机械手臂、机械手及传送设备制造技术

本公开提供了一种机械手臂，该机械手臂包括：至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。本公开还提供了机械手和传送设备。

Manipulators, Manipulators and Transport Equipment

【技术实现步骤摘要】
机械手臂、机械手及传送设备
本公开实施例涉及半导体光电显示
，特别涉及一种机械手臂、机械手及传送设备。
技术介绍
目前，溅射设备(Sputter)所使用的真空机械手臂(VacuumRobot)中，支臂(Fork)和支臂(Fork)上安装的支撑结构通常采用陶瓷材质，例如聚醚醚酮(Polyetheretherketone，简称：PEEK)材质或者聚苯并咪唑(PolyBenzImidazole，简称：PBI)材质。在真空环境中，真空机械手臂的支臂(Fork)上的支撑结构通过摩擦力来实现玻璃基板的吸附。在摩擦吸附的过程中，通常会产生一定的摩擦电荷，但由于陶瓷材质的导电性能较差，使得在传送玻璃基板过程中，摩擦电荷会逐渐积累，积累到一定程度后，会在支撑结构朝向玻璃基板的表面发生静电释放(ESD)，将对玻璃基板造成损伤，从而影响了产品的质量，甚至降低了产品的良率。因此，如何控制并降低摩擦电荷，对产品的良率的提升有着重大的意义。
技术实现思路
本公开实施例旨在至少解决上述现有技术中存在的技术问题之一，提供一种机械手臂、机械手及传送设备。第一方面，本公开实施例提供了一种机械手臂，该机械手臂包括至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。在一个示例性实施例中，所述支撑结构包括至少一个支撑垫，每个所述支撑垫均与对应的所述导电结构连接。在一个示例性实施例中，每个支臂朝向所述支撑结构的一侧设置有与所述支撑结构对应的凹槽，所述导电结构对应设置于所述凹槽中。在一个示例性实施例中，所述导电结构设置于所述支臂朝向所述支撑结构的一侧的表面。在一个示例性实施例中，所述导电结构位于对应的所述支撑垫和所述支臂之间。在一个示例性实施例中，所述支撑垫具有支撑部和形成于支撑部朝向所述导电结构设置的固定部，所述导电结构上设置有通孔，所述支撑垫的固定部设置于对应的所述导电结构的通孔中。在一个示例性实施例中，所述支撑结构包括多个支撑垫，多个支撑垫间隔设置。在一个示例性实施例中，所述导电结构的材料为铜。第二方面，本公开实施例提供了一种机械手，该机械手包括上述的机械手臂。在一个示例性实施例中，该机械手还包括基座，所述基座上设置有接地端，所述机械手臂的每个支臂对应的导电结构均连接至所述接地端。第三方面，本公开实施例提供了一种传送设备，该传送设备包括上述的机械手。附图说明图1为本公开实施例提供的一种机械手臂的结构示意图；图2为图1中的机械手臂的俯视视图；图3为本公开实施例提供的机械手臂的一种应用场景示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本公开的技术方案，下面结合附图对本公开提供的机械手臂、机械手及传送设备进行详细描述。图1为本公开实施例提供的一种机械手臂的结构示意图，如图1所示，该机械手臂包括至少一个支臂1，每个支臂1上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构2，支撑结构与对应的导电结构2连接。其中，如图1所示，支撑结构用于承载玻璃基板3。具体地而言，机械手臂在传送玻璃基板3的过程中，在真空环境中，支撑结构用于通过摩擦力吸附玻璃基板3。导电结构2用于将支撑结构在承载玻璃基板3时产生的电荷导入导电结构2中。由于支撑结构与导电结构连接，因此，玻璃基板3和支撑结构之间因摩擦产生摩擦电荷时，支撑结构上的摩擦电荷将被导入导电结构2中，从而有效减少支撑结构上的摩擦电荷，进而有效防止支撑结构上发生静电释放(ESD)现象，有效避免ESD对玻璃基板3的造成的损伤，提高了产品的良率。在一个示例性实施例中，支撑结构和导电结构2一一对应设置，导电结构2位于对应的支撑结构和支臂1之间。在一个示例性实施例中，如图1所示，支撑结构包括至少一个支撑垫4，每个支撑垫4均与对应的导电结构2连接。不难理解，在承载玻璃基板3时，每个支撑垫(Pad)4上产生的摩擦电荷将被导入对应的导电结构2中。在一个示例性实施例中，支撑结构包括多个支撑垫4，多个支撑垫4间隔设置。从而有效减少支撑结构与玻璃基板之间的摩擦面积，进而有效减少支撑结构与玻璃基板之间产生的摩擦电荷。在一个示例性实施例中，多个支撑垫4等间隔设置。当支撑结构包括多个支撑垫4时，多个支撑垫4的高度相同，换言之，多个支撑垫4的上表面(背离支臂1的一面)平齐，从而能够较好的承载玻璃基板。在一个示例性实施例中，支撑垫4的形状为圆柱形。在一个示例性实施例中，导电结构2位于对应的支撑垫4和支臂1之间。图2为图1中的机械手臂的俯视视图，图1为图2的沿AA’方向的截面图，图1和图2均仅示出了机械手臂包括一个支臂1的情况，在一个示例性实施例中，如图2所示，支撑结构的数量为两个，导电结构2的数量为两个，支撑结构和导电结构2一一对应设置。在一个示例性实施例中，如图2所示，每个导电结构2上对应的至少一个(例如三个)支撑垫4构成一个支撑结构。在一个示例性实施例中，支撑结构包括多个支撑垫4时，如图2所示，每个支撑结构中的多个支撑垫4沿支臂1的长度方向(AA’方向)间隔设置；每个导电结构2沿支臂1的长度方向(AA’方向)设置。在一个示例性实施例中，如图1所示，每个支臂1朝向支撑结构的一侧设置有与支撑结构对应的凹槽5，导电结构2对应设置于凹槽5中。其中，支撑结构与凹槽5一一对应，凹槽5沿支臂1的长度方向(图2中的AA’方向)设置。在一个示例性实施例中，如图1所示，凹槽5沿支臂1的宽度方向(图2中与AA’方向垂直的方向)的宽度小于支撑垫4(圆柱形的支撑垫4)的半径；凹槽5的深度H的范围为0.5mm至1.0mm；凹槽5沿支臂1的长度方向(图2中的AA’方向)的长度大于或等于对应的支撑结构沿支臂1的长度方向(图2中的AA’方向)的长度。在一个示例性实施例中，凹槽5的形状可以为矩形，也可以为圆柱形，可根据导电结构的形状设置。本公开实施例中，凹槽5的形状可以根据实际需要进行设置，本公开实施例对此不作限制。在一个示例性实施例中，如图1所示，导电结构2的朝向支撑结构的表面与支臂1朝向支撑结构的表面平齐。在一个示例性实施例中，导电结构2设置于支臂1朝向支撑结构的一侧的表面。具体而言，在支臂1朝向支撑结构的一侧的表面上进行金属喷涂，形成导电结构2。通过在支臂1朝向支撑结构的一侧的表面喷涂金属形成导电结构2，导电结构2的可导电面积大，导电结构2对应的支撑结构上的摩擦电荷的转移效果较优。在一个示例性实施例中，如图1所示，支撑垫4安装于导电结构2的背离支臂1的一侧，由于导电结构2的朝向支撑结构的表面与支臂1朝向支撑结构的表面平齐，因此能够确保各支撑垫4的高度相同。在一个示例性实施例中，如图1所示，支撑垫4具有支撑部41和形成于支撑部41朝向对应的导电结构2设置的固定部42，导电结构2上设置有通孔，支撑垫4的固定部42设置于对应的导电结构2的通孔中。在一个示例性实施例中，固定部42和通孔为相互配合的结构，例如固定部42为螺丝，通孔为与螺丝相互配合的螺丝孔。通过将支撑垫4的固定部42设置于对应的导电结构2的通孔中，从而使得导电结构2能够固定在凹槽5中。在一个示例性实施例中，如图1所示，导电结构2的通孔可以延伸至支臂1中，使得支撑垫4能够较好地固定在导电结构2上。在本公开实施例中，导电结构2的材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括至少一个支臂，每个支臂上设置有至少一个支撑结构，每个支撑结构对应设置有导电结构，所述支撑结构与对应的所述导电结构连接。2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述支撑结构包括至少一个支撑垫，每个所述支撑垫均与对应的所述导电结构连接。3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，每个支臂朝向所述支撑结构的一侧设置有与所述支撑结构对应的凹槽，所述导电结构对应设置于所述凹槽中。4.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述导电结构设置于所述支臂朝向所述支撑结构的一侧的表面。5.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述导电结构位于对应的所述支撑垫和所述支臂之间。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明伟，李秉谦，刘曦，万美辉，赵代洲，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11