一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及多晶硅加工技术领域，具体涉及一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法。主要技术方案为：一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，包括:机架、导轨、夹持机构、磨削驱动机构和磨头；导轨固定地设置在机架上；夹持机构设置在导轨上，能够在导轨上移动；磨头设置在磨削驱动机构上，被磨削驱动机构驱动转动；磨头的前端部为圆柱形；磨头的后端部为圆柱形；磨头的后端部的直径较前端部的直径大；磨头的前端部和后端部之间为中部；中部为圆台形；前端部、中部和后端部同轴设置；磨头上设置有通孔，用于向磨头的磨削面通入超纯水；磨头上设置有导流槽；导流槽沿磨头的外侧，从通孔的前端延伸至磨头的后端部，用于将磨头中的水和磨削粉尘导出。

【技术实现步骤摘要】
一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法
本专利技术涉及多晶硅加工
，尤其涉及一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置及方法。
技术介绍
由于环境污染，能源短缺，推动了太阳能光伏行业的快速发展，晶体硅太阳能电池是目前最主要的太阳能电池，其所用原料主要有原生多晶硅、芯片加工过程中的废料、硅片加工过程中的边角料等，其中原生多晶硅是主要的原料，这几年太阳能光伏行业飞速发展，多晶硅原料的供应非常紧俏，价格也比较高，每吨多晶硅原料的价格为7～10万。多晶硅生长时，需用石墨夹头夹持细长硅芯下端，石墨夹头作为电极对硅芯通入高压电流，使硅芯发热，炉腔内的气相三氯氢硅和氢气在高热硅芯表面发生化学反应，生产单质硅，并沉积在硅芯表面，随着生长持续，硅芯表面沉积单质硅越来越多，硅芯越来越粗，最终变成成品多晶硅棒。同时与硅芯直接接触的石墨夹头因硅芯发热传导的热量使部分气相三氯氢硅和氢气在其表面发生反应，生成单质硅，沉积在石墨夹头表面，逐步将石墨夹头上部包裹，同时高温下，夹头表面石墨C原子与硅形成致密碳化硅，将石墨夹头、碳化硅层、多晶硅紧密结合，难以将表面的多晶硅有效分离，导致浪费大量附着在石墨夹头表面的高纯多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，其特征在于，包括:机架、导轨、夹持机构、磨削驱动机构和磨头；所述导轨固定地设置在所述机架上；所述夹持机构设置在所述导轨上，能够在所述导轨上移动；所述夹持机构用于夹持待磨削多晶硅棒；所述磨削驱动机构设置在所述机架上；所述磨头设置在所述磨削驱动机构上，被所述磨削驱动机构驱动转动；所述磨头的前端部为圆柱形；所述磨头的后端部为圆柱形；所述磨头的后端部的直径较前端部的直径大；所述磨头的前端部和后端部之间为中部；所述中部为圆台形；所述前端部、所述中部和所述后端部同轴设置；所述磨头上设置有通孔，用于向所述磨头的磨削面通入超纯水；所述通孔与所述磨头同轴设置；所述磨削驱动...

【技术特征摘要】
1.一种去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，其特征在于，包括:机架、导轨、夹持机构、磨削驱动机构和磨头；所述导轨固定地设置在所述机架上；所述夹持机构设置在所述导轨上，能够在所述导轨上移动；所述夹持机构用于夹持待磨削多晶硅棒；所述磨削驱动机构设置在所述机架上；所述磨头设置在所述磨削驱动机构上，被所述磨削驱动机构驱动转动；所述磨头的前端部为圆柱形；所述磨头的后端部为圆柱形；所述磨头的后端部的直径较前端部的直径大；所述磨头的前端部和后端部之间为中部；所述中部为圆台形；所述前端部、所述中部和所述后端部同轴设置；所述磨头上设置有通孔，用于向所述磨头的磨削面通入超纯水；所述通孔与所述磨头同轴设置；所述磨削驱动机构包括：驱动电机、主轴和密封腔室；所述驱动电机设置在所述机架上；所述主轴的一端与所述磨头连接，另一端与所述驱动电机传动连接，被所述驱动电机驱动转动；所述主轴上设置有主通道和支通道；所述主通道沿所述主轴的轴向设置，用于与所述通孔连通；所述支通道的一端与所述主通道连通，另一端与所述主轴的外壁连通；所述密封腔室固定地设置在所述机架上；所述主轴贯穿所述密封腔室，所述主轴的一端位于所述密封腔室的一侧；所述主轴的另一端位于所述密封腔室的另一侧；所述支通道的另一端位于所述密封腔室中；所述密封腔室上设置有进水口；所述磨头上设置有导流槽；所述导流槽沿所述磨头的外侧，从所述通孔的前端延伸至所述磨头的后端部，用于将所述磨头中的水和磨削粉尘导出；所述磨头为金刚砂材质。2.根据权利要求1所述的去除原生多晶硅棒端面石墨的装置，其特征在于，所述支通道为多个；多个所述支通道沿所述主轴的圆周方向间隔设置。3.根据权利要求1所述的去除原生多...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟峥，张万里，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：新疆,65