一种晶圆片的刮边机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆片的刮边机，包括H形座，所述H形座的下表面固定有电机，所述电机的驱动轴外固定有第一定位轮，所述H形座的另一侧设置有折角移动座，所述折角移动座内通过轴承连接有轴杆，所述轴杆的外表面固定有第二定位轮，所述第一定位轮和第二定位轮内卡接有晶圆片，所述H形座的一侧固定有第一气缸，所述第一气缸的外端设置支撑板，所述支撑板的外表面固定刮刀，通过定位轮进行定位，其第二定位轮可伸缩控制间距，可根据晶圆片大小不同进行调节，便于定位夹持，电机驱动第一定位轮旋转，可带动晶圆片旋转，侧面通过可以进给的刮刀进行刮边，自动刮边组件简单，机构成本低，并且可根据晶圆片大小不同进行调节定位。并且可根据晶圆片大小不同进行调节定位。并且可根据晶圆片大小不同进行调节定位。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片的刮边机


[0001]本技术涉及晶圆片刮边领域，更具体地说，涉及一种晶圆片的刮边机。

技术介绍

[0002]晶圆片是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片；由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的“底”,所以晶圆片的形状是在圆形上通过该圆上的弦切掉一个边,成为有“底”的圆；
[0003]需要进行刮边处理，其在刮边时，现有CN 103594397 A一种晶圆片自动刮边机，包括用于安放晶圆片的安放装置、用于移动晶圆片的移动装置及用于给晶圆片刮边的刮边装置，所述安放装置包括第一安放装置和第二安放装置，所述刮边装置设在第一安放装置和第二安放装置之间，所述移动装置设有用于取放晶圆片的取放装置......
[0004]其上述专利中，刮边机构组件复杂，其不同晶圆片大小不同，不便于进行调节定位。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种晶圆片的刮边机，通过定位轮进行定位，其第二定位轮可伸缩控制间距，可根据晶圆片大小不同进行调节，便于定位夹持，电机驱动第一定位轮旋转，可带动晶圆片旋转，侧面通过可以进给的刮刀进行刮边，自动刮边组件简单，机构成本低，并且可根据晶圆片大小不同进行调节定位。
[0006]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0007]一种晶圆片的刮边机，包括H形座，所述H形座的下表面固定有电机，所述电机的驱动轴外固定有第一定位轮，所述H形座的另一侧设置有折角移动座，所述折角移动座内通过轴承连接有轴杆，所述轴杆的外表面固定有第二定位轮，所述第一定位轮和第二定位轮内卡接有晶圆片，所述H形座的一侧固定有第一气缸，所述第一气缸的外端设置支撑板，所述支撑板的外表面固定刮刀，通过定位轮进行定位，其第二定位轮可伸缩控制间距，可根据晶圆片大小不同进行调节，便于定位夹持，电机驱动第一定位轮旋转，可带动晶圆片旋转，侧面通过可以进给的刮刀进行刮边，自动刮边组件简单，机构成本低，并且可根据晶圆片大小不同进行调节定位。
[0008]进一步的，所述H形座的另一侧外表面固定有第二气缸，第二气缸的推进杆端面固定连接在折角移动座的外表面。
[0009]进一步的，所述第一定位轮和第二定位轮的外表面设置有定位环槽。
[0010]进一步的，所述第一定位轮和第二定位轮的外表面覆有橡胶层。
[0011]进一步的，所述电机分布设置在H形座的一侧两端。
[0012]进一步的，所述折角移动座的下表面贴合在H形座的内侧表面。
[0013]进一步的，所述刮刀通过螺丝固定在支撑板的外表面。
[0014]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0015](1)通过定位轮进行定位，其第二定位轮可伸缩控制间距，可根据晶圆片大小不同进行调节，便于定位夹持，电机驱动第一定位轮旋转，可带动晶圆片旋转，侧面通过可以进给的刮刀进行刮边，自动刮边组件简单，机构成本低，并且可根据晶圆片大小不同进行调节定位。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的整体结构右侧俯视图。
[0018]图中标号说明：
[0019]1H形座、2电机、3驱动轴、4第一定位轮、5折角移动座、6轴杆、7第二定位轮、8晶圆片、9第一气缸、90第二气缸、11刮刀、10支撑板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1
[0022]请参阅图1
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2，一种晶圆片的刮边机，包括H形座1，H形座1的下表面固定有电机2，电机2的驱动轴3外固定有第一定位轮4，H形座1的另一侧设置有折角移动座5，折角移动座5内通过轴承连接有轴杆6，轴杆6的外表面固定有第二定位轮7，第一定位轮4和第二定位轮7内卡接有晶圆片8，H形座1的一侧固定有第一气缸9，第一气缸9的外端设置支撑板10，支撑板10的外表面固定刮刀11；
[0023]H形座1的另一侧外表面固定有第二气缸90，第二气缸90的推进杆端面固定连接在折角移动座5的外表面，可通过第二气缸90推进或收缩调节第二定位轮7的位置，可根据晶圆片8直径进行调节，可使晶圆片卡入第一定位轮4和第二定位轮7的定位环槽处内侧表面，通过电机2驱动第一定位轮4旋转，可带动晶圆片8旋转，再通过第一气缸9带动支撑板10推进，可带动刮刀11贴合在晶圆片8的表面，可进行旋转刮边，使用方便，便于对不同大小的晶圆片8进行夹持定位刮边；
[0024]第一定位轮4和第二定位轮7的外表面覆有橡胶层，增大摩擦力。电机2分布设置在H形座1的一侧两端，第一定位轮4两侧分布，便于驱动晶圆片8旋转；
[0025]折角移动座5的下表面贴合在H形座1的内侧表面，移动时，可贴合H形座1表面滑道，其刮刀11通过螺丝固定在支撑板10的外表面，便于安装刮刀11。
[0026]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式；但本技术的保护范围并不局限于此。任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片的刮边机，包括H形座(1)，其特征在于：所述H形座(1)的下表面固定有电机(2)，所述电机(2)的驱动轴(3)外固定有第一定位轮(4)，所述H形座(1)的另一侧设置有折角移动座(5)，所述折角移动座(5)内通过轴承连接有轴杆(6)，所述轴杆(6)的外表面固定有第二定位轮(7)，所述第一定位轮(4)和第二定位轮(7)内卡接有晶圆片(8)，所述H形座(1)的一侧固定有第一气缸(9)，所述第一气缸(9)的外端设置支撑板(10)，所述支撑板(10)的外表面固定刮刀(11)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片的刮边机，其特征在于：所述H形座(1)的另一侧外表面固定有第二气缸(90)，第二气缸(90)的推进...

【专利技术属性】
技术研发人员：张栖源，
申请(专利权)人：江西点亮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：