CO太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元及制备方法技术

本发明专利技术涉及一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，谐振单元由聚酰亚胺衬底和衬底上的金属层构成，所述衬底的厚度为20～30μm；所述的衬底上方形成有0.1～0.3μm的金金属层；所述的金属层中形成有镂空的I字型谐振结构阵列。与现有技术相比，本发明专利技术中滤波器的性能，其中心谐振频率位于0.81THz，正符合一氧化碳分子转动特征谱线(370μm/0.81THz)。该滤波器在0.81THz处最大透过率为94％，其透过率曲线的半宽全高值(Full Maximum Half Width:FMHW)达到0.36THz。

Resonant Unit of CO Terahertz Characteristic Spectrum Detection Filter and Its Preparation Method

【技术实现步骤摘要】
CO太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元及制备方法
本专利技术涉及太赫兹技术和半导体微加工
，尤其是涉及一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元及制备方法。
技术介绍
如所周知，在针对某个特定天文物理过程开展研究中，就必须抓住相对某一星际分子特征信号的探测，并同时抑制其它频率与之接近的辐射信号的干扰，以提高观测精度和图像质量。基于通过分析一氧化碳分子J转动特征谱线(370μm/0.81THz)，可以研究宇宙中分子云内部的物理过程。为了获得高清晰度的太赫兹THz天文图像，就必须拥有高灵敏度的太赫兹THz天文探测装置。因此，0.81THz为中心频率的太赫兹THz滤波器，就成了用于研究分子云内部的物理过程的太赫兹THz天文探测技术相配套的重要元件。当前，在主要面向天文探测的太赫兹THz滤波器都是基于金属网格滤波器。根据电磁波传输线理论(TransmissionLineTheory)，金属部分如同电感，而自由空间部分如同电容，只有与网格单元尺寸相互匹配的特定波长的电磁波才能实现电感-电容共振，从而透过滤波器。如已超过20年的美国VDI公司和英国的THzinstrumen本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，其特征在于，谐振单元由聚酰亚胺衬底和衬底上的金属层构成，所述衬底的厚度为20～30μm；所述的衬底上方形成有0.1～0.3μm的金金属层；所述的金属层中形成有镂空的I字型谐振结构阵列。

【技术特征摘要】
1.一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，其特征在于，谐振单元由聚酰亚胺衬底和衬底上的金属层构成，所述衬底的厚度为20～30μm；所述的衬底上方形成有0.1～0.3μm的金金属层；所述的金属层中形成有镂空的I字型谐振结构阵列。2.根据权利要求1所述的一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，其特征在于，每个谐振结构包括两条横轴和一条纵轴；所述的两条横轴的长度和宽度相等，纵轴垂直连接于两条横轴上，垂足为两条横轴的中点。3.根据权利要求1所述的一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，其特征在于，所述的衬底的厚度为25μm，所述的金属层的厚度为0.2μm。4.根据权利要求2所述的一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，其特征在于，所述的横轴的长度为28μm，宽8μm，所述的纵轴长80μm，宽8μm。5.根据权利要求2所述的一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，其特征在于，所述的谐振结构阵列所覆盖的面积为14.4mm×14.4mm，包括多个相邻设置的90μm×160μm的矩形区域，每个90μm×160μm的矩形区域上形成有一个I字型谐振结构。6.一种权利要求1中一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将聚酰亚胺衬底置于去离子水中，并在超声环境中清洗，去除表面残留颗粒物，然后将表面吹干；S2：将光刻胶涂于聚酰亚胺衬底表面，固化光刻胶；S3：将光掩膜版I型阵列图形转移到聚酰亚胺衬底表面，并显影、清洗；S4：在干燥后的聚酰亚胺衬底上镀厚度为20～30μm的金属金层，得到金属化的聚酰亚胺衬底；S5：将金属化的聚酰亚胺衬底浸泡于丙酮溶剂中，利用丙酮渗透固化后的光刻胶，将胶面上的金属由聚酰亚胺衬底表面剥离，将没有光刻胶保...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵振宇，赵辉，
申请(专利权)人：上海师范大学，
类型：发明
国别省市：上海,31