减速器装配方法、及中心调整装置制造方法及图纸

本申请公开一种减速器装配方法、及中心调整装置，其中，所述减速器包括：支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件，所述减速器装配方法包括：将所述支撑组件、所述主动齿轮组件通过松连接装配至所述主体；将所述定位中心轴安装至所述主体，调整所述定位中心轴与所述主体的轴承安装部的同心度；将所述支撑组件、所述主动齿轮组件和所述主体紧连接；将所述定位中心轴从所述主体卸下；将所述从动齿轮组件装配固定至所述主体；将所述定位中心轴装配固定至所述主体；将所述法兰组件装配至所述主体。本申请所提供的减速器装配方法、及中心调整装置能够提升减速器的装配精度。

【技术实现步骤摘要】
减速器装配方法、及中心调整装置
本申请涉及真空磁控溅射镀膜设备的制造装配领域，尤其涉及一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器装配方法、及中心调整装置。
技术介绍
在真空磁控溅射镀膜设备中，最重要的部件是阴极溅射靶系统，它是溅射镀膜设备的心脏。阴极靶在工作过程中的稳定性直接与溅射工艺的稳定性和膜层的特性相关。而阴极靶系统中传动减速装置的稳定性则关系着阴极靶系统的稳定性，作为精密传动机构，零件之间公差配合对整机性能影响明显，装配工艺直接影响减速器的整机性能。现有的减速器装配工艺的安装精度较低，无法保证设备运行的稳定性，导致膜层质量不高。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足，本申请的目的是提供一种减速器装配方法、及中心调整装置，以能够提升减速器装配的安装精度，提高设备运行过程中的稳定性。本申请采用如下技术方案：一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器装配方法，所述减速器包括：主体、支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件；所述减速器装配方法包括：将所述支撑组件、所述主动齿轮组件通过松连接装配至所述主体；将所述定位中心轴安装至所述主体，调整所述定位中心轴与所述主体的轴承安装部的同心度；将所述支撑组件、所述主动齿轮组件和所述主体紧连接；将所述定位中心轴从所述主体卸下；将所述从动齿轮组件装配固定至所述主体；将所述定位中心轴装配固定至所述主体；将所述法兰组件装配至所述主体。作为一种优选的实施方式，所述主体设有安装所述从动齿轮组件的安装孔；所述安装孔具有容置所述从动齿轮组件的轴承的轴承安装部；相应的，在所述减速器装配方法中，利用中心调整装置调整定位中心轴与主体的轴承安装部的同心度；其中，所述中心调整装置包括：壳体；所述壳体具有将其贯通的贯通孔；所述壳体通过所述贯通孔套设于所述定位中心轴外；所述壳体具有用于容置于所述轴承安装部中的第一定位部；其中，第一定位部的外径和所述轴承安装部的内径相等，配合公差小于0.02mm；所述贯通孔的内壁具有与所述定位中心轴的外壁相匹配的第二定位部，所述第二定位部的内径与所述定位中心轴的外径相等，配合公差小于0.02mm。作为一种优选的实施方式，所述第一定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第二定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第一定位部的外径和所述第二定位部的内径同轴度公差小于0.02mm。作为一种优选的实施方式，所述轴承安装部具有第二安装台阶；相应的，在所述减速器装配方法中，先将所述定位中心轴安装于所述支撑组件上，再将所述中心定位装置套设于所述定位中心轴外并被所述第二安装台阶承载，使所述第一定位部位于所述轴承安装部中。作为一种优选的实施方式，所述壳体具有上端和下端；所述第二定位部靠近所述上端设置，所述壳体的下端设有沿径向凸出的圆台；所述圆台的侧边形成所述第一定位部；所述圆台上设有预留孔；所述预留孔用于旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉；相应的，在所述减速器装配方法中，通过所述预留孔旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉。作为一种优选的实施方式，所述主体的一端设有插入口，所述安装孔的底部设有第一安装台阶；所述第一安装台阶设有多个第一螺钉孔；多个所述预留孔与多个所述第一螺钉孔一一对应；相应的，在所述减速器装配方法中，将所述支撑组件从所述插入口插入所述主体，通过多个所述第一螺钉孔装入螺钉进行松连接，在通过所述中心调整装置进行同心度调整后，将扳手穿过所述预留孔旋紧装入所述第一螺钉孔的螺钉。作为一种优选的实施方式，所述主体设有所述插入口的一端设有多个第二螺钉孔；相应的，在所述减速器装配方法中，将所述主动齿轮组件在所述支撑组件上方通过所述插入口插入所述主体，通过多个所述第二螺钉孔装入螺钉进行松连接。作为一种优选的实施方式，所述装配方法还包括：将所述支撑组件和所述主动齿轮组件通过连接块进行松连接；相应的，在调整所述定位中心轴的同心度后，将所述支撑组件、所述主动齿轮组件、所述连接块进行紧连接。作为一种优选的实施方式，依次锁紧支撑组件与主体的螺钉、主动齿轮组件与主体的螺钉、支撑组件与连接块的螺钉、主动齿轮组件与连接块的螺钉。一种减速器装配用中心调整装置，所述减速器包括：主体、支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件；所述主体设有安装所述从动齿轮组件的安装孔；所述安装孔具有容置所述从动齿轮组件的轴承的轴承安装部；其中，所述中心调整装置包括：壳体；所述壳体具有将其贯通的贯通孔；所述壳体能通过所述贯通孔套设于所述定位中心轴外；所述壳体具有用于容置于所述轴承安装部中的第一定位部；其中，第一定位部的外径和所述轴承安装部的内径相等，配合公差小于0.02mm；所述贯通孔的内壁具有与所述定位中心轴的外壁相匹配的第二定位部，所述第二定位部的内径与所述定位中心轴的外径相等，配合公差小于0.02mm。作为一种优选的实施方式，所述第一定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第二定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第一定位部的外径和所述第二定位部的内径同轴度公差小于0.02mm。作为一种优选的实施方式，所述壳体具有上端和下端；所述第二定位部靠近所述上端设置，所述壳体的下端设有沿径向凸出的圆台；所述圆台的侧边形成所述第一定位部。作为一种优选的实施方式，所述圆台上设有预留孔；所述预留孔用于旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉。有益效果：本申请实施方式所提供的减速器装配方法通过模块化组装，将组件拆分成各子组件单独装配，降低了装配难度并提高了公差配合精度。另外，本申请实施方式所提供的减速器装配方法利用中心调整装置，保证了各旋转部件中心部位的一致性，保证了安装精度，提高了设备运行过程中的稳定性。参照后文的说明和附图，详细公开了本专利技术的特定实施方式，指明了本专利技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本专利技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本专利技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请一种实施例中的减速器结构示意图；图2是图1的立体图；图3是图1的主体示意图；图4是图3的另一示意图；图5、图6是装配支撑组件步骤示意图；图7、图8是装配主动齿轮组件步骤示意图；图9、图10是装配连接块步骤示意图；图11是调整定位中心轴同心度步骤示意图；图12、图13是装配碳刷组件步骤示意图；图14是图1的从动齿轮组件结构示意图；图15是图14的爆炸图；图16、图17是装配从动齿轮组件步骤示意图；图18、图19是装配油封组件步骤示意图；图20、图21是装配定位中心轴步骤示意图；图22是装配法兰组件步骤示意图；图23是图11的中心调整装置结构示意图。具体实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器装配方法，所述减速器包括：主体、支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件；其特征在于，所述减速器装配方法包括：将所述支撑组件、所述主动齿轮组件通过松连接装配至所述主体；将所述定位中心轴安装至所述主体，调整所述定位中心轴与所述主体的轴承安装部的同心度；将所述支撑组件、所述主动齿轮组件和所述主体紧连接；将所述定位中心轴从所述主体卸下；将所述从动齿轮组件装配固定至所述主体；将所述定位中心轴装配固定至所述主体；将所述法兰组件装配至所述主体。

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器装配方法，所述减速器包括：主体、支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件；其特征在于，所述减速器装配方法包括：将所述支撑组件、所述主动齿轮组件通过松连接装配至所述主体；将所述定位中心轴安装至所述主体，调整所述定位中心轴与所述主体的轴承安装部的同心度；将所述支撑组件、所述主动齿轮组件和所述主体紧连接；将所述定位中心轴从所述主体卸下；将所述从动齿轮组件装配固定至所述主体；将所述定位中心轴装配固定至所述主体；将所述法兰组件装配至所述主体。2.如权利要求1所述的减速器装配方法，其特征在于：所述主体设有安装所述从动齿轮组件的安装孔；所述安装孔具有容置所述从动齿轮组件的轴承的轴承安装部；相应的，在所述减速器装配方法中，利用中心调整装置调整定位中心轴与主体的轴承安装部的同心度；其中，所述中心调整装置包括：壳体；所述壳体具有将其贯通的贯通孔；所述壳体通过所述贯通孔套设于所述定位中心轴外；所述壳体具有用于容置于所述轴承安装部中的第一定位部；其中，第一定位部的外径和所述轴承安装部的内径相等，配合公差小于0.02mm；所述贯通孔的内壁具有与所述定位中心轴的外壁相匹配的第二定位部，所述第二定位部的内径与所述定位中心轴的外径相等，配合公差小于0.02mm。3.如权利要求2所述的减速器装配方法，其特征在于，所述第一定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第二定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第一定位部的外径和所述第二定位部的内径同轴度公差小于0.02mm。4.如权利要求2或3所述的减速器装配方法，其特征在于，所述轴承安装部具有第二安装台阶；相应的，在所述减速器装配方法中，先将所述定位中心轴安装于所述支撑组件上，再将所述中心定位装置套设于所述定位中心轴外并被所述第二安装台阶承载，使所述第一定位部位于所述轴承安装部中。5.如权利要求4所述的减速器装配方法，其特征在于，所述壳体具有上端和下端；所述第二定位部靠近所述上端设置，所述壳体的下端设有沿径向凸出的圆台；所述圆台的侧边形成所述第一定位部；所述圆台上设有预留孔；所述预留孔用于旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉；相应的，在所述减速器装配方法中，通过所述预留孔旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉。6.如权利要求5所述的减速器装配方法，其特征在于，所述主体的一端设有插入口，所述安装孔的底部设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜友松，籍伟杰，孙斌，王怀民，
申请(专利权)人：合肥晞隆光电有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34