小型静态退火炉制造技术

本申请揭示了一种小型静态退火炉，属于电池片加工领域，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框架内部，用于对炉体进行降温；电源装置为光照装置提供恒定电流的电源；光照装置设置在位于炉体内的托盘的上方，用于以预定波长的光照射托盘上的硅片；加热装置设置在炉体内，用于对托盘上的硅片加热。本申请将加热与光照退火集成为一体，省去了自动化生产中的运输装置，易于操作，并且能够节约成本。

Small Static Annealing Furnace

【技术实现步骤摘要】
小型静态退火炉
本专利技术属于电池片加工领域，涉及一种小型静态退火炉。
技术介绍
在电池片加工时，需要先对电池片进行光照退火处理，减少由于电池片发生光致衰减带来的转化效率下降的问题。传统的退火炉设备通过运输装置与其他自动化生产线连接，可以进行大批量地自动化生产。但是生产前，还需要先测定工艺参数，根据工艺参数来调整生产设定，再开始对电池片进行自动化生产。每次对不同片源、规格的电池片进行光注入退火处理之前，都需要启动一整条退火炉生产线进行测试，要消耗大量电力才能得出适于生产工艺参数，操作复杂，使用成本高。
技术实现思路
为了解决相关技术中退火炉设备每次对不同片源、规格的硅片进行光注入退火处理之前，都需要启动一整条退火炉生产线进行测试，要消耗大量电力才能得出适于生产工艺参数，操作复杂，使用成本高的问题，本专利技术提供了一种小型静态退火炉。技术方案如下：提供了一种小型静态退火炉，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小型静态退火炉，其特征在于，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；所述托盘在所述炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；所述测温装置设置在所述炉体框架内部，用于实时监测炉体内的温度；所述炉体冷却装置设置在所述炉体框架内部，用于对炉体进行降温；所述电源装置为所述光照装置提供恒定电流的电源；所述光照装置设置在位于炉体内的所述托盘的上方，用于以预定波长的光照射所述托盘上的硅片；所述加热装置设置在炉体内，用于对所述托盘上的硅片加热。

【技术特征摘要】
1.一种小型静态退火炉，其特征在于，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；所述托盘在所述炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；所述测温装置设置在所述炉体框架内部，用于实时监测炉体内的温度；所述炉体冷却装置设置在所述炉体框架内部，用于对炉体进行降温；所述电源装置为所述光照装置提供恒定电流的电源；所述光照装置设置在位于炉体内的所述托盘的上方，用于以预定波长的光照射所述托盘上的硅片；所述加热装置设置在炉体内，用于对所述托盘上的硅片加热。2.根据权利要求1所述的小型静态退火炉，其特征在于，所述炉体冷却装置包括风冷模块和水冷模块；所述风冷模块包括风机和通风管道，所述通风管道横跨在所述光照装置的上方，所述通风管道的两个风口分别设置在所述光照装置的两侧，所述风机用于带动气体在所述通风管道内和所述托盘下方的空间循环流动；所述水冷模块设置在所述通风管道上，所述通风管道中的热风经过所述水冷模块时将热量传递给所述水冷模块中的冷却液，所述水冷模块用于将冷却液输出到外部进行冷却后回流。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文，李涛，郭健，周凡，
申请(专利权)人：无锡奥特维科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32