一种晶圆片分选装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆片分选装置，包括储存室、支撑架、第一抽气泵、第二抽气泵、第一分选手臂、第二分选手臂和控制器，所述储存室内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架通过焊接与储存室固定连接，控制器通过焊接与支撑架固定连接，所述第一抽气泵和第二抽气泵置于支撑架上部，所述支撑架下部设有第一分选手臂和第二分选手臂，所述第一分选手臂和第二分选手臂底部分别设有吸管，吸管外侧设有储存袋，储存袋通过连接座与吸管固定连接；所述吸管内部设有挡板，挡板倾斜放置。该一种晶圆片分选装置，通过在支撑架上部设有两个抽气泵，控制抽气泵的气压进而对不同质量的晶圆片进行分选，从而提高分选效率。

A Wafer Sorting Device

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片分选装置
本技术涉及晶圆片分选设备
，具体为一种晶圆片分选装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。传统的晶圆片在分选时不能有效的对不同功能的晶圆片进行识别，从而降低了晶圆片的分选效率。为此我们设计了一款新型的一种晶圆片分选装置，解决了传统的一种晶圆片分选装置使用不便的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆片分选装置，以解决现有的技术缺陷和不能达到的技术要求。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆片分选装置，包括储存室、支撑架、第一抽气泵、第二抽气泵、第一分选手臂、第二分选手臂和控制器，所述储存室内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架通过焊接与储存室固定连接，控制器通过焊接与支撑架固定连接，所述第一抽气泵和第二抽气泵置于支撑架上部，所述支撑架下部设有第一分选手臂和第二分选手臂，所述第一分选手臂和第二分选手臂底部分别设有吸管，吸管外侧设有储存袋，储存袋通过连接座与吸管固定连接；所述吸管内部设有挡板，挡板倾斜放置，挡板通过卡槽与吸管内侧固定连接，挡板上设有通孔。作为本技术的一种优选实施方式，所述吸管与储存室内部晶圆片接触连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述第一分选手臂和第二分选手臂与支撑架之间设有移动块，移动块通过导线与控制器连接，第一分选手臂和第二分选手臂通过移动块与支撑架滑动连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述吸管与第一分选手臂和吸管与第二分选手臂之间分别设有旋转盘，旋转盘通过导线与控制器连接。作为本技术的一种优选实施方式，所述吸管与第一抽气泵和第二抽气泵之间各设有导气管。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：与传统的一种晶圆片分选装置相比，改良后的一种晶圆片分选装置在支撑架底部设有两个分选手臂，通过操作控制器进而控制分选手臂，根据不同类型的晶圆片质量不同，进而通过控制抽气泵的气压，进而是的吸管内部产生吸力，从而对储存室内的晶圆片质量由低到高依次分选，符合质量的晶圆片进入到吸管内部在挡板的作用下进入到储存袋中，从而实现对不同功能的晶圆片进行分离，提高晶圆片的分选效率。附图说明图1为本技术一种晶圆片分选装置结构示意图；图2为本技术一种晶圆片分选装置吸管内部结构示意图。图中：储存室-1，支撑架-2，第一抽气泵-3，第二抽气泵-4，第一分选手臂-5，第二分选手臂-6，导气管-7，吸管-8，旋转盘-9，移动块-10，控制器-11，储存袋-12，挡板-13。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种晶圆片分选装置，包括储存室1、支撑架2、第一抽气泵3、第二抽气泵4、第一分选手臂5、第二分选手臂6和控制器11，所述储存室1内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架2通过焊接与储存室1固定连接，控制器11通过焊接与支撑架2固定连接，所述第一抽气泵3和第二抽气泵4置于支撑架2上部，所述支撑架2下部设有第一分选手臂5和第二分选手臂6，所述第一分选手臂5和第二分选手臂6底部分别设有吸管8，吸管8外侧设有储存袋12，储存袋12通过连接座与吸管8固定连接；所述吸管8内部设有挡板13，挡板13倾斜放置，挡板13通过卡槽与吸管8内侧固定连接，挡板13上设有通孔。请参阅图1，所述吸管8与储存室1内部晶圆片接触连接，晶圆片通过吸管8进入到储存袋12储存，从而实现对不同功能晶圆片进行分离。请参阅图1，所述第一分选手臂5和第二分选手臂6与支撑架2之间设有移动块10，移动块10通过导线与控制器11连接，第一分选手臂5和第二分选手臂6通过移动块10与支撑架2滑动连接。请参阅图1，所述吸管8与第一分选手臂5和吸管8与第二分选手臂6之间分别设有旋转盘9，旋转盘9通过导线与控制器11连接，通过操作控制器11进而控制旋转盘9的转动，从而带动吸管8转动，进而对储存室1内部进行搅拌，提高晶圆片的筛选效率。请参阅图1，所述吸管8与第一抽气泵3和第二抽气泵4之间各设有导气管7，通过操作控制器11进而控制第一抽气泵3和第二抽气泵4内的气压，从而使得吸管8内部产生不同的吸力，进而对晶圆片进行筛选。本技术的储存室1，支撑架2，第一抽气泵3，第二抽气泵4，第一分选手臂5，第二分选手臂6，导气管7，吸管8，旋转盘9，移动块10，控制器11，储存袋12，挡板13，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是在支撑架上部设有抽气泵，支撑架底部设有分选手臂，本技术通过上述部件的互相组合，能够使其吸管内部产生不同的吸力，进而将对应质量的晶圆片吸进储存袋中，实现对不同功能的晶圆片进行分离。工作原理：将不同功能的晶圆片混合放进储存室1中，通过操作控制器11进而控制第一抽气泵3和第二抽气泵4内的气压，使其吸管8内部产生不同的吸力，再通过操作控制器11控制移动块10移动，使得吸管8与储存室1内部的晶圆片接触，进而将相对应质量的晶圆片吸进储存袋12中，实现对不同功能的晶圆片进行分离。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片分选装置，包括储存室（1）、支撑架（2）、第一抽气泵（3）、第二抽气泵（4）、第一分选手臂（5）、第二分选手臂（6）和控制器（11），其特征在于：所述储存室（1）内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架（2）通过焊接与储存室（1）固定连接，控制器（11）通过焊接与支撑架（2）固定连接，所述第一抽气泵（3）和第二抽气泵（4）置于支撑架（2）上部，所述支撑架（2）下部设有第一分选手臂（5）和第二分选手臂（6），所述第一分选手臂（5）和第二分选手臂（6）底部分别设有吸管（8），吸管（8）外侧设有储存袋（12），储存袋（12）通过连接座与吸管（8）固定连接；所述吸管（8）内部设有挡板（13），挡板（13）倾斜放置，挡板（13）通过卡槽与吸管（8）内侧固定连接，挡板（13）上设有通孔。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片分选装置，包括储存室（1）、支撑架（2）、第一抽气泵（3）、第二抽气泵（4）、第一分选手臂（5）、第二分选手臂（6）和控制器（11），其特征在于：所述储存室（1）内部设有多个大小相同但质量不同的晶圆片，支撑架（2）通过焊接与储存室（1）固定连接，控制器（11）通过焊接与支撑架（2）固定连接，所述第一抽气泵（3）和第二抽气泵（4）置于支撑架（2）上部，所述支撑架（2）下部设有第一分选手臂（5）和第二分选手臂（6），所述第一分选手臂（5）和第二分选手臂（6）底部分别设有吸管（8），吸管（8）外侧设有储存袋（12），储存袋（12）通过连接座与吸管（8）固定连接；所述吸管（8）内部设有挡板（13），挡板（13）倾斜放置，挡板（13）通过卡槽与吸管（8）内侧固定连接，挡板（13）上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张栖源，
申请(专利权)人：江西点亮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36