本实施例提供一种晶圆制造派工方法、派工装置及电子设备，涉及集成电路制造领域，目的是为了解决现有的晶圆制造派工方法难以兼顾生产时间和设备产能最大化的问题。本发明专利技术的方法包括：建立包含待派工晶圆制品信息和可作业设备信息的信息表；根据待派工晶圆制品的若干个指标筛选出优先作业批和非优先作业批；按照生产配方一致原则从信息表中依次筛选出优先作业批的最优设备和非优先作业批的最优设备，并添加到派工清单中，以对待派工晶圆制品进行派工。本发明专利技术的方法综合考虑多种因素来确定优先作业批，灵活地实现制品派工的控制，既保证了制品的良率、品质和交期，也能满足瓶颈设备的稼动率需求，减少切换生产配方的次数，提高了瓶颈设备的产能。了瓶颈设备的产能。了瓶颈设备的产能。
【技术实现步骤摘要】
晶圆制造派工方法、派工装置及电子设备
[0001]本专利技术属于集成电路制造领域，更具体地，涉及半导体晶圆制造过程的派工方法、派工装置、电子设备及计算机可读存储介质。
技术介绍
[0002]半导体晶圆制造系统是当今世界最为复杂的制造系统之一。在一个大型晶圆制造工厂中，常常需要同时加工多个品种但批量不同和/或批量较小的晶圆制品，这些晶圆制品不仅类型不同，其交货期也存在很大差异，因此各自对加工工艺流程、加工时间及周期的要求也不同。这种情况下，如何充分发挥现有生产线各站点设备的产能、实时安排生产线中各个设备上待加工产品的加工顺序以及如何合理安排同一设备实时切换不同的待加工产品、提供合理准确的派工清单，并依据派工清单安排生产，进而提高产能、降低成本、满足交期，是一项极其复杂且重要的工作，也是体现半导体晶圆制造工厂生产效能的关键所在。
[0003]目前，一般来说，光刻设备及其工艺环节一直是晶圆制造企业的主要瓶颈之一，根据约束理论(Theory of Constraints，TOC)，系统瓶颈是决定系统生产绩效的主要因素，因此，充分利用光刻设备的产能、防止因瓶颈设备空闲而造成系统整体的产能下降是晶圆制造工厂需要面对并解决好的重要问题。当前，晶圆工厂中有两种常用的派工方法：一种派工方法是基于量产达成率(On
‑
Time Delivery for Volume，OTDV)优先的派工方法，这种方法会对与光刻设备当前正在运行的生产配方相同的待加工品进行优先派工，对其他产品则要延迟派工，但在实际生产运营中，不同的产品其优先级、许容时间、制品类型、等待时间等可能均不相同，面对诸多制约因素，很显然，这种派工方法是难以做到灵活而有效的派工的；另一种派工方法是基于准时交货率(On
‑
Time Delivery for Order，OTDO)优先的派工方法，这种派工方法虽然能够保证产品的品质，却难以发挥光刻设备等瓶颈设备的产能潜力，使瓶颈设备的稼动率达不到预期值。
[0004]那么，以保证产品品质为前提，如何在满足产品交期和设备产能最大化之间寻求平衡和优化，是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]为了解决现有的晶圆制造派工方法难以兼顾生产时间和设备产能最大化的问题，本专利技术提供了一种晶圆制造派工方法、派工装置及电子设备。本专利技术还提供一种计算机可读介质。
[0006]本申请第一方面实施例提供一种晶圆制造派工方法，包括：建立包含待派工晶圆制品信息和可作业设备信息的信息表；根据待派工晶圆制品的若干个指标筛选出所述待派工晶圆制品中的优先作业批和非优先作业批；以及按照生产配方一致原则从所述信息表中依次筛选出优先作业批的最优设备和非优先作业批的最优设备，并将所述优先作业批和所述非优先作业批及各自对应的最优设备添加到派工清单中，以对待派工晶圆制品进行派工。
[0007]在其中一种可能的实现方式中，所述派工方法还包括：为每个作业批分配一个唯一的加工序号；以及在所述按照生产配方一致原则从所述信息表中筛选出优先作业批的最优设备和非优先作业批的最优设备的过程中，当出现多个优先作业批/非优先作业批对应同一个最优设备时，将该最优设备分配给加工序号靠前的所述优先作业批/非优先作业，并将该优先作业批/非优先作业批及该最优设备添加到所述派工清单中，同时，将该优先作业批/非优先作业批及该最优设备从所述信息表中删除。
[0008]在其中一种可能的实现方式中，所述派工方法还包括：若仍有优先作业批未被派工，并且当信息表中剩余的可作业设备的数量大于0时，从所述信息表中的可作业设备中筛选出未被派工的优先作业批的最优设备，并将该优先作业批和该最优设备添加到所述派工清单中。
[0009]在其中一种可能的实现方式中，所述方法按照设备最快释放原则从所述信息表中的可作业设备中筛选出未被派工的优先作业批的最优设备。
[0010]在其中一种可能的实现方式中，所述派工方法还包括：当所述信息表中剩余的可作业设备的数量为0时，从所述派工清单中的所述非优先作业批对应的最优设备中筛选出可作业设备作为未被派工的优先作业批的最优设备；以及将该最优设备及该非优先作业批从所述派工清单中删除，同时，将该最优设备及该优先作业批添加到所述派工清单中。
[0011]在其中一种可能的实现方式中，所述派工方法还包括：若所述信息表中仍存在非优先作业批和可作业设备，从所述可作业设备中筛选出所述非优先作业批的最优设备，并将所述非优先作业批及对应的最优设备添加到所述派工清单中。
[0012]在其中一种可能的实现方式中，所述若干个指标还包括优先级、许容时间、紧迫系数、等待时间、本月入库批、客户优先批以及制品数量。
[0013]本申请第二方面实施例还提供了一种电子设备，包括：至少一个处理器和存储有计算机程序的存储器；当计算机程序被处理器读取并执行时，使得电子设备执行如上的晶圆制造派工方法。
[0014]本申请第三方面实施例还提供了一种存储有计算机程序的可读存储介质，当计算机程序被电子设备读取并执行时，使得电子设备执行如上的晶圆制造派工方法。
[0015]本专利技术实施例提供的晶圆制造派工方法及电子设备，可根据设备的运行状态、当前设备运行的生产配方、待派工制品的一定比例许容时间、等待时间、优先级、加工时间等因素来决定多种待派工制品在制造系统上的派工先后顺序，灵活地实现制品派工的控制，既保证了制品的品质、良率和交期，一定程度上也减少了切换生产配方的次数，改善了瓶颈设备的稼动率，进而提高了瓶颈设备的产能。
附图说明
[0016]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。为方便阐释技术方案，附图中省略了部分已知的结构。在附图中：
[0017]图1为根据本专利技术一个实施例的一种晶圆制造派工方法的流程图；
[0018]图2为根据本专利技术一个实施例的一种晶圆制造派工方法的流程图；
[0019]图3为根据本专利技术一个实施例的一种晶圆制造派工装置的功能框架图；
[0020]图4为根据本专利技术一个实施例的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0021]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例做进一步的更详细地说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]现有的晶圆制造派工方法难以在满足产品交期和设备产能最大化之间达到平衡，为解决上述问题，本申请实施例提供了一种晶圆制造派工方法，能够在保证产品品质的前提下，即满足产品交期，又能实现设备产能最大化。
[0023]实施例一
[0024]本实施例提供了一种晶圆制造派工方法。如图1和图2所示，晶圆制造派工方法包括如下步骤：
[0025]S1、建立包含待派本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆制造派工方法，其特征在于，包括如下步骤：建立包含待派工晶圆制品信息和可作业设备信息的信息表；根据待派工晶圆制品的若干个指标确定出所述待派工晶圆制品中的优先作业批和非优先作业批；以及按照生产配方一致原则从所述信息表中依次筛选出优先作业批的最优设备和非优先作业批的最优设备，并将所述优先作业批和所述非优先作业批及各自对应的最优设备添加到派工清单中，以对待派工晶圆制品进行派工。2.如权利要求1所述的派工方法，其特征在于，所述派工方法还包括：为每个作业批分配一个唯一的加工序号；以及在所述按照生产配方一致原则从所述信息表中筛选出优先作业批的最优设备和非优先作业批的最优设备的过程中，当出现多个优先作业批/非优先作业批对应同一个最优设备时，将该最优设备分配给加工序号靠前的所述优先作业批/非优先作业批，并将该优先作业批/非优先作业批及该最优设备添加到所述派工清单中。3.如权利要求1或2所述的派工方法，其特征在于，若仍有优先作业批未被派工，所述派工方法还包括：当所述信息表中剩余的可作业设备的数量大于0时，从所述信息表中的可作业设备中筛选出未被派工的优先作业批的最优设备，并将该优先作业批和该最优设备添加到所述派工清单中；当所述信息表中剩余的可作业设备的数量为0时，从所述派工清单中的所述非优先作业批对应的最优设备中筛选出可作业设备作为未被派工的优先作业批的最优设备；以及将该最优设备及该非优先作业批从所述派工清单中删除，同时，将该最优设备及该优先作业批添加到所述派工清单中。4.如权利要求3所述的派工方法，其特征在于，若所述信息表中仍存在非优先作业批和可作业设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：张昊，姜浩，江浩志，闫磊，李元元，陆素仙，李续楠，宋珏池，任志军，
申请(专利权)人：北京燕东微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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