【技术实现步骤摘要】
一种用于石英加工的加热槽
本技术涉及一种石英加工设备，尤其涉及一种用于石英加工的加热槽。
技术介绍
在半导体行业中，芯片的酸洗通常在石英加热槽中进行。石英加热槽一般包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体的底部开设有排液口。该种结构的石英加热槽温度下降快，保温效果差，导致芯片酸洗成本较高，且浪费电能。
技术实现思路
本技术为了解决以上问题提供了一种用于石英加工的加热槽。本技术的技术方案是：一种用于石英加工的加热槽，所述的加热槽包括内槽体、加热芯体、隔热层、外槽体、填料层、旋转体、填料添加口和升降主体，所述的石英料设置在内槽体中；所述的加热槽呈直槽状，所述的内槽体设置在加热槽的内层，覆盖加热槽的内壁和底面，所述的内槽体表面连接有多个加热芯体，所述的加热芯体延伸出内槽体表面；所述的升降主体连接在加热槽底面，所述的升降主体带动内槽体做上下升降运动，所述的升降主体穿过内槽体、填料层和外槽体，所述的升降主体下部连接有弹簧，所述的旋转体设置在升降主体的外侧，所述的旋转体与内槽体相连接，所述的旋转体带动内槽体做旋转，通过改变加热芯体的位置对石英料全面加热；所述的隔热层设置在内槽体的外侧，所述的隔热层外侧设置有填料层，所述的填料层中填充有保温材料，所述的填料层外侧设置外槽体，所述的填料添加口连通至填料层。本技术的优点是：结构简单、工作稳定、生产成本低、对石英料全方位加热，方便后期处理，同时，延长了石英料的保温效果，延长了在酸洗过程中的保温时间。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中1是内槽体、2是加热芯体、3是隔热层、4是外槽体、5是填料层、6是旋转体、7是填料添加口...
【技术保护点】
1.一种用于石英加工的加热槽，其特征在于：所述的加热槽包括内槽体、加热芯体、隔热层、外槽体、填料层、旋转体、填料添加口和升降主体，所述的石英料设置在内槽体中；所述的加热槽呈直槽状，所述的内槽体设置在加热槽的内层，覆盖加热槽的内壁和底面，所述的内槽体表面连接有多个加热芯体，所述的加热芯体延伸出内槽体表面；所述的升降主体连接在加热槽底面，所述的升降主体带动内槽体做上下升降运动，所述的升降主体穿过内槽体、填料层和外槽体，所述的升降主体下部连接有弹簧，所述的旋转体设置在升降主体的外侧，所述的旋转体与内槽体相连接，所述的旋转体带动内槽体做旋转，通过改变加热芯体的位置对石英料全面加热；所述的隔热层设置在内槽体的外侧，所述的隔热层外侧设置有填料层，所述的填料层中填充有保温材料，所述的填料层外侧设置外槽体，所述的填料添加口连通至填料层。
【技术特征摘要】
1.一种用于石英加工的加热槽，其特征在于：所述的加热槽包括内槽体、加热芯体、隔热层、外槽体、填料层、旋转体、填料添加口和升降主体，所述的石英料设置在内槽体中；所述的加热槽呈直槽状，所述的内槽体设置在加热槽的内层，覆盖加热槽的内壁和底面，所述的内槽体表面连接有多个加热芯体，所述的加热芯体延伸出内槽体表面；所述的升降主体连接在加热槽底面，所述的升降主体带动内槽体做上...
【专利技术属性】
技术研发人员：李进，
申请(专利权)人：江苏风日石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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