【技术实现步骤摘要】
菱形硅片载片舟的冷却装置
本专利技术涉及一种菱形硅片载片舟的冷却装置。
技术介绍
在低压化学气相沉积镀膜中，先将工件放置在载片舟上，载片舟的支撑结构一般为多杆框架结构，并且设置若干放置工件的工位，行业内菱形硅片放置载片舟上时，需要竖直摆放，再将载片舟连通工件一起放入真空管式炉(即LPCVD)，沉积物在沉积到工件表面，完成镀膜作业，载片舟在完成真空管式炉作业后，温度很高，需要冷却后才能转移至下一个工作位。但是现有的载片舟冷却都是通过自然冷却，常常耗费大量时间，影响加工效率，而且可能由于冷却不均匀，减小硅片因温差造成的变形。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种冷却时间短、冷却效果均匀的菱形硅片载片舟的冷却装置。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种菱形硅片载片舟的冷却装置；包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔...
【技术保护点】
1.一种菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征为：包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。
【技术特征摘要】
1.一种菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征为：包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。2.根据权利要求1所述的菱形硅片载片舟的冷却装置，其特征是：所述的风冷组件包括至少一个第一风冷...
【专利技术属性】
技术研发人员：王杨阳，王红美，章新良，孙嵩泉，
申请(专利权)人：普乐新能源蚌埠有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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