本发明专利技术公开了一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件、第一搬运手组件、第二搬运手组件以及与第一搬运手组件、第二搬运手组件相适配使用的两组放置盘组件，驱动组件包括驱动电机和第一传动齿轮，第一传动齿轮键连接于驱动电机的输出轴端，放置盘组件对称设置有两组，且两组放置盘组件之间设置有支撑板，驱动电机通过固定架固定安装于支撑板的下端。本发明专利技术通过采用一个驱动电机同时驱动第一搬运手组件和第二搬运手组件，并使第一搬运手组件和第二搬运手组件的运行角度完全一致，并且采用摆动式搬运，搬运行程得到缩减，不仅提高了搬运效率，同时采用第一搬运手组件和第二搬运手组件进行搬运，还能增强搬运中平衡性。还能增强搬运中平衡性。还能增强搬运中平衡性。
【技术实现步骤摘要】
一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置
[0001]本专利技术涉及半导体材料抛光加工
，具体为一种快速高效的陶瓷盘搬运装置。
技术介绍
[0002]抛光是半导体材料加工中非常重要的一个工序，为使抛光后的产品，如硅片、蓝宝石片、锗单晶片、玻璃片等，达到良好的平整度要求，往往采用陶瓷板作为抛光载具，而陶瓷板因质地坚硬，密度大，使得其自身重量相对较大，达到10
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20公斤/块。因此，抛光过程中，陶瓷板的装卸对作业员的体能是一大考验，在实际生产中，因搬运不当造成扭伤或陶瓷板掉落造成砸伤的事故常有发生。同时，因为抛光过程中，产品是装载在陶瓷板朝下的一面，搬运时，作业员无法感知产品的位置，在搬运时往往造成手指接触产品而引发产品划伤、沾污等不良，造成良率损失。为改变以上问题，抛光生产中采用机械手来搬运陶瓷板，常见的是采用真空吸盘装置，一次搬运一块陶瓷盘，耗时是人工搬运的3
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5倍，因此而造成的产能损耗往往超出30％，这对于高投入的半导体行业来说，浪费惊人，为此我们提出一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置来解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有技术中产能损耗高，浪费惊人的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0005]一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件、第一搬运手组件、第二搬运手组件以及与第一搬运手组件、第二搬运手组件相适配使用的两组放置盘组件，所述驱动组件包括驱动电机和第一传动齿轮，所述第一传动齿轮键连接于驱动电机的输出轴端，所述放置盘组件对称设置有两组，且两组所述放置盘组件之间设置有支撑板，所述驱动电机通过固定架固定安装于支撑板的下端；
[0006]所述第一搬运手组件包括第一转动杆、第二传动齿轮、第三传动齿轮和第一升降吸附组件，所述第一转动杆转动安装于支撑板上，且所述第一转动杆的下端贯穿支撑板位于支撑板下端，所述第二传动齿轮和第三传动齿轮固定套装于第一转动杆上，且所述第二传动齿轮与第一传动齿轮啮合；
[0007]所述第二搬运手组件包括第二转动杆、电子离合器、第四传动齿轮和第二升降吸附组件，所述第四传动齿轮通过电子离合器与第二转动杆传动连接，且所述第四传动齿轮与第三传动齿轮啮合，所述第二转动杆的一端贯穿支撑板与第二升降吸附组件连接。
[0008]优选的，所述第一升降吸附组件和第二升降吸附组件均包括摆臂、升降结构和吸附盘，两组所述摆臂分别固定安装于第一转动杆和第二转动杆的上端，所述升降结构固定安装于摆臂上，且所述吸附盘固定安装于升降结构的一端。
[0009]优选的，所述升降结构包括电动推杆和连接柱，所述电动推杆固定安装于摆臂的
上端，且所述电动推杆活塞杆的一端贯穿摆臂与连接柱连接固定，所述吸附盘的上端一体成型有插接套管，所述连接柱的一端插接于插接套管的内部，且所述连接柱通过固定销定与插接套管连接固定。
[0010]优选的，所述放置盘组件包括盘体、转动板、转盘轴承和正反转步进马达，所述盘体设置为横截面的匚形的盘体，且所述转盘轴承嵌装固定于盘体的内底部，所述转动板安装于转盘轴承的上端，所述正反转步进马达通过固定架固定于盘体的上端，且所述正反转步进马达的输出轴端贯穿盘体的底部与转动板下表面连接固定。
[0011]优选的，所述吸附盘设置为中空吸附盘，且所述吸附盘的中空部连通有抽气管，所述抽气管的一端贯穿摆臂位于摆臂的上端面。
[0012]优选的，所述第四传动齿轮与第三传动齿轮呈相同设置，所述第二传动齿轮与第一传动齿轮的直径比为：。
[0013]优选的，所述吸附盘的底部开设有横截面为半圆形的环形凹槽，且环形凹槽的内部固定粘合有密封圈，且所述密封圈设置为弹性橡胶密封圈。
[0014]优选的，所述支撑板上内嵌固定有两组第一转动轴承，所述第一转动杆和第二转动杆分别插接于两组所述第一转动轴承的内圈。
[0015]优选的，所述盘体的下表面嵌装固定有第二转动轴承，所述正反转步进马达的输出轴固定插接于第二转动轴承的内圈。
[0016]本专利技术的技术效果和优点：本专利技术提出的一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，与现有技术相比，具有以下优点：
[0017]1、本专利技术通过采用一个驱动电机同时驱动第一搬运手组件和第二搬运手组件，并使第一搬运手组件和第二搬运手组件的运行角度完全一致，并且采用摆动式搬运，搬运行程得到缩减，不仅提高了搬运效率，同时采用第一搬运手组件和第二搬运手组件进行搬运，还能增强搬运中平衡性；
[0018]2、本专利技术通过将第四传动齿轮通过电子离合器与第二转动杆传动连接，在实际使用时，能根据实际的使用需求选择双臂搬运或者单臂搬运，灵活性强。
附图说明
[0019]图1为本专利技术快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置结构示意图；
[0020]图2为本专利技术驱动组件的结构示意图；
[0021]图3为本专利技术第一搬运手组件的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术吸附盘的结构示意图；
[0023]图5为本专利技术放置盘组件的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术第一搬运手组件和第二搬运手组件原位示意图；
[0025]图7为本专利技术第一搬运手组件和第二搬运手组件取盘位置示意图；
[0026]图8为本专利技术第一搬运手组件和第二搬运手组件搬运完毕位置示意图。
[0027]图中：1、驱动组件；2、第一搬运手组件；3、第二搬运手组件；4、放置盘组件；5、驱动电机；6、第一传动齿轮；7、支撑板；8、第一转动杆；9、第二传动齿轮；10、第三传动齿轮；11、第一升降吸附组件；12、第二转动杆；13、电子离合器；14、第四传动齿轮；15、第二升降吸附组件；16、摆臂；17、升降结构；18、吸附盘；19、电动推杆；20、连接柱；21、插接套管；22、固定
销定；23、盘体；24、转动板；25、转盘轴承；26、正反转步进马达；27、抽气管；28、密封圈；29、第一转动轴承；30、第二转动轴承。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]本专利技术提供了如图1
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5所示的一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件1、第一搬运手组件2、第二搬运手组件3以及与第一搬运手组件2、第二搬运手组件3相适配使用的两组放置盘组件4，放置盘组件4包括盘体23、转动板24、转盘轴承25和正反转步进马达26，盘体23设置为横截面的匚形的盘体，且转盘轴承25嵌装固定于盘体23的内底部，转动板24安装于转盘轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件(1)、第一搬运手组件(2)、第二搬运手组件(3)以及与第一搬运手组件(2)、第二搬运手组件(3)相适配使用的两组放置盘组件(4)，其特征在于：所述驱动组件(1)包括驱动电机(5)和第一传动齿轮(6)，所述第一传动齿轮(6)键连接于驱动电机(5)的输出轴端，所述放置盘组件(4)对称设置有两组，且两组所述放置盘组件(4)之间设置有支撑板(7)，所述驱动电机(5)通过固定架固定安装于支撑板(7)的下端；所述第一搬运手组件(2)包括第一转动杆(8)、第二传动齿轮(9)、第三传动齿轮(10)和第一升降吸附组件(11)，所述第一转动杆(8)转动安装于支撑板(7)上，且所述第一转动杆(8)的下端贯穿支撑板(7)位于支撑板(7)下端，所述第二传动齿轮(9)和第三传动齿轮(10)固定套装于第一转动杆(8)上，且所述第二传动齿轮(9)与第一传动齿轮(6)啮合；所述第二搬运手组件(3)包括第二转动杆(12)、电子离合器(13)、第四传动齿轮(14)和第二升降吸附组件(15)，所述第四传动齿轮(14)通过电子离合器(13)与第二转动杆(12)传动连接，且所述第四传动齿轮(14)与第三传动齿轮(10)啮合，所述第二转动杆(12)的一端贯穿支撑板(7)与第二升降吸附组件(15)连接。2.根据权利要求1所述的一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，其特征在于：所述第一升降吸附组件(11)和第二升降吸附组件(15)均包括摆臂(16)、升降结构(17)和吸附盘(18)，两组所述摆臂(16)分别固定安装于第一转动杆(8)和第二转动杆(12)的上端，所述升降结构(17)固定安装于摆臂(16)上，且所述吸附盘(18)固定安装于升降结构(17)的一端。3.根据权利要求2所述的一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，其特征在于：所述升降结构(17)包括电动推杆(19)和连接柱(20)，所述电动推杆(19)固定安装于摆臂(16)的上端，且所述电动推杆(19)活塞杆的一端贯穿摆臂(16)与连接柱...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴雄杰，潘金平，肖世豪，沈益军，饶伟星，张立安，肖春柳，高海军，郑欢欣，朱贞军，
申请(专利权)人：浙江海纳半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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