【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体产生装置
本专利技术涉及使处理气体等离子体化而产生等离子体气体的等离子体产生装置。
技术介绍
在等离子体产生装置中，向反应室供给处理气体，向配置于反应室的多个电极供给电力。由此，在反应室中，产生放电，而处理气体等离子体化，从而产生等离子体气体。在下述专利文献记载有这样的等离子体产生装置的一个例子。现有技术文献专利文献1：日本特开2007-188689号公报专利文献2:国际公开第2014/188592号
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在等离子体产生装置中，希望高效地进行等离子体处理。因此，课题在于能够高效地执行等离子体处理的等离子体产生装置。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本说明书公开了一种等离子体产生装置，具备：电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向上述反应室供给处理气体；及控制装置，控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，在向上述反应室供给处理气体的状态下向上述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，上述控制装置以第一工作模式和第二工作模式中的任一工作模式控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工...
【技术保护点】
1.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向所述反应室供给处理气体；及控制装置，控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：基于停止指示而使向所述电极的电力供给停止，但继续向所述反应室供给处理气体，并基于重新开始指示而使向所述电极的电力供给重新开始。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向所述反应室供给处理气体；及控制装置，控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：基于停止指示而使向所述电极的电力供给停止，但继续向所述反应室供给处理气体，并基于重新开始指示而使向所述电极的电力供给重新开始。2.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向所述反应室供给处理气体；及控制装置，控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，在向所述反应室供给处理气体的状态下向所述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，所述控制装置以第一工作模式和第二工作模式中的任一工作模式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，其中，所述第一工作模式为使向所述电极的电力供给停止并使向所述反应室的处理气体的供给停止的工作模式，所述第二工作模式为使向所述电极的电力供给停止但继续向所述反应室供给处理气体的工作模式。3.根据权利要求2所述的等离子体产生装置，其中，所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：在输入停止信号后输入了开始信号的情况下，在所述第一工作模式下，在输入了开始信号的时间点向所述反应室供给处理气体并在从该时间点起经过了第一设定时间后向所述电极供给电力，在所述第二工作模式下，在输入了开始信号的时间点向所述电极供给电力。4.根据权利要求2或3所述的等离子体产生装置，其中，所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：在所述第二工作模式下，在从输入停止信号之后到经过第二设定时间之前未输入开始信号的情况下，使向所述反应室的处理气体的供给停止。5.根据权利要求2～4中任一项所述的等离子体产生装置，其中，所述处理气体供给装置具有：供给非活性气体的非活性气体供给装置；及供给活性气体的活性气体供给装置，所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的...
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