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本发明公开了一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置，包括驱动组件、第一搬运手组件、第二搬运手组件以及与第一搬运手组件、第二搬运手组件相适配使用的两组放置盘组件，驱动组件包括驱动电机和第一传动齿轮，第一传动齿轮键连接于驱动电机的输出轴端，放置盘组...
该专利属于浙江海纳半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江海纳半导体有限公司授权不得商用。

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