本申请提供一种标准机械接口侧连接件、连接装置和标准机械接口，涉及半导体加工技术领域，解决因设备震动产生SMIF位移的问题。该连接件包括：固定板和至少一个活动插板；固定板的至少三个端部设有可调节螺栓；活动插板包括固定连接的操作部和插接部，插接部表面上设有至少两个卡件，固定板上设有与活动插板数量对应的引导槽，每个卡件位于对应的引导槽中，并且能够沿着引导槽移动；固定板上设有与活动插板数量对应的安装板，每个所述安装板表面设有凹槽。所述连接装置包括镶嵌配合标准机械接口侧连接件和机台侧连接件。本申请具有高稳定性、快速与机台分离、不易误触脱扣的特性，减少甚至完全避免因设备震动等因素产生的SMIF位移问题。移问题。移问题。
【技术实现步骤摘要】
标准机械接口侧连接件、连接装置和标准机械接口
[0001]本申请涉及半导体加工
，尤其涉及一种标准机械接口侧连接件、连接装置和标准机械接口。
技术介绍
[0002]目前晶圆加工产线中，多通过SMIF(Standard Mechanical Interface，标准机械接口或标准机械接口系统)将其中的晶圆传送盒(pod盒)打开，将晶圆传送盒中的片盒(Casstte)搬送到半导体加工设备的载片台上。为方便设备维护，标准机械接口与半导体设备之间需要通过连接装置进行适配性连接，确保SMIF与机台之间保持相对固定，避免二者之间发生相对位移而影响SMIF的精准搬送功能。
[0003]相关技术中，标准机械接口中典型的连接装置包括两部分，一部分位于SMIF上，一般安装在SMIF的腔体上，称为标准机械接口侧连接件或SMIF侧连接件；另一部分安装在半导体加工设备上，称为机台侧连接件或设备侧连接件。标准机械接口侧连接件与机台侧连接件匹配连接，使得SMIF与半导体设备之间保持相对固定。
[0004]但在半导体生产过程中，震动无时无刻都在发生，比如当SMIF上的机械手带动片盒移动，以及设备机台运行时，都会造成SMIF与设备机台之间发生相对位移，原调节好的搬送位置参数不再适合发生位移后的位置，使得SMIF无法将片盒放置于机台的合适位置，进而造成机台无法检测到片盒而报警。
技术实现思路
[0005]为了解决上述技术缺陷，本申请实施例提供了一种标准机械接口侧连接件、连接装置和标准机械接口。
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种标准机械接口侧连接件，包括：固定板和至少一个活动插板；所述固定板的至少三个端部设有可调节螺栓，所述可调节螺栓用于抵接于半导体设备上；所述活动插板包括固定连接的操作部和插接部，所述插接部朝向所述固定板的表面上设有至少两个卡件，所述固定板上设有与所述活动插板数量对应的引导槽，所述活动插板的所述卡件位于对应的引导槽中，并且能够沿着所述引导槽移动；所述固定板上还设有与所述活动插板数量对应的安装板，所述安装板垂直固定在所述固定板上，所述安装板的一侧与固定板固定连接，另一侧朝向半导体设备且该侧表面设有凹槽。
[0007]在其中一种可能的实现方式中，所述卡件为卡接柱，每个所述卡接柱的一端与所述插接部固定，另一端伸出所述引导槽，且伸出引导槽的一端的尺寸大于所述引导槽的宽度。
[0008]在其中一种可能的实现方式中，操作部运动的极限位置不超出所述固定板的端部。
[0009]在其中一种可能的实现方式中，所述活动插板和所述引导槽均为多个，其中多个所述活动插板沿固定板的竖直方向排布，多个所述引导槽的延伸方向相互平行。
[0010]在其中一种可能的实现方式中，所述活动插板设置在所述固定板沿竖直方向的中间位置，或者多个所述活动插板关于水平方向对称。
[0011]在其中一种可能的实现方式中，所述固定板为矩形或者X型，所述固定板其中三个端部设有可调节螺栓，另一个端部为固定螺栓；或者所述固定板的四个端部均设有可调节螺栓。
[0012]在其中一种可能的实现方式中，所述固定板上设有与所述活动插板数量对应的止挡件，所述止挡件设置在所述引导槽延伸方向，并且当所述插接部处于极限位置时，与所述止挡件接触。
[0013]第二方面，本技术实施例还提供一种连接装置，包括机台侧连接件以及上述的标准机械接口侧连接件，且所述机台侧连接件的数量与所述标准机械接口侧连接件的活动插板数量对应，其中，所述机台侧连接件包括连接件本体，所述连接件本体具有相对设置的第一表面和第二表面，其中第一表面用于与半导体设备固定连接，第二表面朝向所述标准机械接口侧连接件，且第二表面上垂直固定有两个支撑板，两个所述支撑板中间设有连接柱，且所述连接柱与所述连接件本体之间具有间隙；所述标准机械接口侧连接件的插接部插接于所述间隙内，所述标准机械接口的安装板上的凹槽与所述连接柱镶嵌配合。
[0014]在其中一种可能的实现方式中，所述机台侧连接件为多个，多个所述机台侧连接件沿固定板的竖直方向排布，且多个机台侧连接件的连接柱相互平行。
[0015]第三方面，本技术实施例还提供一种标准机械接口，包括腔体，所述腔体用于容置晶圆传送盒，还包括上述的连接装置，其中所述标准机械接口侧连接件固定在所述腔体上。
[0016]本申请实施例中提供的标准机械接口侧连接件、连接装置和标准机械接口，具有高稳定性、便于操作和拆卸、不易误触脱扣等特性，减少甚至完全避免因设备震动等因素产生的SMIF位移问题，进而使SMIF与半导体设备机台之间的连接更加稳定，确保SMIF能够将晶圆传送盒中的片盒搬送到半导体设备机台的准确位置，从而减少了维护频度，提升设备的稳定性，从而缩短设备调试时间，提高设备稼动率，节约了人力及维护成本。在此基础上，隐藏式插板手柄可杜绝非专业人员误触导致插板锁脱扣现象发生，确保产线安全。
[0017]本申请实施例中提供的标准机械接口，由于采用上述连接装置，因而能够与半导体设备有效固定，有效避免因震动导致SMIF与设备机台之间发生相对位移，确保产线加工效率。
附图说明
[0018]图1为相关技术的标准机械接口侧连接件的结构示意图；
[0019]图2为图1示出的标准机械接口侧连接件的主视图；
[0020]图3为相关技术的机台侧连接件的结构示意图；
[0021]图4为相关技术中标准机械接口侧连接件与机台侧连接件的安装结构示意图；
[0022]图5为本申请实施例提供的标准机械接口侧连接件的立体结构示意图；
[0023]图6为图5示出的标准机械接口侧连接件的主视图；
[0024]图7为图5示出的标准机械接口侧连接件的后视图；
[0025]图8为本申请实施例提供的另一种标准机械接口侧连接件的结构示意图；
[0026]图9为图8示出的标准机械接口侧连接件的主视图；
[0027]图10为图8示出的标准机械接口侧连接件的后视图；
[0028]图11为本申请实施例提供的再一种标准机械接口侧连接件的结构示意图；
[0029]图12为图11示出的标准机械接口侧连接件的主视图；
[0030]图13为图11示出的标准机械接口侧连接件的后视图；
[0031]图14为本申请实施例提供的标准机械接口侧连接件与机台侧连接件的安装结构示意图。
[0032]附图标记说明：
[0033]11、固定板；111、引导槽；12、可调节螺栓；13、活动插板；131、第一连接板；132、第二连接板；133、第三连接板；134、手柄；14、止挡件；15、安装板；151、凹槽；
[0034]31、本体；32、支撑板；33、连接柱；
[0035]51、固定板；511、引导槽；52、可调节螺栓；53、活动插板；531、插接部；532、操作部；533、卡件；54、安装板；541、凹槽；55、止挡件。
具体实施方式
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种标准机械接口侧连接件，其特征在于，包括：固定板和至少一个活动插板；所述固定板的至少三个端部设有可调节螺栓，所述可调节螺栓用于抵接于半导体设备上；所述活动插板包括固定连接的操作部和插接部，所述插接部朝向所述固定板的表面上设有至少两个卡件，所述固定板上设有与所述活动插板数量对应的引导槽，所述活动插板的所述卡件位于对应的引导槽中，并且能够沿着所述引导槽移动；所述固定板上还设有与所述活动插板数量对应的安装板，所述安装板垂直固定在所述固定板上，所述安装板的一侧与固定板固定连接，另一侧朝向半导体设备且该侧表面设有凹槽。2.根据权利要求1所述的标准机械接口侧连接件，其特征在于，所述卡件为卡接柱，每个所述卡接柱的一端与所述插接部固定，另一端伸出所述引导槽，且伸出引导槽的一端的尺寸大于所述引导槽的宽度。3.根据权利要求1所述的标准机械接口侧连接件，其特征在于，操作部运动的极限位置不超出所述固定板的端部。4.根据权利要求1所述的标准机械接口侧连接件，其特征在于，所述活动插板和所述引导槽均为多个，其中多个所述活动插板沿固定板的竖直方向排布，多个所述引导槽的延伸方向相互平行。5.根据权利要求1或4所述的标准机械接口侧连接件，其特征在于，所述活动插板设置在所述固定板沿竖直方向的中间位置，或者多个所述活动插板关于水平方向对称。6.根据权利要求1或4所述的标准机械接口侧连接件，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰晓东，刘志强，喻阳，侯浩，王雪超，霍达，
申请(专利权)人：北京燕东微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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