一种接近式光刻机光学系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上，使光源模块和导光管之间调试方便，便于组装和维护该光刻机光学系统。

A Proximity Lithography Optical System

【技术实现步骤摘要】
一种接近式光刻机光学系统
本技术属于光刻
，更具体地说，是涉及一种接近式光刻机光学系统。
技术介绍
在微细加工产业的领域里，光刻机是其中的关键设备之一，而光学系统又是光刻机的重要组成部分，只有高质量的光学系统，才可以充分发挥光刻系统的性能并满足成像系统的需要。目前，国内外近紫外光刻机光学系统主要使用复眼透镜进行光源匀光，技术方案如下：将高压汞灯作为照明光源，高压汞灯先进行聚光，然后使用准直镜将聚光光束变成近平行光束，接着平行光束通过两片复眼透镜后对平行光束能量重新排布；再接着使用物镜将光能重新排布的平行光束聚集到焦平面，并在焦平面形成光斑。具体的，光斑的大小与复眼透镜单像素尺寸、两个复眼透镜之间的间距、物镜的焦距等有关；光斑的形状与复眼单像素形状一致；光斑的能量均匀分布。但是，该技术方案存在以下问题：高压汞灯寿命短，需要经常进行更换新的高压汞灯，新的高压汞灯需要重新调试位置，非常麻烦；发热量高，需配套大量散热结构装置；高压汞灯的高热量使靠近高压汞灯的光学器件容易成为易损件；使用复眼透镜对光学零件的位置精度要求高，调试困难。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种接近式光刻机光学系统，以解决现有技术中存在的使用复眼透镜对光学零件的位置精度要求高，调试困难的技术问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上。进一步地，所述导光管为空心结构。进一步地，所述导光管包括对称的条形平板件和对称的条形凸台板件，两所述条形平板件分别嵌接在所述条形凸台板件的凸台两侧。进一步地，所述条形平板件和所述条形凸台板件均为反射镜，所述条形平板件和所述条形凸台板件的内侧面设有高反射膜。进一步地，所述光源模块包括光源和聚光镜，所述光源的发射光线经过所述聚光镜进行聚光处理形成所述输出光束。进一步地，所述光源模块还包括光纤束，所述输出光束通过所述光纤束传输到所述导光管的输入端。进一步地，所述光源为LED光源。进一步地，所述导光管的口径大于所述光源模块的输出光束。进一步地，所述照明镜头模块包括双远心镜头和反射镜片，所述双远心镜头包括第一物镜和第二物镜，所述第一物镜用于接收所述导光管的输出光线，所述第二物镜用于输出所述双远心镜头的照明光线，所述反射镜片设置在所述第二物镜的光线输入侧或光线输出侧，所述反射镜片用于改变光线的方向以输入到所述第二物镜或改变所述双远心镜头的照明光线方向。本技术提供的一种接近式光刻机光学系统的有益效果在于：与现有技术相比，本技术的导光管将光源模块的输出光束的能量进行重新排布，导光管的输出光线的光密度是均匀一致的。光源模块和导光管之间的位置调整方便，光源模块和导光管直接机械定位，即只需要将光源模块的输出光束对准导光管的输入端即可，便于对光源模块进行更换。导光管相对于复眼透镜的价格便宜，便于降低制造接近式光刻机光学系统的成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的一种接近式光刻机光学系统的结构示意图一；图2为本技术实施例提供的导光管的结构示意图；图3本技术实施例提供的一种接近式光刻机光学系统的结构示意图二；图4本技术实施例提供的一种接近式光刻机光学系统的结构示意图三；图5本技术实施例提供的一种接近式光刻机光学系统的结构示意图四。其中，图中各附图标记：1、光源模块；11、输出光束；12、光源；13、聚光镜；14、光纤束；2、导光管；21、输出光线；22、条形平板件；23、条形凸台板件；24、高反射膜；3、照明镜头模块；31、照明光线；32、第一物镜；33、第二物镜；34、反射镜片；4、掩模面。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。请一并参阅图1及图2，现对本技术提供的一种接近式光刻机光学系统进行说明。一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块1、导光管2、照明镜头模块3以及掩模面4，光源模块1的输出光束11输入到导光管2的输入端，照明镜头模块3用于接收导光管2的输出光线21并输出照明光线31，照明光线31照射在掩模面4上。本技术提供的一种接近式光刻机光学系统，与现有技术相比，导光管2将光源模块1的输出光束11的能量进行重新排布，导光管2的输出光线21的光密度是均匀一致的。光源模块1和导光管2之间的位置调整方便，光源模块1和导光管2直接机械定位，即只需要将光源模块1的输出光束11对准导光管2的输入端即可，便于对光源模块1进行更换。导光管2相对于复眼透镜的价格便宜，便于降低制造接近式光刻机光学系统的成本。导光管2取代了复眼透镜，当安装新的光源模块1时，新的光源模块1和导光管2之间的位置精度要求不高，使光刻机的调试更加方便。具体的，照明光线31与掩模面4垂直，保证照明光线31在掩模面4成像的质量。进一步地，请参阅图2，作为本技术提供的一种接近式光刻机光学系统的一种具体实施方式，导光管2为空心结构。导光管2为空心结构，便于接收大量的光源模块1的输出光束11，增加光源模块1的输出光束11在导光管2的反射次数，便于提高导光管2的均光能力。空心结构的导光管2相对于实心结构的导光管2对紫外波段光吸收少，空心结构的导光管2可以使输出光束11大角度入射到其内部，减少导光管2设置的长度。具体的，可以通过改变导光管2的长度来改变光源模块1的输出光束11在导光管2的反射次数。进一步地，作为本技术提供的一种接近式光刻机光学系统的一种具体实施方式，导光管2的通光截面为任意形状。导光管2的通光截面可以根据曝光形状来设定，提高了该接近式光刻机光学系统的使用范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上。

【技术特征摘要】
1.一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上。2.如权利要求1所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述导光管为空心结构。3.如权利要求2所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述导光管包括对称的条形平板件和对称的条形凸台板件，两所述条形平板件分别嵌接在所述条形凸台板件的凸台两侧。4.如权利要求3所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述条形平板件和所述条形凸台板件均为反射镜，所述条形平板件和所述条形凸台板件的内侧面设有高反射膜。5.如权利要求1所述的一种接近式光刻机光学系统，其特征在于，所述光源模块包括光源和聚光镜，所述光源的发射光...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐占辉，张晓辉，霍荣标，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44