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本实用新型提供了一种用于直写式光刻机的曝光镜头的标定装置，可以快速标定每个曝光镜头的参数，方便镜头参数的定期标定，包括底座和三轴运动平台，三轴运动平台上安装有基板台面，基板台面的上方还设置有对准系统和曝光系统，曝光系统包括若干沿x轴方向设置...
该专利属于苏州源卓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州源卓光电科技有限公司授权不得商用。

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