一种晶体自动检验设备制造技术

本实用新型专利技术属于半导体制造领域，涉及一种晶体自动检验设备，包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架、搬运机械手，晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上，搬运机械手放置在晶体托架和测试平台之间。本实用新型专利技术的有益效果：自动化测量晶体长度、直径、电阻率和少子寿命的测试设备可以实现不同规格晶体质量各影响因素的测试，有效地避免了测试位置不固定、出错率高、采集不确定性等弊端,避免了人为测试带来的测试误差，提高测试准确度，节约工作时间，解决人工成本。

An automatic testing equipment for crystal

【技术实现步骤摘要】
一种晶体自动检验设备
本技术属于半导体制造领域，尤其涉及一种晶体自动检验设备。
技术介绍
目前生产车间整个流程为晶体成长完成后形成整根晶棒，根据一根完整的晶棒的具体形态将晶棒切割成长度不等的晶棒。整个检测流程采用人为方式,并需要对切割后的晶棒进行检测得到相关形态信息及电参量信息。现有的技术中，采用人为搬运和检测，容易产生检测精度低，同时伴随晶棒直径的增加和单体长度的增加，人工操作难度加大，存在安全隐患。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术能够提供一晶体自动检验设备，检测放置于工作台上的晶体的长度、直径、电阻率和少子寿命检测装置，采用自动化测量方法，降低人为测试的误差，检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率。利用测试设备集成优化，采用搬运机械手、晶体托架和多个传感器相结合的方式，实现晶棒的自动上下料、各道工序间晶棒的搬运、晶棒长度检测以及晶棒直径检测，同时结合电阻率和少子寿命检测数据进行数据处理和整理，该自动检验设备可实现检测数据的实时性和准确性，同时减少人工成本，节约人力，提高车间的生产效率。本技术的技术方案：晶体自动检验设备，包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架、搬运机械手，其特征在于所述晶体长度检测装置、所述晶体直径检测装置、所述晶体电阻率检测装置、所述晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上；所述搬运机械手放置在所述晶体托架和测试平台之间；所述晶体长度检测装置包括第一滑动组件、支撑底板、托辊平台、长度检测对射支架和激光测距传感器，所述支撑底板与所述测试平台固定连接，所述第一滑动组件与测试平台固定连接。所述托辊平台设置在所述支撑底板上，所述长度检测对射支架通过滑块与第一滑动组件滑动连接，所述长度检测对射支架与所述激光测距传感器连接。进一步地，所述晶体直径检测装置包括第一旋转平台、直径扫描架、直径传感器、第二滑动组件，所述第一旋转平台与所述测试平台固定连接，所述第二滑动组件与测试平台固定连接，所述直径扫描架设置在所述旋转平台上方，多个所述直径传感器设置在所述直径扫描架，所述直径扫描架与所述第二滑动组件滑动连接。进一步地，所述电阻率检测装置包括第二旋转平台、测电阻率探针、第三滑动组件，所述第二旋转平台与所述测试平台固定连接，所述第三滑动组件与测试平台固定连接，所述测电阻率探针设置在所述第三滑动组件上。进一步地，所述晶体少子寿命检测装置包括双头泵和少子寿命平台，所述双头泵设置在所述少子寿命平台上，所述双头泵通过点水管连接气缸。进一步地，还包括电脑，所述晶体长度检测装置、所述晶体直径检测装置、所晶体电阻率检测装置、所述晶体少子寿命检测装置均与所述电脑连接。所述晶体托架包括待测晶体托架、不合格晶体托架和合格晶体托架，所述待测晶体托架、所述不合格晶体托架和所述合格晶体托架相邻设置。进一步地，所述晶体托架包括基础架和W型取放料结构，所述W型取放料结构设置在基础架上。进一步地，所述托辊平台下设置滑道，所述支撑底板设置与所述滑道相匹配的条状凸起。进一步地，所述支撑底板上设置多个安装孔。进一步地，所述第一旋转平台和所述第二旋转平台上面安装绝缘塑料垫板。本技术有益效果是：设计合理，检测放置于工作台上的晶体的长度、直径、电阻率和少子寿命检测装置，利用测试设备集成优化，采用搬运机械手、晶体托架和多个传感器相结合的方式，实现晶棒的自动上下料、各道工序间晶棒的搬运，采用自动化测量方法，降低人为测试的误差，检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率；可以实现不同规格晶体质量各影响因素的测试，有效地避免了测试位置不固定、出错率高、采集不确定性等弊端,避免了人为测试带来的测试误差，提高测试准确度，同时结合电阻率和少子寿命检测数据进行数据处理和整理，该自动检验设备可实现检测数据的实时性和准确性，同时减少人工成本，节约人力，提高车间的生产效率。附图说明图1是本技术的实施例的总装结构示意图。图2是本技术的实施例的晶体长度检测装置结构图。图3是本技术的实施例的晶体直径检测装置结构图。图4是本技术的实施例的晶体电阻率检测装置结构图。图5是本技术的实施例的晶体少子寿命检测装置结构图。图中：1、晶体，2、待测晶体托架，3、不合格晶体托架，4、合格晶体托架，5、搬运机械手，6、测试平台，7、托辊平台，8、长度检测对射支架，9、第一滑动组件，10、直径传感器，11、第二滑动组件，12、测电阻率探针，13、第三滑动组件，14、双头泵，15、少子寿命平台，16、支撑底板，17、激光测距传感器，18、直径扫描架，19、第一旋转平台，20、第二旋转平台，21、安装孔，22、测量支架，23、触点，24、移动支架，25、移动滑轨，26、气缸，27、晶体长度检测装置，28、晶体直径检测装置，29、晶体电阻率检测装置，30、晶体少子寿命检测装置，31、搬运机械手，32、基础架，33、W型取放料结构，34、滑道，35、条状凸起。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式做出说明。本技术涉及晶体自动检验设备，包括晶体长度检测装置27、晶体直径检测装置28、晶体电阻率检测装置28、晶体少子寿命检测装置30、晶体托架和搬运机械手31，晶体长度检测装置27、晶体直径检测装置28、晶体电阻率检测装置28、晶体少子寿命检测装置30依次设置在测试平台上。搬运机械手31放置在晶体托架和测试平台之间。搬运机械手31采用MS210六轴机器人。晶体长度检测装置27包括支撑底板16、托辊平台7、长度检测对射支架8和激光测距传感器17，支撑底板18与测试平台6固定连接，第一滑动组件9与测试平台6固定连接，托辊平台7设置在支撑底板16上，托辊平台7与支撑底板16上滑动连接，托辊平台7下设置滑道34，支撑底板16设置与滑道34相匹配的条状凸起35，滑动托辊平台7，实现托辊平台7和支撑底板16相对位置的调整，支撑底板16上设置多个安装孔21，方便与测试平台6固定，如通过定位销通过安装孔21与测试平台6定位固定，托辊平台7上放置待测晶体，长度检测对射支架8通过滑块与第一滑动组件滑动连接，长度检测对射支架与激光测距传感器连接。激光测距传感器采用Optimet公司位移传感器ConoPoint-10HD或ConoPoint-3。检测时，通过第一滑动组件调节长度检测对射支架升降高度，第一滑动组件为一维平面坐标滑动组件，控制长度检测对射支架上激光测距传感器的探头与待测晶体对中，用于待测检测晶体长度。晶体直径检测装置28包括第一旋转平台19、直径扫描架18、直径传感器16、第二滑动组件11，第一旋转平台19与测试平台6固定连接，第二滑动组件11与测试平台6固定连接，直径扫描架设置在旋转平台上方，4个直径传感器16设置在直径扫描架18上，直径扫描架18与第二滑动组件11滑动连接。直径传感器16是固定的,旋转平台带动待测晶体转动进而测试不同位置的直径，旋转平台使测试数据更加全面。直径传感器采用CCD直径测量仪。第一旋转平台19为采用伺服电机控制中的空旋转平台；第一旋转平台19上面安装绝缘塑料垫板，隔绝待测晶体和旋转平台；检测时，搬运机械手31夹具松开，晶棒落下；晶棒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶体自动检验设备，其特征在于：包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架和搬运机械手，所述晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上；所述搬运机械手放置在所述晶体托架和测试平台之间；所述晶体长度检测装置包括第一滑动组件、支撑底板、托辊平台、长度检测对射支架和激光测距传感器，所述支撑底板与所述测试平台固定连接，所述第一滑动组件与测试平台固定连接；所述托辊平台设置在所述支撑底板上，所述长度检测对射支架通过滑块与第一滑动组件滑动连接，所述长度检测对射支架与所述激光测距传感器连接；所述晶体直径检测装置包括第一旋转平台、直径扫描架、直径传感器、第二滑动组件，所述第一旋转平台与所述测试平台固定连接，所述第二滑动组件与测试平台固定连接，所述直径扫描架设置在所述旋转平台上方，多个所述直径传感器设置在所述直径扫描架上，所述直径扫描架与所述第二滑动组件滑动连接。

【技术特征摘要】
1.晶体自动检验设备，其特征在于：包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架和搬运机械手，所述晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上；所述搬运机械手放置在所述晶体托架和测试平台之间；所述晶体长度检测装置包括第一滑动组件、支撑底板、托辊平台、长度检测对射支架和激光测距传感器，所述支撑底板与所述测试平台固定连接，所述第一滑动组件与测试平台固定连接；所述托辊平台设置在所述支撑底板上，所述长度检测对射支架通过滑块与第一滑动组件滑动连接，所述长度检测对射支架与所述激光测距传感器连接；所述晶体直径检测装置包括第一旋转平台、直径扫描架、直径传感器、第二滑动组件，所述第一旋转平台与所述测试平台固定连接，所述第二滑动组件与测试平台固定连接，所述直径扫描架设置在所述旋转平台上方，多个所述直径传感器设置在所述直径扫描架上，所述直径扫描架与所述第二滑动组件滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种晶体自动检验设备，其特征在于所述电阻率检测装置包括第二旋转平台、测电阻率探针、第三滑动组件，所述第二旋转平台与所述测试平台固定连接，所述第三滑动组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘效斐，
申请(专利权)人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15