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本发明公开了晶片边缘轮廓测试仪，属于晶片检测设备技术领域，包括底座，所述底座的顶部固定安装有晶片固定组件，所述底座的顶部且位于晶片固定组件的一侧固定安装有可调节光源组件，所述可调节光源组件包括移动模组、光源模组和调节模组，所述调节模组包括固...
该专利属于浙江海纳半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江海纳半导体有限公司授权不得商用。

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