一种测试装置及晶片自动测试机制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种测试装置及晶片自动测试机，属于晶片测试技术领域。该测试装置包括测试台，还包括载台和转动设于所述载台上的旋转工作台，所述测试台设于所述旋转工作台的上部；所述旋转工作台底部设有调节柱，所述调节柱贯穿所述载台并与所述载台转动连接；所述调节柱的底部设有调节杆，推动所述调节杆，所述调节杆能够带动所述调节柱和所述旋转工作台转动。一种晶片自动测试机，包括上述的测试装置。本发明专利技术通过将测试台设于旋转工作台上，将旋转工作台与载台转动连接实现测试台的在水平面的位置可调。

A Testing Device and Wafer Automatic Testing Machine

【技术实现步骤摘要】
一种测试装置及晶片自动测试机
本专利技术涉及晶片测试
，尤其涉及一种测试装置及晶片自动测试机。
技术介绍
在现有的晶片自动测试机中，待测晶片被放置于测试工装的治具上，并与测试板上的探针接触，完成程序测试，获取测试结果。但是根据检测的晶片的尺寸结构以及测试板尺寸结构的不同，需要适应性调节治具在水平面的位置，使得晶片与测试板充分接触，保证测试过程的顺利进行。因此，亟待提供一种测试装置及晶片自动测试机解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种测试装置及晶片自动测试机，能够实现测试台在水平面上的位置调节。为实现上述目的，提供以下技术方案：一种测试装置，包括测试台，还包括载台和转动设于所述载台上的旋转工作台，所述测试台设于所述旋转工作台的上部；所述旋转工作台底部设有调节柱，所述调节柱贯穿所述载台并与所述载台转动连接；所述调节柱的底部设有调节杆，推动所述调节杆，所述调节杆能够带动所述调节柱和所述旋转工作台转动。作为优选，所述调节杆的轴线与所述调节柱的轴线相垂直。作为优选，所述调节杆被配置为能够垂直贯穿所述调节柱。作为优选，所述载台的侧部设有调节块，所述调节块靠近所述调节柱的一侧设有条形槽，所述调节杆的自由端设于所述条形槽内。作为优选，所述调节块上还设置有第一螺旋微分头，所述第一螺旋微分头的测杆能够伸入所述调节块内部并与所述调节杆抵接，旋转所述第一螺旋微分头的微调旋钮，改变所述第一螺旋微分头的测杆伸出长度，进而驱动所述调节杆在所述条形槽中移动。作为优选，所述调节块上还设有第一锁紧螺栓，所述第一锁紧螺栓被配置为能够锁紧所述调节杆。作为优选，所述测试装置还包括升降机构和支撑机构，所述支撑机构包括相互平行且间隔设置的支撑顶板和支撑底板，以及设于所述支撑顶板与所述支撑底板之间的支撑竖板，所述载台设于所述支撑顶板与所述支撑底板之间，所述升降机构被配置为能够驱动所述载台靠近或远离所述支撑顶板。作为优选，所述测试装置还包括高度调节机构，所述高度调节机构被配置为能够调节所述支撑顶板相对于所述支撑底板的高度。作为优选，所述高度调节机构包括设于所述支撑顶板上的第三螺旋微分头，所述第三螺旋微分头的测杆穿过所述支撑顶板后与所述支撑竖板的顶面抵接，旋转所述第三螺旋微分头的微调旋钮，改变所述第三螺旋微分头的测杆伸出长度，进而驱动所述支撑顶板相对所述支撑底板靠近或远离。一种晶片自动测试机，包括上述任一方案所述的测试装置。与现有技术相比，本专利技术的有益效果：本专利技术通过将测试台设于旋转工作台上，并将旋转工作台与载台转动连接，利用推动调节杆完成旋转工作台及测试台的转动，实现测试台的在水平面的位置可调，使得测试台上放置的晶片能够与测试板充分接触，保证测试过程的顺利进行。附图说明图1为本专利技术实施例中一种晶片自动测试机的结构示意图；图2为本专利技术实施例中一种晶片自动测试机的正视图；图3为本专利技术实施例中一种机架的结构示意图；图4为本专利技术实施例中一种料盘装置的结构示意图；图5为本专利技术实施例中一种料盘的结构示意图；图6为图4中A处的局部放大示意图；图7为本专利技术实施例中一种移载装置的结构示意图；图8为本专利技术实施例中一种移载装置去除第二基体后的结构示意图；图9为图8中B处的局部放大示意图；图10为本专利技术实施例中一种测试装置的结构示意图；图11为本专利技术实施例中一种测试装置的侧视图；图12为图10中C处的局部放大示意图；图13为本专利技术实施例中一种测试装置的部分结构示意图一；图14为本专利技术实施例中一种测试装置的部分结构示意图二；图15为本专利技术实施例中一种测试装置的部分结构示意图三。附图标记：100-料盘；101-凹槽；1-机架；11-主机体；12-承载平台；121-通槽；13-挡板；14-承载板；2-料盘装置；21-安装顶板；211-对射式传感器；22-安装底板；23-连接杆；24-料盘托块；25-第一驱动机构；251-升降台；2511-第一遮光板；252-驱动电机；26-第一光电开关；27-定位块；28-导向块；281-连接部；282-导向部；2821-第一导向面；2822-第二导向面；2823-定位面；3-移载装置；31-第一基体；311-第一滑轨；312-第二光电开关；32-第二基体；321-第二滑轨；322-第三光电开关；323-容纳槽；33-第一驱动组件；331-第一驱动源；332-第一主动轮；333-第一从动轮；334-第一传送带；335-第一皮带连接件；3351-第一固定板；3352-第二固定板；336-第一安装架；34-第二驱动组件；341-第二驱动源；342-第二主动轮；343-第二从动轮；344-第二传送带；345-第二皮带连接件；346-第二安装架；35-第一滑块；36-第二滑块；361-第四遮光板；37-吸嘴组件；371-吸嘴气缸；372-吸嘴固定板；373-吸嘴本体；374-气控阀；375-第二导向杆；4-测试装置；40-角度调节机构；401-旋转工作台；402-调节块；4021-条形槽；403-调节柱；404-调节杆；405-第一螺旋微分头；406-第一锁紧螺栓；407-锁紧螺母；41-支撑机构；411-支撑顶板；412-支撑底板；413-支撑竖板；4131-第四光电开关；414-支撑支板；415-支撑杆；42-升降机构；421-升降驱动源；422-第一连接板；43-测试台组件；431-测试台；432-载台；433-定位条；434-推动结构；4341-推动气缸；4342-推动板；4343-推动顶针；4344-第三导向杆；44-测试板组件；441-测试板；442-压板；443-弹板；444-限位挡片；45-缓冲结构；451-缓冲连接块；452-缓冲器；46-直线导轨结构；461-第三滑块；462-第三滑轨；47-位移调节机构；471-交叉导轨位移平台；472-第二螺旋微分；473-第二锁紧螺栓；48-高度调节机构；481-第三螺旋微分头；482-交叉导轨结构；483-第四锁紧螺栓；49-第二连接板；5-显示装置。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试装置，包括测试台(431)，其特征在于，还包括载台(432)和转动设于所述载台(432)上的旋转工作台(401)，所述测试台(431)设于所述旋转工作台(401)的上部；所述旋转工作台(401)底部设有调节柱(403)，所述调节柱(403)贯穿所述载台(432)并与所述载台(432)转动连接；所述调节柱(403)的底部设有调节杆(404)，推动所述调节杆(404)，所述调节杆(404)能够带动所述调节柱(403)和所述旋转工作台(401)转动。

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，包括测试台(431)，其特征在于，还包括载台(432)和转动设于所述载台(432)上的旋转工作台(401)，所述测试台(431)设于所述旋转工作台(401)的上部；所述旋转工作台(401)底部设有调节柱(403)，所述调节柱(403)贯穿所述载台(432)并与所述载台(432)转动连接；所述调节柱(403)的底部设有调节杆(404)，推动所述调节杆(404)，所述调节杆(404)能够带动所述调节柱(403)和所述旋转工作台(401)转动。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述调节杆(404)的轴线与所述调节柱(403)的轴线相垂直。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述调节杆(404)被配置为能够垂直贯穿所述调节柱(403)。4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述载台(432)的侧部设有调节块(402)，所述调节块(402)靠近所述调节柱(403)的一侧设有条形槽(4021)，所述调节杆(404)的自由端设于所述条形槽(4021)内。5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述调节块(402)上还设置有第一螺旋微分头(405)，所述第一螺旋微分头(405)的测杆能够伸入所述调节块(402)内部并与所述调节杆(404)抵接，旋转所述第一螺旋微分头(405)的微调旋钮，改变所述第一螺旋微分头(405)的测杆伸出长度，进而驱动所述调节杆(404)在所述条形槽(4021)中...

【专利技术属性】
技术研发人员：范群意，
申请(专利权)人：范群意，
类型：发明
国别省市：广东,44