本实用新型专利技术提供了一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，可以快速标定每个曝光镜头的参数，方便镜头参数的定期标定，包括底座和三轴运动平台，三轴运动平台上安装有基板台面，基板台面的上方还设置有对准系统和曝光系统，曝光系统包括若干沿x轴方向设置的间隔排布的曝光镜头，在基板台面平行于x轴的一侧设置有直线模组，直线模组平行于x轴设置，直线模组连接有驱动电机，直线模组上设置有滑块，滑块上安装有标定相机，标定相机的镜头朝上面向曝光镜头设置，用于对曝光镜头进行标定，y轴运动组件、直线模组配合能够使得标定相机在平行于底座的平面内移动，z轴运动组件能够使得标定相机移动到标定所需的位置。
A Calibration Device for Exposure Lens of Direct Lithography Machine
【技术实现步骤摘要】
一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置
本技术涉及光刻
，具体涉及一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置。
技术介绍
光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。直写光刻技术以替代传统的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。镜头精度是影响曝光品质的一项重要指标，所以保证镜头精度的可靠性至关重要，光刻机需要定期对曝光镜头进行参数标定后，确保镜头的精度，现有技术中缺乏能够对曝光镜头进行快速标定的装置。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，可以快速标定每个曝光镜头的参数，方便镜头参数的定期标定，保证基板曝光精度的稳定性，有效提高曝光品质。其技术方案是这样的：一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，包括底座和设置在所述底座上的三轴运动平台，所述三轴运动平台包括y轴运动组件、x轴运动组件、z轴运动组件，所述三轴运动平台上安装有基板台面，PCB板设置在所述基板台面上，所述基板台面的上方还设置有对准系统和曝光系统，所述曝光系统包括若干沿x轴方向设置的间隔排布的曝光镜头，其特征在于：在所述基板台面平行于x轴的一侧设置有直线模组，所述直线模组平行于x轴设置，所述直线模组连接有驱动电机，所述直线模组上设置能够沿所述直线模组移动的滑块，所述滑块上安装有标定相机，所述标定相机的镜头朝上面向所述曝光镜头设置，用于对所述曝光镜头进行标定，所述y轴运动组件、所述直线模组配合能够使得所述标定相机在平行于所述底座的平面内移动，所述z轴运动组件能够使得所述标定相机移动到标定所需的位置。进一步的，所述y轴运动组件设置在底座上，所述x轴运动组件设置在y轴运动组件上，所述z轴运动组件固定在x轴运动组件上，所述基板台面设置在所述z轴运动组件上，所述X轴运动组件和y轴运动组件配合能够使得所述基板台面在平行于所述底座的平面内移动，所述z轴运动组件能够使得所述基板台面的基板运动到曝光和对位的焦面。进一步的，所述底座为大理石底座。进一步的，所述对准系统包括CCD相机、基准镜头和照明光源。进一步的，所述对准系统和曝光系统设置在安装在所述底座的龙门上。进一步的，所述直线模组包括滚珠丝杆和平行于所述滚珠丝杆设置导轨，所述滑块与所述导轨滑动配合且设有与所述滚珠丝杆配合丝杆螺母。进一步的，所述x轴的方向平行于所述底座的宽度方向设置，所述y轴方向平行于所述底座的长度方向设置，所述z轴方向垂直于所述底座所在平面设置。进一步的，所述标定相机设置在所述滑块上的滑块安装孔内。本技术的用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，通过设计独立的直线模组，配合三轴运动平台中的y轴运动组件和z轴运动组件，直线模组上设有可移动的标定相机，y轴运动组件、直线模组配合能够使得标定相机在平行于底座的平面内移动，z轴运动组件能够使得标定相机移动到标定所需的位置，由此，实现相机可以到达每个镜头下方指定位置，实现相机标定每个镜头的需求，开启相机接受镜头发出的不同图形，得出镜头焦面、角度、倍率等参数数据；本技术的用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置使用直线模组驱动一台相机标定多个镜头的方式，对比与市场上其他产品，每个镜头搭配一个相机，增加了相机的利用率。单一相机标定多个镜头，也消除了不同相机本身的误差，提高了镜头参数标定的准确度。附图说明图1为本技术的用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置的示意图；图2为本技术的直线模组的示意图；具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。见图、图2，一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，包括底座1和设置在底座1上的三轴运动平台，底座1为大理石底座，三轴运动平台包括y轴运动组件2、x轴运动组件3、z轴运动组件4，三轴运动平台上安装有基板台面5，PCB板设置在基板台面5上，基板台面5的上方还设置有对准系统和曝光系统，对准系统包括CCD相机、基准镜头和照明光源，曝光系统包括若干沿x轴方向设置的间隔排布的曝光镜头，在本实施例中，x轴的方向平行于底座1的宽度方向设置，y轴方向平行于底座1的长度方向设置，z轴方向垂直于底座1所在平面设置；y轴运动组件2设置在底座1上，x轴运动组件3设置在y轴运动组件2上，z轴运动组件4固定在x轴运动组件3上，基板台面5设置在z轴运动组件4上，X轴运动组件4和y轴运动组件2配合能够使得基板台面5在平行于底座1的平面内移动，z轴运动组件4能够使得基板台面5的基板运动到曝光和对位的焦面；在基板台面5平行于x轴的一侧设置有直线模组6，直线模组6平行于x轴设置，直线模组6连接有驱动电机7，驱动电机7为伺服电机，直线模组6上设置能够沿直线模组6移动的滑块8，直线模组6包括滚珠丝杆和平行于滚珠丝杆设置导轨，滑块8与导轨滑动配合且设有与滚珠丝杆配合丝杆螺母，标定相机设置在滑块8上的滑块安装孔9内，滑块8上安装有标定相机，标定相机的镜头朝上面向曝光镜头设置，用于对曝光镜头进行标定，y轴运动组件2、直线模组6配合能够使得标定相机在平行于底座1的平面内移动，z轴运动组件4能够使得标定相机移动到标定所需的位置。以下具体描述本技术的用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置的工作过程：步骤a:通过直线模组驱动标定相机在x轴方向移动到指定坐标；步骤b：通过三轴运动平台的y轴运动组件驱动标定相机到指定坐标；步骤c：对比曝光镜头的位置与基准镜头的位置，得出曝光镜头与基准镜头相对的位置关系；步骤d：通过三轴运动平台的z轴运动组件驱动标定相机到指定坐标；步骤e：开启标定相机接受曝光镜头发出的不同图形，得出曝光镜头焦面、角度、倍率等参数数据；步骤f：重复上述步骤，标定其他曝光镜头的参数。本技术的用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，通过设计独立的直线模组，配合三轴运动平台中的y轴运动组件和z轴运动组件，直线模组上设有可移动的标定相机，y轴运动组件、直线模组配合能够使得标定相机在平行于底座的平面内移动，z轴运动组件能够使得标定相机移动到标定所需的位置，由此，实现相机可以到达每个镜头下方指定位置，实现相机标定每个镜头的需求，开启相机接受镜头发出的不同图形，得出镜头焦面、角度、倍率等参数数据；本技术的用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置使用直线模组驱动一台相机标定多个镜头的方式，对比与市场上其他产品，每个镜头搭配一个相机，增加了相机的利用率。单一相机标定多个镜头，也消除了不同相机本身的误差，提高了镜头参数标定的准确度。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，包括底座和设置在所述底座上的三轴运动平台，所述三轴运动平台包括y轴运动组件、x轴运动组件、z轴运动组件，所述三轴运动平台上安装有基板台面，PCB板设置在所述基板台面上，所述基板台面的上方还设置有对准系统和曝光系统，所述曝光系统包括若干沿x轴方向设置的间隔排布的曝光镜头，其特征在于：在所述基板台面平行于x轴的一侧设置有直线模组，所述直线模组平行于x轴设置，所述直线模组连接有驱动电机，所述直线模组上设置能够沿所述直线模组移动的滑块，所述滑块上安装有标定相机，所述标定相机的镜头朝上面向所述曝光镜头设置，用于对所述曝光镜头进行标定，所述y轴运动组件、所述直线模组配合能够使得所述标定相机在平行于所述底座的平面内移动，所述z轴运动组能够使得所述标定相机移动到标定所需的位置。
【技术特征摘要】
1.一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，包括底座和设置在所述底座上的三轴运动平台，所述三轴运动平台包括y轴运动组件、x轴运动组件、z轴运动组件，所述三轴运动平台上安装有基板台面，PCB板设置在所述基板台面上，所述基板台面的上方还设置有对准系统和曝光系统，所述曝光系统包括若干沿x轴方向设置的间隔排布的曝光镜头，其特征在于：在所述基板台面平行于x轴的一侧设置有直线模组，所述直线模组平行于x轴设置，所述直线模组连接有驱动电机，所述直线模组上设置能够沿所述直线模组移动的滑块，所述滑块上安装有标定相机，所述标定相机的镜头朝上面向所述曝光镜头设置，用于对所述曝光镜头进行标定，所述y轴运动组件、所述直线模组配合能够使得所述标定相机在平行于所述底座的平面内移动，所述z轴运动组能够使得所述标定相机移动到标定所需的位置。2.根据权利要求1所述的一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，其特征在于：所述y轴运动组件设置在底座上，所述x轴运动组件设置在y轴运动组件上，所述z轴运动组件固定在x轴运动组件上，所述基板台面设置在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘苏凯，张雷，李伟成，
申请(专利权)人：苏州源卓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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