平稳排气阀制造技术

一种平稳排气阀，具有并列连接第一通气口和第二通气口且断面面积较大的主流路及断面面积小于该主流路的副流路；开闭上述主流路的主阀体及开闭上述副流路的副阀体；通过第一轴连接到上述主阀体上的第一活塞和通过第二轴连接到上述副阀体上的第二活塞；使开阀方向中的空气压作用于上述第一活塞的主压力室和使开阀方向中的空气压作用于上述第二活塞的副压力室；把上述主阀体在闭阀方向上弹开的第一弹簧装置和把上述副阀体在闭阀方向上弹开的第二弹簧装置；以及调节杆。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种平稳排气阀，该排气阀连接在真空室与真空泵之间，用于把真空室内部缓慢降压到真空压力。
技术介绍
一般在半导体制造工艺等中利用真空泵把真空室内压降为真空压力的情况下，当急速地排出真空室内呈大气压或高压状的气体时，由于一时大量气体流动，在真空室内产生气体湍流，有可能使附着在真空室内壁等上的颗粒上卷而附着在工件上。为此，在连接真空室和真空泵的流路中设置具有开口面积大的主阀体和开口面积小的副阀体的真空阀，首先，通过空气压作于副阀体的活塞使副阀体开放进行初期排气后，通过空气压作用于主阀体的活塞上，使气体的吸引量阶段性变化。在这种情况下，为了避免真空室内的气体湍流，上述初期排气中副阀体开放精度极为重要，要求时该阀体的开放度进行精密控制。另一方面，在上述真空阀中，上述主阀体和副阀体分别由复原弹簧在闭阀方向中时常弹开着，当作用于上述活塞的空气作用力超过这种复原弹簧的弹力时，各阀体呈开阀状态。但一般由于弹簧弹性因制品而有差异，在其作为上述主阀体用或副阀体用复原弹簧来使用时，要使作用于阀体的弹簧负荷在全部真空阀为一定是非常困难的。特别是对要求高开闭精度的上述副阀体来说，当其复原弹簧上有差异性时，因真空阀控制曲线产生偏差会对进出力特性有影响，复原弹簧必须要更换成符合规格的保持弹簧精度的弹簧。但是，由于副阀体复原弹簧通常设置在阀内较窄处，大多数情况下不细致地分解的话就不能更换，更换作业很麻烦。并且，由于更换后必须再次调整空气压与副阀体复原力的关系，至真空阀运转要花费较多的劳力及时间，还会带来成本提高的问题。本专利技术的目的在于提供一种平稳排气阀，即使在副阀体复原弹簧弹性达不规定值也不用更换该弹簧，能利用外部操作简单地调节其弹力，并由此能对副阀体进行更精确稳定地开闭调节。
技术实现思路
为了达到上述目的，本专利技术提供的平稳排气阀特征在于，该平稳排气阀具有连接到真空室上的第一通气口和连接到真空泵上的第二通气口；并列连接上述第一通气口和第二通气口且断面面积较大的主流路与断面面积小于该主流路的副流路；开闭上述主流路的主阀体及开闭上述副流路的副阀体；通过第一轴连接到上述主阀体上的第一活塞和通过第二轴连接到上述副阀体上的第二活塞；使开阀方向中的空气压作用于上述第一活塞的主压力室和使开阀方向中的空气压作用于上述第二活塞的副压力室；把上述主阀体在闭阀方向上弹开的第一弹簧装置和把上述副阀体在闭阀方向上弹开的第二弹簧装置；以及能从外部进退操作，安装到阀箱上并通过该进退操作使上述第二弹簧压缩量变化来调整弹力的调节杆。根据具有上述结构的本专利技术，第二弹簧装置的弹性即使与规定值略有不同，也能通过进退操作上述调节杆使该第二弹簧压缩量变化来调整弹力，不必替换该第二弹簧装置。根据本专利技术具体的实施形式，把上述副流路及副阀体组装在上述阀体内部，把上述第二活塞及副压力室组装在上述第一活塞内部，把上述第二轴组装在第一轴内部，再把上述第二弹簧装置设置在上述第一活塞内部中的上述第二活塞和可动弹簧座之间，并把上述调节杆可自由进退地拧装在上述第一活塞上使前端部靠在上述可动弹簧座上而基端部从阀箱向外部突出着。根据本专利技术的一个实施形式，作为把上述副阀体在闭阀方向弹开的弹簧装置，除了上述第二弹簧装置外，还在上述第一轴内部设置有第三弹簧装置。根据本专利技术的另一实施形式，上述第一轴具有使上述主压力室与副压力室连通的连通孔，上述阀箱具有给上述主压力室供给压缩气体的一个操作通气口。根据本专利技术的又一实施形式，上述阀箱具有分别给上述主压力室和副压力室供给压缩气体的第一和第二操作通气口，上述第一操作通气口穿过设置在阀箱上的通孔连通到上述主压力室上，上述第二操作通气口穿过设置在阀箱及第一轴内部的通孔连通到上述副压力室上。在本专利技术中，上述主阀体是提升阀而上述副阀体是针阀。附图说明图1是表示本专利技术平稳排气阀第一实施例的剖面图，分别表示针阀的开状和闭状；图2是表示图1所示针阀复原力调节部的侧视图；图3是表示本专利技术平稳排气阀第二实施例的剖面图，分别表示针阀的开状和闭状；图4是表示本专利技术平稳排气阀第三实施例的剖面图，分别表示针阀的开状和闭状；图5是表示本专利技术平稳排气阀第四实施例的剖面图，分别表示针阀的开状和闭状。具体实施例方式下面根据附图详细说明本专利技术的实施形式。图1及图2所示的第一实施例的平稳排气阀100具有大致缸状的阀箱1，该阀箱1的轴向后端部用盖体2塞着，阀箱1的前端部配置有连接到真空室C上的第一空气孔3，阀箱1的侧面与轴线正交的方向中开设有连接到真空室P上的第二空气孔4。在上述阀箱1内部并列连接着上述第一空气孔3和第二空气孔4，并分别设置有断面积较大的主流路A和断面积较小的副流路B，同时分别设置着开闭上述主流路A的主阀结构和开闭上述副流路B的主阀结构。上述主阀结构具有开闭上述主流路A中第一阀座7的主阀体8、依靠空气压作用动作驱动上述主阀体8的第一活塞9、把主阀体8和第一活塞9相互连接的第一轴10。上述主阀体8是通过在中央部开口的园板形第一阀座6周边上设置开闭上述第一阀座7的密封件8a构成的，上述第一阀座6中央开口形成上述副流路B的一部分，并通过设置在上述第一阀座6上的导流路6a连通着第二空气孔4。再把上述第一轴10的前端部插配在第一阀座6的中央部固定成因定位环11而不能拔脱状。另外，图中的12是保持第一轴10与第一阀座6间气密性的密封件。上述第一轴10的后端部，可自由滑动且气密地通过导向轴套14及密封件30穿过阀箱1内的台座13，并突出到在该台座13与上述盖体2间缸15内的第一活塞室16内，利用螺钉17连接到可滑动配置于该第一活塞室16中的上述第一活塞9上。上述第一活塞9具有气密地滑接到其外周处第一活塞室16内壁上的衬垫18和导向环19，在该第一活塞9和上述台座13间区划形成的高压力作用室20连通到开设于圆筒15的侧壁上的操作通气口21。因此，当从上述操作通气口21给上述高压力作用室20供给压缩气体时，上述第一活塞9后退主阀体8开放。这时，在上述操作通气口21上，供给由电动空气调节器控制压力的压缩气体。在上述阀箱1内部，在装配到上述第一阀座6上的弹簧座22和台座13之间设置有由在闭锁方向中弹开主阀体8的二个螺线弹簧23a、23b构成的第一弹簧装置23，同时，在夹在阀箱1和台座13间的波纹管架25与上述第一阀座6之间设置有内部包含上述第一轴10和二个螺线弹簧23a、23b的波纹管27。另外，图中的28是保持阀箱1和波纹管架25间气密性的密封件。31是把上述波纹管27内侧空间连通到外部的呼吸通气口，32是把上述第一活塞9背后的呼吸室连通到外部的呼吸通气口。另一方面，上述副阀结构具有对设置在上述主阀体8的上述副流路B中第二阀座35进行开闭的副阀体36、依靠空气压作用动作驱动上述副阀体36的第二活塞37、把副阀体36和第二活塞37相互连接的第二轴38。这些部件如以下说明所述整体组装到上述主阀结构上。也就是说，把上述第二阀座35利用固定架33安装在同轴固定的园环状第二阀座34上。上述副阀体36是针阀，此针阀36制成依次变细状，在其外周上具有与上述第二阀座35接近离开的突状阀垫(密封部)41，并以在前后方向可滑动地收容在上述第一轴10前端部上形成的中空部10a内。图中67是把上述针阀36的背本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平稳排气阀，其特征在于，该平稳排气阀具有连接到真空室上的第一通气口和连接到真空阀上的第二通气口；并列连接上述第一通气口和第二通气口且断面面积较大的主流路及断面面积小于该主流路的副流路；开闭上述主流路的主阀体及开闭上述副流路的副阀体；通过第一轴连接到上述主阀体上的第一活塞和通过第二轴连接到上述副阀体上的第二活塞；将开阀方向中的空气压作用于上述第一活塞主压力室和使开阀方向中的空气压作用上述第二活塞的副压力室；把上述主阀体在关阀方向上弹开的第一弹簧装置和把上述副阀体在关阀方向上弹开的第二弹簧装置；以及能从外部进退操作地安装到阀箱上并通过该进退操作使上述第二弹簧装置压缩量变化来调整弹力的调节杆。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：梶谷昌生，
申请(专利权)人：速睦喜股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]