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本发明给出了一种菱形硅片载片舟的冷却装置；包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风...
该专利属于普乐新能源（蚌埠）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普乐新能源（蚌埠）有限公司授权不得商用。

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