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本实用新型属于半导体制造领域,涉及一种晶体自动检验设备,包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架、搬运机械手,晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次...该专利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于半导体制造领域,涉及一种晶体自动检验设备,包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架、搬运机械手,晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次...