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本发明涉及一种用于一氧化碳分子转动太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元，谐振单元由聚酰亚胺衬底和衬底上的金属层构成，所述衬底的厚度为20～30μm；所述的衬底上方形成有0.1～0.3μm的金金属层；所述的金属层中形成有镂空的I字型谐振结构阵列...
该专利属于上海师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海师范大学授权不得商用。

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