一种单晶炉提拉头动平衡校验装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供种单晶炉提拉头动平衡校验装置，包括标准平板、放置板、籽晶提拉部固定组件、旋转防倾斜保护组件以及悬浮式支撑组件；籽晶提拉部固定组件设置于放置板上，该籽晶提拉部固定组件包括下连接板、支撑件以及籽晶提拉部放置件；旋转防倾斜保护组件包括三组沿放置板周向均布的防倾斜保护件；悬浮式支撑组件包括一端与标准平板相连接其另一端与所述放置板点接触的缓冲调节件、大小调节件；通过设置籽晶提拉部固定组件对籽晶提拉部进行固定，并配合悬浮式支撑组件的点接触对籽晶提拉部固定组件进行籽晶提拉部转动过程中高精度的动平衡校验，解决了籽晶提拉部会因质量分布不均匀而造成转动的不平稳影响单晶硅的均匀性的技术问题。

A dynamic balance checking device for single crystal furnace pulling head

The utility model provides a dynamic balance checking device for the lifting and pulling head of a single crystal furnace, which comprises a standard plate, a placement plate, a seed crystal lifting and pulling part fixing component, a rotating anti-tilting protection component and a suspension type supporting component; a seed crystal lifting and pulling part fixing component is arranged on a placement plate, and the seed crystal lifting and pulling part fixing component comprises a lower connecting plate and a supporting component. The rotary anti-tilt protection assembly comprises three groups of anti-tilt protection pieces distributed uniformly along the circumference of the placement plate; the suspension support assembly comprises a buffer adjuster and a size adjuster connected with one end of the standard plate and the other end of the suspension support assembly, which are in contact with the placement plate point; and the fixed assembly pairs by setting the seed crystal lifting part. The seed crystal lifting part is fixed, and the high-precision dynamic balance check is carried out during the rotation of the seed crystal lifting part with the point contact of the suspension support assembly.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉提拉头动平衡校验装置
本技术属于单晶硅片加工领域，尤其涉及一种单晶炉提拉头动平衡校验装置。
技术介绍
目前，大规模和超大规模集成电路的发展，给电子工业带来一场新的革命，也给半导体材料单晶硅带来新的课题；大规模和超大规模集成电路在部分用直拉单晶硅制造，制造集成电路的硅片上，各种电路密度大集成度高，要求单晶硅有良好的均匀性和高度的完美性；以k位集成电路为例，在×毫米或×6毫米的硅片上，做四万多个元件，还要制出各元件之间的连线，经过几十道工序，很多次热处理；元件的高密度，复杂的制备工艺，要保证每个元件性能稳定，除制作集成电路工艺成熟外，对硅单晶材料质量要求很高：硅单晶要有合适的电阻率和良好的电阻率均匀性，完美的晶体结构，良好的电学性能；因此，硅单晶生长技术要更成熟、更精细、更完善，才能满足集成电路的要求；直拉单晶硅工艺理论应不断地向前发展；籽晶提拉部因为要实现单晶的旋转和上升所以要实现转动和提升运动，提升的平稳完全有伺服电机和减速系统来获得平稳的拉速；而由于提升部件不可能做成中心统一的回转体，那么其转动时就会因质量分布不均匀而造成转动的不平稳，那就需要引入平衡块来抵消掉那部分质量不均造成的转动惯量以满足提拉头转动的动平衡，这样就能生产出横截面电阻率分布相对均匀的硅单晶。中国专利CN00069.描述了一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构，驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体，箱体内包括两个转轴，一个转轴随电机转动，该转轴上固定有卷轮，卷轮侧面设有片状齿轮，卷轮上设有钢丝绳，另一个转轴上设有配重块，该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接，钢丝绳下端设有连接体，连接体与重锤连接，重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。本技术的好处是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度达90％，达到理想的使用效果，大幅度提高了产品的正品率，且结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好。上述机构存在许多不足，如在进行提拉旋转时提升的平稳完全有伺服电机和减速系统来获得平稳的拉速而由于提升部件不可能做成中心统一的回转体其转动时就会因质量分布不均匀而造成转动的不平稳影响单晶硅的均匀性。
技术实现思路
本技术的针对现有技术的不足提供一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，通过设置籽晶提拉部固定组件对籽晶提拉部进行固定，并配合悬浮式支撑组件的点接触对籽晶提拉部固定组件进行籽晶提拉部转动过程中高精度的动平衡校验，解决了籽晶提拉部会因质量分布不均匀而造成转动的不平稳影响单晶硅的均匀性的技术问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，包括标准平板、设置于所述标准平板上方的放置板，还包括：籽晶提拉部固定组件，所述籽晶提拉部固定组件设置于所述放置板上，该籽晶提拉部固定组件包括固定连接于所述放置板上的下连接板、与所述下连接板相连接的支撑件以及设置于所述支撑件上的籽晶提拉部放置件；旋转防倾斜保护组件，所述旋转防倾斜保护组件包括三组沿放置板周向均布的防倾斜保护件，该防倾斜保护件一端穿设于所述放置板上其另一端与所述标准平板相连接；以及悬浮式支撑组件，所述悬浮式支撑组件包括一端与所述标准平板相连接其另一端与所述放置板点接触的缓冲调节件、一端转动设置于所述放置板上且其另一端与所述下连接板接触设置的大小调节件。作为改进，所述支撑件数量为三组且沿下连接板周向均布设置，该支撑件包括：连接块，所述连接块固定设置于所述下连接板上，该连接块上开设有螺纹孔；支撑柱，所述支撑柱一端与所述籽晶提拉部放置件相连接其另一端与所述螺纹孔螺纹连接。作为改进，所述籽晶提拉部放置件包括：上平板，所述上平板与所述支撑柱相连接；籽晶提拉部放置筒，所述籽晶提拉部放置筒固定设置于所述上平板下方且与所述上平板同轴设置，该籽晶提拉部放置筒内部为中空设置；籽晶提拉部提升孔，所述籽晶提拉部提升孔开设于所述籽晶提拉部放置筒下方且与该籽晶提拉部放置筒内部连通。作为改进，所述防倾斜保护件包括：上防倾斜环，所述上防倾斜环与所述放置板上表面相固定连接且该上防倾斜环上开设有上通孔；下防倾斜环，所述下防倾斜环与所述放置板下表面相固定连接且该下防倾斜环上开设有下通孔；防倾斜螺杆，所述防倾斜螺杆一端与所述标准平板螺纹连接，其另一端穿过所述上通孔和下通孔，所述上通孔的直径D1、下通孔的直径D2以及防倾斜螺杆的直径d的关系满足，D1＝D2＞d。作为改进，所述缓冲调节件包括：悬浮调节螺杆，所述悬浮调节螺杆一端与所述标准平板螺纹连接；缓冲件，所述缓冲件套设于所述悬浮调节螺杆上；钢珠，所述钢珠一端与所述缓冲件固定连接且其一端与所述放置板点接触设置。作为改进，所述大小调节件包括：调节螺杆，所述调节螺杆一端与所述放置板固定连接；垫片，所述垫片套设与所述调节螺杆上且与所述放置板接触设置；调节块，所述调节块一端套设于所述调节螺杆上其另一端与所述下连接板接触设置；调节螺母，所述调节螺母与所述调节螺杆螺纹连接且其位于所述调节块的上方。作为改进，所述放置板下方还设置有质量传感器，该质量传感器一端与其中一个缓冲调节件一端相固定连接且其另一端与所述标准平板相固定连接。作为改进，所述放置板上还开设有与所述籽晶提拉部提升孔相适配的单晶孔。作为改进，所述单晶孔下方还设置有旋转角度传感器。作为改进，所述籽晶提拉部固定组件与放置板为同轴设置。本技术的有益效果在于：(1)本技术较传统的单晶炉提拉头动平衡校验装置，通过设置籽晶提拉部固定组件对籽晶提拉部进行固定并配合悬浮式支撑组件对籽晶提拉部固定组件进行籽晶提拉部转动提拉过程中的动平衡校验，籽晶提拉部固定组件上端面为平面设置，当籽晶提拉部安装于该籽晶提拉部固定组件上时能确保籽晶提拉部在工作时能始终保持水平，确保单晶在进行旋转和上升时能进行平稳的向上提升和旋转，保证了单晶产品的均匀性；(2)本技术较传统的单晶炉提拉头动平衡校验装置，在放置板周向均布设置防倾斜保护件，在进行该单晶炉提拉头动平衡校验时需要对校验后存在动平衡偏差的籽晶提拉部固定组件进行周向方向上的调整，设置防倾斜保护件能对籽晶提拉部固定组件进行周向方向上的防倾斜保护，防止籽晶提拉部固定组件出现倾倒；(3)本技术较传统的单晶炉提拉头动平衡校验装置，将悬浮式支撑组件和旋转防倾斜保护组件，根据三点确定一个平面的原理，采用三点支撑方式既简单又高效，不存在超静定现象带来的“虚腿”问题，因而可以保证悬浮式支撑组件在对籽晶提拉部固定组件进行动平衡校验时提高稳定精度，三点支撑方式相对于多点支撑的方式重复定位稳定性更好，工作效率更高。总之，本技术具有结构简单，动平衡校验精度高、工作效率高等优点，尤其适用于单晶硅片加工领域。附图说明为了更清楚的说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术的正视图；图3为本技术的俯视图；图4为本技术中籽晶提拉部固定组件结构示意图；图5为本技术中支撑件的结构示意图；图6为本技术中籽晶提拉部固定组件的正视图；图7为图6中A处的放大图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，包括标准平板(1)、设置于所述标准平板(1)上方的放置板(2)，其特征在于，还包括：籽晶提拉部固定组件(3)，所述籽晶提拉部固定组件(3)设置于所述放置板(2)上，该籽晶提拉部固定组件(3)包括固定连接于所述放置板(2)上的下连接板(31)、与所述下连接板(31)相连接的支撑件(32)以及设置于所述支撑件(32)上的籽晶提拉部放置件(33)；旋转防倾斜保护组件(4)，所述旋转防倾斜保护组件(4)包括三组沿放置板(2)周向均布的防倾斜保护件(41)，该防倾斜保护件(41)一端穿设于所述放置板(2)上其另一端与所述标准平板(1)相连接；以及悬浮式支撑组件(5)，所述悬浮式支撑组件(5)包括一端与所述标准平板(1)相连接其另一端与所述放置板(2)点接触的缓冲调节件(51)、一端转动设置于所述放置板(2)上且其另一端与所述下连接板(31)接触设置的大小调节件(52)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，包括标准平板(1)、设置于所述标准平板(1)上方的放置板(2)，其特征在于，还包括：籽晶提拉部固定组件(3)，所述籽晶提拉部固定组件(3)设置于所述放置板(2)上，该籽晶提拉部固定组件(3)包括固定连接于所述放置板(2)上的下连接板(31)、与所述下连接板(31)相连接的支撑件(32)以及设置于所述支撑件(32)上的籽晶提拉部放置件(33)；旋转防倾斜保护组件(4)，所述旋转防倾斜保护组件(4)包括三组沿放置板(2)周向均布的防倾斜保护件(41)，该防倾斜保护件(41)一端穿设于所述放置板(2)上其另一端与所述标准平板(1)相连接；以及悬浮式支撑组件(5)，所述悬浮式支撑组件(5)包括一端与所述标准平板(1)相连接其另一端与所述放置板(2)点接触的缓冲调节件(51)、一端转动设置于所述放置板(2)上且其另一端与所述下连接板(31)接触设置的大小调节件(52)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，其特征在于，所述支撑件(32)数量为三组且沿下连接板(31)周向均布设置，该支撑件(32)包括：连接块(321)，所述连接块(321)固定设置于所述下连接板(31)上，该连接块(321)上开设有螺纹孔(3211)；支撑柱(322)，所述支撑柱(322)一端与所述籽晶提拉部放置件(33)相连接其另一端与所述螺纹孔(3211)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，其特征在于，所述籽晶提拉部放置件(33)包括：上平板(331)，所述上平板(331)与所述支撑柱(322)相连接；籽晶提拉部放置筒(332)，所述籽晶提拉部放置筒(332)固定设置于所述上平板(331)下方且与所述上平板(331)同轴设置，该籽晶提拉部放置筒(332)内部为中空设置；籽晶提拉部提升孔(333)，所述籽晶提拉部提升孔(333)开设于所述籽晶提拉部放置筒(332)下方且与该籽晶提拉部放置筒(332)内部连通。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉头动平衡校验装置，其特征在于，所述防倾斜保护件(41)包括：上防倾斜环(411)，所述上防倾斜环(411)与所述放置板(2)上表面相固定连接且该上防倾斜环(411)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：万喜增，胡卫红，杨高林，
申请(专利权)人：浙江中晶科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33