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本申请揭示了一种小型静态退火炉,属于电池片加工领域,包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置;托盘在炉体框架的内部和外部之间移动,用于承载硅片,将硅片送入退火炉内部;测温装置设置在炉体框架内部,实时监测炉体内...该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。
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