条，所述齿条与转动齿轮相啮合，所述转动齿轮的顶部固定安装有推动轴，且推动轴上套设有连接环，连接环的一侧固定安装有移动杆，所述移动杆的一端与喷涂罩的一侧固定连接。6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭用坩埚的加工设备，其特征在于，所述喷涂罩的内壁上密封转动连接有安装罩，且移动管...

【专利技术属性】
技术研发人员：武建军，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山西,14