晶片边缘轮廓测试仪制造技术

本发明专利技术公开了晶片边缘轮廓测试仪，属于晶片检测设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固定环；本发明专利技术通过可调节光源组件的设置，移动模组可以对光源模组的位置进行移动，光源模组通过LED补光灯可对晶片进行补光，调节模组可以对光源模组的使用位置进行调节，通过可调节连接组件的设置，可以对光源模组的使用角度进行调节，通过本组件的设置，可以便于对LED补光灯的使用位置以及角度进行调节，有效提高了补光效果，进而提升相机的采像效果。进而提升相机的采像效果。进而提升相机的采像效果。

【技术实现步骤摘要】
晶片边缘轮廓测试仪


[0001]本专利技术涉及晶片检测设备
，具体为晶片边缘轮廓测试仪。

技术介绍

[0002]晶片边缘轮廓测试仪是基于机器视觉的最新的无键测量设备，能够替代传统的卡尺等工具，实现高效准确的测量，晶片边缘轮廓测试仪的基本工作流程为：连接好相机，打开光源，启动软件，将待测产品放置于检测平台上，采集一张图像，然后配置检测步骤，设置输出项，再为输出项设定比例系数、补偿系数、公差等参数，设置完成后，点击开始检测，更换产品，程序自动实时检测，输出结果，按下空格键记录数据，测完产品后，可以进行统计分析和输出报表。
[0003]现有的晶片边缘轮廓测试仪使用的辅助光源大多是外置光源，需要使用者根据使用需求进行现场调节，且调节较为不便，因此我们需要提出晶片边缘轮廓测试仪。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供晶片边缘轮廓测试仪，具备可便于对晶片边缘轮廓测试仪使用的光源进行调节的优点，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供晶片边缘轮廓测试仪，包括底座，所述底座的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固定环，所述固定环的内圈开设有固定槽，所述固定槽的内腔滑动连接有连接圈，所述连接圈的表面贯穿固定槽并延伸至固定槽的外部，所述光源模组固定安装于连接圈的内圈上，所述连接圈通过驱动组件进行驱动；
[0006]所述驱动组件包括固定板和齿圈，所述固定板固定安装于固定环的表面，所述齿圈固定安装于连接圈的外圈上，所述齿圈与固定槽的内壁滑动连接，所述固定板的表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的顶部贯穿固定环并延伸至固定槽的内腔与齿圈的表面啮合。
[0007]优选的，所述光源模组包括LED补光灯，所述LED补光灯设置有四组，且四组所述LED补光灯等距固定安装于连接圈的内圈上。
[0008]优选的，所述移动模组包括伺服电机和槽道，所述伺服电机固定安装于底座一侧的前后两端，所述槽道开设于底座的内部，所述槽道与伺服电机呈对应设置，所述槽道的内腔轴承支撑有螺纹杆，所述伺服电机的输出轴贯穿底座并延伸至槽道的内腔与螺纹杆的一端固定安装，所述螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块的顶部固定安装有连接板，所述连接板的顶端贯穿槽道并延伸至底座的上方，所述连接板通过可调节连接组件与固定环连接在一起。
[0009]优选的，所述可调节连接组件包括固定安装于固定环前后两侧的固定杆，所述固定杆远离固定环的一端与连接板的表面轴承支撑，所述连接板远离固定环的一侧固定安装
有旋转阻尼器，所述固定杆远离固定环的一端贯穿连接板并延伸至连接板的外部与旋转阻尼器的内圈固定安装。
[0010]优选的，所述槽道内腔的前后两侧均固定安装有滑杆，所述滑块的前后两侧均开设有与滑杆相适配的滑槽，且滑槽的内壁与滑杆的表面滑动连接。
[0011]优选的，所述晶片固定组件包括固定安装于底座顶部的支撑板，所述支撑板的表面铰接有底板，所述底板的一侧固定安装有真空吸盘，所述真空吸盘与支撑板之间通过定位组件进行定位。
[0012]优选的，所述定位组件包括定位槽和定位柱，所述定位柱固定安装于支撑板的表面，所述定位槽开设于底板远离真空吸盘的一侧，所述定位槽的内腔固定安装有磁铁块，所述定位柱的一端贯穿定位槽并延伸至定位槽的内腔与磁铁块磁吸在一起。
[0013]优选的，所述固定槽内腔的两侧均固定安装有环形限位杆，所述连接圈的表面开设有与环形限位杆相适配的限位槽，且限位槽的内壁与环形限位杆的表面滑动连接。
[0014]优选的，所述固定环的底部开设有通槽，所述通槽的顶部与固定槽的底部连通，所述驱动齿轮的表面与通槽的内腔滑动连接，所述驱动齿轮的顶部贯穿通槽并延伸至固定槽的内腔与齿圈的表面啮合。
[0015]优选的，所述底座的表面开设有与连接板相适配的移动槽，所述移动槽的底部与槽道的顶部连通，所述连接板的表面与移动槽的内壁滑动连接。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017]1、本专利技术通过可调节光源组件的设置，移动模组可以对光源模组的位置进行移动，光源模组通过LED补光灯可对晶片进行补光，调节模组可以对光源模组的使用位置进行调节，通过可调节连接组件的设置，可以对光源模组的使用角度进行调节，通过本组件的设置，可以便于对LED补光灯的使用位置以及角度进行调节，有效提高了补光效果，进而提升相机的采像效果；
[0018]2、本专利技术通过晶片固定组件的设置，可对待检测晶片进行固定，真空吸盘与支撑板之间通过铰接件可进行九十度旋转，可实现对晶片边缘轮廓以及边缘厚度进行检测的优点，通过定位组件的设置，可以对晶片的检测角度进行固定。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术固定槽内部的局部结构示意图；
[0021]图3为本专利技术环形限位杆的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术驱动组件的局部结构示意图；
[0023]图5为本专利技术晶片固定组件的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术移动模组的结构示意图；
[0025]图7为本专利技术滑杆的结构示意图。
[0026]图中：1、底座；2、固定环；3、固定槽；4、连接圈；5、固定板；6、齿圈；7、驱动电机；8、驱动齿轮；9、LED补光灯；10、伺服电机；11、槽道；12、螺纹杆；13、滑块；14、连接板；15、固定杆；16、旋转阻尼器；17、滑杆；18、支撑板；19、底板；20、真空吸盘；21、定位槽；22、定位柱；23、磁铁块；24、环形限位杆；25、通槽；26、移动槽。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
‑
7，本专利技术提供晶片边缘轮廓测试仪，包括底座1，底座1的顶部固定安装有晶片固定组件，晶片固定组件包括固定安装于底座1顶部的支撑板18，支撑板18的表面铰接有底板19，底板19的一侧固定安装有真空吸盘20，真空吸盘20与支撑板18之间通过定位组件进行定位，定位组件包括定位槽21和定位柱22，定位柱22固定安装于支撑板18的表面，定位槽21开设于底板19远离真空吸盘20的一侧，定位槽21的内腔固定安装有磁铁块23，定位柱22的一端贯穿定位槽21并延伸至定位槽21的内腔与磁铁块23磁吸在一起；
[0029]通过晶片固定组件的设置，可以对需要检测的晶片位置进行固定，以便于对其轮廓进行测试，通过真空吸盘20的设置，可以将将待检测晶片进行固定，本实施例中真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶片边缘轮廓测试仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座(1)的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固定环(2)，所述固定环(2)的内圈开设有固定槽(3)，所述固定槽(3)的内腔滑动连接有连接圈(4)，所述连接圈(4)的表面贯穿固定槽(3)并延伸至固定槽(3)的外部，所述光源模组固定安装于连接圈(4)的内圈上，所述连接圈(4)通过驱动组件进行驱动；所述驱动组件包括固定板(5)和齿圈(6)，所述固定板(5)固定安装于固定环(2)的表面，所述齿圈(6)固定安装于连接圈(4)的外圈上，所述齿圈(6)与固定槽(3)的内壁滑动连接，所述固定板(5)的表面固定安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴固定安装有驱动齿轮(8)，所述驱动齿轮(8)的顶部贯穿固定环(2)并延伸至固定槽(3)的内腔与齿圈(6)的表面啮合。2.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述光源模组包括LED补光灯(9)，所述LED补光灯(9)设置有四组，且四组所述LED补光灯(9)等距固定安装于连接圈(4)的内圈上。3.根据权利要求1所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述移动模组包括伺服电机(10)和槽道(11)，所述伺服电机(10)固定安装于底座(1)一侧的前后两端，所述槽道(11)开设于底座(1)的内部，所述槽道(11)与伺服电机(10)呈对应设置，所述槽道(11)的内腔轴承支撑有螺纹杆(12)，所述伺服电机(10)的输出轴贯穿底座(1)并延伸至槽道(11)的内腔与螺纹杆(12)的一端固定安装，所述螺纹杆(12)的表面螺纹连接有滑块(13)，所述滑块(13)的顶部固定安装有连接板(14)，所述连接板(14)的顶端贯穿槽道(11)并延伸至底座(1)的上方，所述连接板(14)通过可调节连接组件与固定环(2)连接在一起。4.根据权利要求3所述的晶片边缘轮廓测试仪，其特征在于：所述可调节连接组件包括固定安装于固定环(2)前后两侧的固定杆(15)，所述固定杆(15)远离固定环(2)的一端与连接板(14...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘金平，肖世豪，沈益军，张立安，饶伟星，许琴，
申请(专利权)人：浙江海纳半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：