一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备，该固定装置包括本体、凹槽及至少两个弹性部件，其中，本体包括相对设置的第一表面与第二表面；凹槽自本体的第一表面开口，并往第二表面方向延伸；弹性部件设置于凹槽的底面。本实用新型专利技术的刻蚀设备采用上述固定装置来固定刻蚀终点侦测窗口前的透光平板，其中，固定装置的本体通过紧固件或其它方式固定于刻蚀设备的腔体外壳外表面，凹槽用以容置透光平板，弹性部件用于抵住透光平板的外表面，将透光平板固定于腔体外壳外表面。本实用新型专利技术的刻蚀设备可有效减少透光平板的破裂概率，从而降低腔体泄露率及测机时的颗粒异常，不仅可以减少备件花费成本，还可以提高设备维护成功率和复机的实效。

A fixed device and an etching device adopting the fixed device

【技术实现步骤摘要】
一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备
本技术属于半导体集成电路
，涉及一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备。
技术介绍
目前12英寸晶圆普遍使用的干法刻蚀设备的刻蚀终点(ENDPOINT)都是固定式锁入方式。当前设计不足之处在于石英平板靠密封圈(O-RING)与腔体外壳紧密连接，一般石英/强化玻璃等在角边是最脆弱的部分，当仅靠一金属制的外壳由壳外部四颗螺丝锁紧固定，而施力不均匀时会造成石英破裂，若破裂严重，会导致腔体泄漏率(LEAKRATE)升高与测机时颗粒(PARTICLE)异常。因此，如何提供一种新的固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备，以避免石英平板边角破裂，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种固定装置及采用该固定装置的刻蚀设备，用于解决现有技术中不均匀固定器件容易造成透光平板边角破裂，导致备件花费成本增高，生产效率降低的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种固定装置，包括：本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，凹槽，设置于所述本体中，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住进入所述凹槽中的待固定物品，将所述待固定物品固定于与所述本体相对设置的支撑装置外表面。可选地，所述弹性部件包括弹簧。可选地，所述弹性部件的数量范围是2-100。可选地，所述弹性部件通过焊接、卡固或粘贴方式固定于所述凹槽的底面。可选地，所述本体中设有至少两个安装孔，所述安装孔贯穿所述第一表面与所述第二表面，其中，所述安装孔用于与紧固件配合，将所述本体固定于所述支撑装置外表面。可选地，所述本体中设有至少一个通光孔，所述通光孔贯穿所述凹槽的底面与所述第二表面。本技术还提供一种刻蚀设备，包括：腔体；腔体外壳；刻蚀终点侦测窗口，贯穿所述腔体外壳的外表面，并与所述腔体连通；透光平板，通过固定装置固定于所述腔体外壳外表面，并盖住所述刻蚀终点侦测窗口；刻蚀终点侦测装置，装设于所述固定装置的外表面，并与所述刻蚀终点侦测窗口相对；其中，所述固定装置包括：本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，凹槽，设置于所述本体中以容置所述透光平板，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住所述透光平板的外表面，将所述透光平板固定于所述腔体外壳外表面。可选地，所述弹性部件包括弹簧。可选地，所述弹性部件的数量范围是2-100。可选地，所述弹性部件通过焊接、卡固或粘贴方式固定于所述凹槽的底面。可选地，所述本体中设有至少两个安装孔，所述安装孔贯穿所述第一表面与所述第二表面，其中，所述安装孔用于与紧固件配合，将所述本体固定于所述腔体外壳外表面。可选地，所述本体中设有至少一个通光孔，所述通光孔贯穿所述凹槽的底面与所述第二表面，以容许来自所述腔体内的光线通过所述通光孔到达所述刻蚀终点侦测装置。可选地，所述透光平板与所述腔体外壳之间设有密封圈。如上所述，本技术的固定装置采用弹性部件将待固定物体与一体式框架本体分离，避免一体式框架本体直接压在待固定物体表面时的受力不均。本技术的刻蚀设备采用了上述固定装置来固定设置于刻蚀终点侦测窗口前方的透光平板，其中，在固定的过程中，透光平板会迫使弹性部件后移，固定时产生的不均匀施力会被弹性部件的弹性缓冲，另外，透光平板内侧与腔体外壳之间的密封圈可以缓冲抽真空时的压力。本技术的刻蚀设备不会造成硬碰硬挤伤，可以避免应力不均匀造成的透光平板边角破裂，从而降低备件花费成本，减少设备维护工作量。附图说明图1显示为本技术的固定装置的剖面结构示意图。图2显示为本技术的刻蚀设备中腔体外壳的示意图。图3显示为本技术的刻蚀设备中透光平板放置于腔体外壳外表面的正视示意图图4显示为本技术的刻蚀设备中透光平板放置于腔体外壳外表面的的剖面图。图5显示为常规的金属制固定外壳的示意图。图6显示为本技术的刻蚀设备采用常规的金属制固定外壳来固定透光平板的示意图。图7显示为本技术的刻蚀设备采用实施例一中的固定装置来固定透光平板的示意图元件标号说明1本体2凹槽3弹性部件4安装孔5腔体外壳6刻蚀终点侦测窗口7安装凹槽8透光平板9密封圈10固定外壳11收容槽12螺孔13螺丝14刻蚀终点侦测装置15紧固件具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。实施例一本实施例中提供一种固定装置，请参阅图1，显示为该固定装置的剖面结构示意图，包括本体1、凹槽2及至少两个弹性部件3，其中，所述本体1包括相对设置的第一表面与第二表面；所述凹槽2设置于所述本体1中，自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；所述弹性部件3设置于所述凹槽2的底面，用于抵住进入所述凹槽2中的待固定物品，将所述待固定物品固定于与所述本体1相对设置的支撑装置外表面。作为示例，所述弹性部件3包括但不限于弹簧。所述弹性部件3的数量可以根据需要进行设置，例如可以范围是2-100个。所述弹性部件3可通过焊接、卡固、粘贴等方式固定于所述凹槽2的底面。作为示例，各个所述弹性部件3均匀分布于所述凹槽2的外围，以尽量减少对所述待固定物品的遮挡。作为示例，所述本体1中设有至少两个安装孔4，所述安装孔4贯穿所述所述本体的第一表面与第二表面，其中，所述安装孔4用于与紧固件配合，将所述本体1固定于所述支撑装置外表面。作为示例，所述本体1中设有至少一个通光孔(未图示)，所述通光孔贯穿所述凹槽2的底面与所述第二表面。本实施例中，所述本体1中设有多个所述通光孔，各个所述通光孔之间呈阵列排布，所述通光孔的轮廓包括但不限于圆形、方形等。本技术的固定装置采用弹性部件将待固定物体与一体式框架本体分离，避免一体式框架本体与待固定物体直接接触，弹性部件可缓冲待固定物体的受力，防止待固定物体与一体式框架本体之间产生硬碰硬挤伤，避免应力不均匀的作用造成待固定物体边角破裂。实施例二本实施例中提供一种刻蚀设备，该刻蚀设备包括腔体、腔体外壳、刻蚀终点侦测窗口、透光平板、固定装置及刻蚀终点侦测装置，其中，所述固定装置采用实施例一中所述的固定装置。请参阅图2，显示为所述腔体外壳5的示意图，其中，所述刻蚀终点侦测窗口6贯穿所述腔体外壳5的外表面，并与所述腔体连通。作为示例，所述腔体外壳5还设有多个安装凹槽7，用于安装所述固定装置。本实施例中，所述安装凹槽7的数量为4个，分布于所述刻蚀终点侦测窗口6的周围。在其它实施例中，所述安装凹槽7的数量可以根据需要进行调整，或者可以采用其它固定方式安装所述固定装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定装置，其特征在于，包括：本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，凹槽，设置于所述本体中，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住进入所述凹槽中的待固定物品，将所述待固定物品固定于与所述本体相对设置的支撑装置外表面。

【技术特征摘要】
1.一种固定装置，其特征在于，包括：本体，包括相对设置的第一表面与第二表面，凹槽，设置于所述本体中，所述凹槽自所述第一表面开口，并往所述第二表面方向延伸；至少两个弹性部件，设置于所述凹槽的底面，用于抵住进入所述凹槽中的待固定物品，将所述待固定物品固定于与所述本体相对设置的支撑装置外表面。2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述弹性部件包括弹簧。3.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述弹性部件的数量范围是2-100。4.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述弹性部件通过焊接、卡固或粘贴方式固定于所述凹槽的底面。5.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述本体中设有至少两个安装孔，所述安装孔贯穿所述第一表面与所述第二表面，其中，所述安装孔用于与紧固件配合，将所述本体固定于所述支撑装置外表面。6.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于：所述本体中设有至少一个通光孔，所述通光孔贯穿所述凹槽的底面与所述第二表面。7.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：腔体；腔体外壳；刻蚀终点侦测窗口，贯穿所述腔体外壳的外表面，并与所述腔体连通；透光平板，通过固定装置固定于所述腔体外壳外表面，并盖住所述刻蚀终点侦测窗口；刻蚀终点侦测装...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长春，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37