【技术实现步骤摘要】
一种籽晶夹持装置
本技术涉及单晶硅生产设备
,特别是涉及一种籽晶夹持装置。
技术介绍
为了确保单晶硅棒的品质,单晶硅棒的生产是在密闭且充满惰性气体的单晶炉内进行,其拉晶工艺包括引晶、放肩、转肩、等径、收尾和停炉。其中,引晶是拉晶工艺中较为关键的一步,单晶的生长过程中需要籽晶(也叫晶种)配合。具体方法为:引晶开始前由夹头夹持籽晶缓慢下降至熔硅液面上方,待籽晶温度接近熔硅温度时,再次下降籽晶与熔硅液接触,通常称此过程为“下种”;“下种”后籽晶与熔硅进行熔接,待液面温度达到单晶生长要求时即可控制液面温度和籽晶的提升速度来实现单晶的生长。籽晶的质量对于拉晶有直接的影响。除去籽晶自身品质原因,如本身已存在严重位错,或者在“下种”过程中受单晶炉炉内温度变化的影响新产生位错,将导致杂质扩散入晶体,会导致引晶之后的放肩、转肩工序无法进行。或者,当单晶炉内的惰性气体无法有效地防护籽晶时,籽晶易被单晶炉炉内的挥发物氧化,导致晶棒头部的氧浓度增加甚至超标,进而降低拉晶的成品率。
技术实现思路
针对上述问题,本技术的目的是提供一种籽晶夹持装置。为了实现上述目的,本技术采用以下技术方案:一种 ...
【技术保护点】
1.一种籽晶夹持装置,其特征在于:包括相互配合的夹头以及导气套;所述夹头用于夹持籽晶;所述导气套包括相对的第一端和第二端,所述导气套具有贯穿所述第一端和第二端的一个安装孔与多个导气槽,所述夹头安装于所述安装孔中、夹持于所述夹头的籽晶自所述第二端暴露于所述导气套外,多个所述导气槽围绕所述安装孔分布,自所述第一端向第二端,至少一个所述导气槽向靠近所述夹头的方向延伸。
【技术特征摘要】
1.一种籽晶夹持装置,其特征在于:包括相互配合的夹头以及导气套;所述夹头用于夹持籽晶;所述导气套包括相对的第一端和第二端,所述导气套具有贯穿所述第一端和第二端的一个安装孔与多个导气槽,所述夹头安装于所述安装孔中、夹持于所述夹头的籽晶自所述第二端暴露于所述导气套外,多个所述导气槽围绕所述安装孔分布,自所述第一端向第二端,至少一个所述导气槽向靠近所述夹头的方向延伸。2.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述夹头通过所述安装孔与所述导气套同轴连接。3.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:多个所述导气槽围绕所述安装孔均匀分布,自所述第一端向所述第二端,每一个所述导气槽均向靠近所述夹头的方向倾斜,且倾斜的角度一致。4.根据权利要求3所述的籽晶夹持装置,其特征在于:每个所述导气槽的横截面积均自所述第一端向所述第二端逐渐减小。5.根据权利要求1所述的籽晶夹持装置,其特征在于:所述导气套包括套筒,以及自所述套筒的内表面向所述套筒中心延伸的多个连接臂,多个所述连接臂的末端位于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏国锋,白喜军,杨正华,刘平虎,段丽超,李宗飞,孙杨杨,
申请(专利权)人:丽江隆基硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:云南,53
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。