一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置制造方法及图纸

技术编号:22040676 阅读:33 留言:0更新日期:2019-09-07 11:00
本发明专利技术公开了一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,本发明专利技术可使单晶棒料的切割工序和水洗脱胶工序集成在一起,让单晶棒料的加工变得更加简单,且其能够节省很多不必要的人工劳动力,其中,夹紧机构能够在棒料切割的时候夹紧更加稳定,移动机构能够在棒料一次切割完成后,自动往切割点送料,使切割工序更加的高效。

An adjustable water-washing and degumming device for single crystal products

【技术实现步骤摘要】
一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置
本专利技术涉及单晶
,具体为一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置。
技术介绍
目前单晶产品越来越被广泛使用,其中有一种单晶棒料的成型加工需要进行切割工序和水洗脱胶工序,需要很多设备和人工劳动力,对切割而言,目前市面上的设备,在低成本高性能的前提下,很少有自动送料以及自动切割的,都需要人工手动协助,且自动切割往往需要多个电机同时控制不同的运动,另外,一般的夹紧装置稳定性差,对水洗脱胶而言,现有的单晶棒料水洗脱胶设备在切割物水洗脱胶时,胶水和碎屑在脱胶后通常会堆积在脱胶台的底部,长时间会影响后续的脱胶。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,用于克服现有技术中的上述缺陷。根据本专利技术的实施例的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽,所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构,所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套,所述工作腔内设有支撑架和动力箱,所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆,两组所述滑杆左右对称,所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接,所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧,所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构,所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构,所述动力箱内开设有动力腔,所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构,所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔,所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构。进一步的技术方案,所述夹紧机构包括固定套,所述固定套固设在所述夹紧柱的外周上,所述固定套的左侧固设有两组上下对称的气缸,所述气缸的右侧均动力连接有推动杆,所述推动杆向右延伸部分均贯穿所述固定套的内壁,且其右侧面均铰接有第一连杆,所述第一连杆的另一侧面均铰接有第二连杆,所述第二连杆的弯曲部分均与所述夹紧柱铰接,且其右侧面均固设有夹紧套,所述工作腔的底壁上固设有辅助台,所述辅助台位于所述夹紧柱右侧。进一步的技术方案,所述移动机构包括第一电机,所述移动槽的下侧连通齿轮腔,所述第一电机固嵌在所述齿轮腔的底壁里,所述齿轮腔内设有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与所述第一电机动力连接,所述齿轮腔的后壁上转动设有第二锥齿轮和第一齿轮,所述第一齿轮位于所述第二锥齿轮后侧,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一齿轮向上延伸部分伸入所述移动槽内,所述滑板下侧面带有齿牙,所述第一齿轮与所述滑板下侧面啮合。进一步的技术方案,所述切割机构包括固设在所述动力箱的左侧面的矩形块,所述矩形块的左侧面转动设有两组前后对称的从动轮,所述支撑架转动安装有切割轴,所述切割轴的外周上固设有切割线轮,所述切割线轮与两组所述从动轮之间安装有金刚切割线,所述切割轴向右延伸部分贯穿所述支撑架和所述动力箱的内壁,并伸入所述动力腔内。进一步的技术方案,所述升降机构包括皮带轴,所述皮带轴转动设在所述动力箱的右侧面上,所述皮带轴向左延伸部分伸入所述动力腔内,所述工作腔的顶壁上固设有两组左右对称的第二金属套,所述第二金属套均滑动连接有滑块,所述滑块与所述第二金属套之间均安装有第二弹簧,两组所述滑块之间转动设有从动轴,所述工作腔的顶壁上固设有固定柱,所述固定柱的左侧转动连接有传动轴,所述工作腔的上侧开设有传动腔,所述传动腔与所述工作腔之间连通设有连接腔,所述传动腔的右壁上转动设有横轴,所述皮带轴、所述从动轴、所述传动轴和所述横轴之间安装有第一皮带,所述第一皮带贯穿所述连接腔。进一步的技术方案,所述支撑架的上侧面固设有第一螺套,所述动力箱的上侧面固设有第二螺套,所述工作腔和所述传动腔之间的内壁里转动设有第一螺杆和第二螺杆,所述第一螺杆位于所述第二螺杆左侧,所述第一螺杆和所述第二螺杆向上延伸部分均伸入所述传动腔内,所述第一螺杆的上侧面固设有第一带轮,所述第二螺杆的外周上固设有第二带轮,所述第一带轮和所述第二带轮之间安装有第二皮带,所述第一螺杆和所述第二螺杆向下延伸部分均伸入所述工作腔内,所述第一螺杆与所述第一螺套螺纹配合,所述第二螺杆与所述第二螺套螺纹配合,所述第二螺杆的上侧面固设有第三锥齿轮,所述横轴的左侧面固设有第四锥齿轮,所述第三锥齿轮与所述第四锥齿轮啮合。进一步的技术方案,所述动力机构包括固设在所述动力腔右壁上的第二电机,所述第二电机的左侧动力连接有棘轮组件,所述动力腔的左壁转动设有齿轮轴,所述齿轮轴与所述棘轮组件固定连接,所述齿轮轴的外周上固设有第二齿轮,所述切割轴的右侧面固设有第三齿轮,所述第三齿轮与所述第二齿轮啮合,所述皮带轴的左侧面固设有第四齿轮,所述第四齿轮与所述棘轮组件啮合。进一步的技术方案,所述清洗机构包括水洗轮,所述水洗轮转动设在所述清洗腔的底壁上,所述水洗轮的顶面固设有海绵,所述清洗腔的底壁里固嵌有第三电机,所述第三电机与所述水洗轮动力连接,所述水洗轮内壁里设有五组均匀排布的排胶孔,所述清洗腔左右两侧壁上均固设有辅助块,所述辅助块的下侧均转动安装有转盘,所述转盘的下侧固定安装有毛刷,所述清洗腔的下侧连通设有,所述的下侧连通安装有排污管,所述排污管可与外界连通,所述排污管的下侧面固设有排污阀,所述存污腔的右侧连通设有充液管,所述充液管与外界连通,且其位于外界部分固定安装有充液阀。本专利技术的有益效果是:本专利技术可使单晶棒料的切割工序和水洗脱胶工序集成在一起,让单晶棒料的加工变得更加简单,且其能够节省很多不必要的人工劳动力,其中,夹紧机构能够在棒料切割的时候夹紧更加稳定,移动机构能够在棒料一次切割完成后,自动往切割点送料,使切割工序更加的高效,切割机构、升降机构和动力机构能够相互联动,仅用一个电机即可控制启动向下切割、停止切割和向上回收三种运动,让装置在稳定可靠的同时,其成本得到有效的控制,动力机构的水洗脱胶功能优化程度更高,水洗轮和排胶孔能够防止胶质堵塞。附图说明图1是本专利技术的内部整体结构示意图;图2是本专利技术中金刚切割线的安装示意图;图3是本专利技术图1中A-A方向的示意图;图4是本专利技术图1中B的放大示意图。具体实施方式下面结合图1-4对本专利技术进行详细说明,为叙述方便,现对下文所说的方位规定如下:下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。参照图1-4,根据本专利技术的实施例的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体12,所述主机体12内开设有工作腔11,所述工作腔11内设有夹紧柱18,所述夹紧柱18的外周上设有可固定单晶棒料13的夹紧机构101,所述夹紧柱18的下侧固设有支撑块17,所述工作腔11的底壁上滑动设有滑板16,所述支撑块17固设在所述滑板16上,所述工作腔11的下侧靠左位置开设有移动槽15,所述移动槽15内设有可控制所述滑板16左右滑动的移动机构102,所述工作腔11的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套20,所述工作腔11内设有支撑架23和动力箱2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,其特征在于:所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽,所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构,所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套;所述工作腔内设有支撑架和动力箱,所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆,两组所述滑杆左右对称,所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接,所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧,所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构,所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构,所述动力箱内开设有动力腔,所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构,所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔,所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构。

【技术特征摘要】
1.一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,包括主机体,其特征在于:所述主机体内开设有工作腔,所述工作腔内设有夹紧柱,所述夹紧柱的外周上设有可固定单晶棒料的夹紧机构,所述夹紧柱的下侧固设有支撑块,所述工作腔的底壁上滑动设有滑板,所述支撑块固设在所述滑板上,所述工作腔的下侧靠左位置开设有移动槽,所述移动槽内设有可控制所述滑板左右滑动的移动机构,所述工作腔的顶壁上铰接设有两组左右对称的第一金属套;所述工作腔内设有支撑架和动力箱,所述支撑架和所述动力箱的顶面上均铰接有滑杆,两组所述滑杆左右对称,所述滑杆均与所述第一金属套滑动连接,所述滑杆的顶面与所述第一金属套之间均安装有第一弹簧,所述支撑架的下侧设有可以用于切割单晶棒料成圆片状的切割机构,所述动力箱的右侧连接设有可以控制所述动力箱和所述支撑架上下移动的升降机构,所述动力箱内开设有动力腔,所述动力腔内设有可以给所述切割机构和所述升降机构提供动力的动力机构,所述工作腔的下侧靠右位置连通设有清洗腔,所述清洗腔内设有可以接收单晶棒料被切割形成的单晶圆片,并进行水洗脱胶的清洗机构。2.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述夹紧机构包括固定套,所述固定套固设在所述夹紧柱的外周上,所述固定套的左侧固设有两组上下对称的气缸,所述气缸的右侧均动力连接有推动杆,所述推动杆向右延伸部分均贯穿所述固定套的内壁,且其右侧面均铰接有第一连杆,所述第一连杆的另一侧面均铰接有第二连杆,所述第二连杆的弯曲部分均与所述夹紧柱铰接,且其右侧面均固设有夹紧套,所述工作腔的底壁上固设有辅助台,所述辅助台位于所述夹紧柱右侧。3.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述移动机构包括第一电机,所述移动槽的下侧连通齿轮腔,所述第一电机固嵌在所述齿轮腔的底壁里,所述齿轮腔内设有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与所述第一电机动力连接,所述齿轮腔的后壁上转动设有第二锥齿轮和第一齿轮,所述第一齿轮位于所述第二锥齿轮后侧,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一齿轮向上延伸部分伸入所述移动槽内,所述滑板下侧面带有齿牙,所述第一齿轮与所述滑板下侧面啮合。4.根据权利要求1所述的一种单晶产品的可调式切割水洗脱胶装置,其特征在于:所述切割机构包括固设在所述动力箱的左侧面的矩形块,所述矩形块的左侧面转动设有两组前后对称的从动轮,所述支撑架转动安装有切割轴,所述切割轴的外周上固设有切割线轮,所述切割线轮与两组所述从动轮之间安装有金刚切割线,所述切割轴向右延伸部分贯穿所述支撑架和所述动力箱的内壁,并伸入所述动力腔内。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:方珏
申请(专利权)人:深圳市雯逸水晶有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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