籽晶夹头制造技术

本实用新型专利技术提供一种籽晶夹头，被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口的籽晶：包括插销、中空的夹头本体和中空的石墨套；所述石墨套底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台，石墨套侧壁设置有连通石墨套内部的石墨套缺口；所述夹头本体底部设置有与石墨套配合使用的凹槽，夹头本体侧壁上设置有与石墨套缺口配合使用的凹槽缺口；所述凹槽缺口与凹槽连通；所述石墨套卡台与夹头本体底部抵接，石墨套伸入凹槽中，凹槽缺口与石墨套卡口连通形成销通道；所述籽晶的顶部伸入石墨套中，籽晶缺口与销通道连通，插销经过销通道后插入籽晶缺口内。本实用新型专利技术长期使用后，石墨套孔径逐渐变大，可以直接更换石墨套，更换方便，造价便宜。

seed chuck

The utility model provides a seed crystal chuck, which is used to fix seed crystals with seed crystal notches on the top of the side wall, including a bolt, a hollow chuck body and a hollow graphite sleeve; the bottom of the graphite sleeve is provided with a convex graphite sleeve chuck, and the side wall of the graphite sleeve is provided with a graphite sleeve notch connected with the inner part of the graphite sleeve; the bottom of the chuck body is provided with a matching graphite sleeve. The side wall of the chuck body is provided with a groove notch used in conjunction with the graphite sleeve notch; the groove notch is connected with the groove; the graphite sleeve chuck is connected with the bottom of the chuck body; the graphite sleeve is extended into the groove, and the groove notch is connected with the graphite sleeve chuck to form a pin channel; the top of the seed crystal is extended into the graphite sleeve, and the seed crystal notch is connected with the pin channel, and the pin is distributed. After passing through the pin channel, it is inserted into the seed crystal notch. After long-term use, the aperture of the graphite sleeve gradually increases, and the graphite sleeve can be directly replaced, which is convenient to replace and cheap to build.

【技术实现步骤摘要】
籽晶夹头
本技术涉及晶体生长
，具体涉及一种籽晶夹头。
技术介绍
单晶硅是半导体的主要功能材料，对于现在信息社会越来越关键。在制备单晶硅的过程中，常规钼夹头与籽晶装配的存在以下缺点：1、长期高温下使用，籽晶与钼夹头容易发生局部粘连，造成籽晶受损，断裂风险较大；2、长期使用后，钼夹头的籽晶孔会受到熔硅挥发物的腐蚀，孔径逐渐变大，籽晶装配松动，造成拉晶晶向偏离度增大，不利影响。此时可以考虑更换钼夹头，但钼夹头造价昂贵，更换成本很高。因此，需要对现有技术进行改进。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种高效的籽晶夹头。为解决上述技术问题，本技术提供一种籽晶夹头，被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口的籽晶，其特征在于：包括插销、中空的夹头本体和中空的石墨套；所述石墨套底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台，石墨套侧壁设置有连通石墨套内部的石墨套缺口；所述夹头本体底部设置有与石墨套配合使用的凹槽，夹头本体侧壁上设置有与石墨套缺口配合使用的凹槽缺口；所述凹槽缺口与凹槽连通；所述石墨套卡台与夹头本体底部抵接，石墨套伸入凹槽中，凹槽缺口与石墨套卡口连通形成销通道；所述籽晶的顶部伸入石墨套中，籽晶缺口与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.籽晶夹头，被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口(41)的籽晶(4)，其特征在于：包括插销(3)、中空的夹头本体(1)和中空的石墨套(2)；所述石墨套(2)底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台(21)，石墨套(2)侧壁设置有连通石墨套(2)内部的石墨套缺口(22)；所述夹头本体(1)底部设置有与石墨套(2)配合使用的凹槽(11)，夹头本体(1)侧壁上设置有与石墨套缺口(22)配合使用的凹槽缺口(13)；所述凹槽缺口(13)与凹槽(11)连通；所述石墨套卡台(21)与夹头本体(1)底部抵接，石墨套(2)伸入凹槽(11)中，凹槽缺口(13)与石墨套卡口(23)连通形成销通道；所述籽晶(4)的顶部伸入石...

【技术特征摘要】
1.籽晶夹头，被用于固定在侧壁顶部设置有籽晶缺口(41)的籽晶(4)，其特征在于：包括插销(3)、中空的夹头本体(1)和中空的石墨套(2)；所述石墨套(2)底部设置有向外侧凸起的石墨套卡台(21)，石墨套(2)侧壁设置有连通石墨套(2)内部的石墨套缺口(22)；所述夹头本体(1)底部设置有与石墨套(2)配合使用的凹槽(11)，夹头本体(1)侧壁上设置有与石墨套缺口(22)配合使用的凹槽缺口(13)；所述凹槽缺口(13)与凹槽(11)连通；所述石墨套卡台(21)与夹头本体(1)底部抵接，石墨套(2)伸入凹槽(11)中，凹槽缺口(13)与石墨套卡口(23)连通形成销通道；所述籽晶(4)的顶部伸入石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘金平，余俊军，陈洪，杨国梁，王伟棱，郑春松，饶伟星，
申请(专利权)人：浙江海纳半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33