热-光调制器制造技术

本实施例提供一种热

【技术实现步骤摘要】
热
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光调制器


[0001]本技术涉及热
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光调制器，属于半导体微电子
，更具体的属于集成光学和光波导技术。

技术介绍

[0002]随着信息数据的海量增长以及传统集成电路工艺逐渐接近极限，基于电信号的信息传输技术开始略显不足。由于光子传输速度远大于电子，且光信号的复用能力以及抗电磁干扰能力均比电信号要强，“光互连”概念应运而生。由于硅基光电子学与传统CMOS工艺具有完美的兼容性，使得“光互连”跳过工艺探索阶段直接进入了实际应用阶段。
[0003]芯片中的信号需要通过调制器才能进行信息转换。硅基光电子学中的调制器按照工作原理主要分为电
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光调制器、热
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光调制器和声
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光调制器。其中热
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光调制器因为调节效率高、损耗低、工艺简单、成本低等优势被广泛应用。热
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光调制器的基本原理是给加热器通电使其发热，通过改变半导体波导材料温度的方式改变波导材料的折射率，从而对半导体材料波导内传输的光信号进行相位调制。但热...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热
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光调制器，其特征在于，包括波导、加热器、包覆层、隔热腔以及电连接结构，其中，所述波导、所述加热器以及所述隔热腔均位于所述包覆层内，所述电连接结构的一端与所述加热器电连接、另一端用于连接外部电路；所述加热器包括电连通的顶部加热器和两个侧部加热器，所述顶部加热器位于所述波导上方，所述两个侧部加热器分别位于所述波导两侧；所述隔热腔位于所述侧部加热器远离所述波导的一侧，且所述隔热腔的顶端低于所述顶部加热器的顶端。2.如权利要求1所述的热
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光调制器，其特征在于，所述波导为条形波导或脊形波导。3.如权利要求2所述的热
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光调制器，其特征在于，所述脊形波导包括波导本体以及连接在所述波导本体两侧的侧臂结构；所述顶部加热器位于所述波导本体上方，所述侧部加热器和所述隔热腔位于所述侧臂结构上方。4.如权利要求1
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3任一项所述的热
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光调制器，其特征在于，所述侧部加热器为整体结构；或者，所述侧部加热器包括多个部分，所述多个部分间隔设置并沿所述波导的长度方向排列。5.如权利要求4所述的热
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光...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵华，刘恩峰，晋孟佳，冯兴甲，王乾，
申请(专利权)人：北京燕东微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：