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一种籽晶夹持装置制造方法及图纸
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文档序号:22156922
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本实用新型提供了一种籽晶夹持装置,包括相互配合的夹头以及导气套;夹头用于夹持籽晶;导气套包括相对的第一端和第二端,导气套具有贯穿第一端和第二端的一个安装孔与多个导气槽,夹头安装于安装孔中、夹持于夹头的籽晶自第二端暴露于导气套外,多个导气槽围...
该专利属于丽江隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过丽江隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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