晶棒翻转小车制造技术

本发明专利技术提供一种晶棒翻转小车，包括：车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构，所述晶棒固定机构固定在所述车身的顶部，所述晶棒固定机构与所述换向翻转机构固定连接，所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接，通过转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。本发明专利技术提供的晶棒翻转小车，操作过程安全简单，翻转过程中晶棒不会直接与地面或其他硬物接触，避免了晶棒因受力不均匀而导致隐裂异常，保证了晶棒的品质，节省了人力，提高了效率。

CRYSTAL ROD ROLLING CAR

【技术实现步骤摘要】
晶棒翻转小车
本专利技术涉及半导体芯片行业和光伏太阳能行业领域，尤其涉及一种晶棒翻转小车。
技术介绍
硅晶棒是半导体生产的基础材料，单晶硅是制造硅晶因片的基础材料，多晶硅粗砂是制造单晶硅的基础材料。市场上卖的IC产品，高级的像CPU，低级的像各种小塑封小集成块，都是最终的产品。在半导体制造中，晶圆是通过晶棒切割出来的，晶棒切割前需要将约100KG重的晶棒粘连在工件板上，粘好的晶棒，晶棒在上，工件板在下，而安装到切片机上时，工件板在上，晶棒在下，即需要将粘有工件板上的晶棒进行翻转180度。靠工人手抬翻转，十分费力，而且很不安全。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种晶棒翻转小车，通过机械设计实现晶棒的安全翻转，节省人力，提高效率。本专利技术提供一种晶棒翻转小车，包括：车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构，所述换向翻转机构固定在所述车身的顶部，所述换向翻转机构与所述晶棒固定机构固定连接，所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接，转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。可选的，所述换向翻转机构包括：螺杆轴、盘形旋转齿轮和翻转支撑杆，所述螺杆轴一端与所述转动机构连接，另一端与所述盘形旋转齿轮连接；所述翻转支撑杆一端与所述盘形旋转齿轮连接，另一端与所述晶棒固定机构连接。可选的，所述转动机构和所述换向翻转机构分别设置在所述车身的顶部相的对的两端。可选的，所述转动机构与所述车身的顶部的一端之间的距离30～40mm，所述盘形旋转齿轮位于所述车身的顶部的一端的边缘位置。可选的，所述晶棒固定机构包括：承载板及固定在所述承载板上的夹紧卡爪，所述承载板与所述翻转支撑杆固定连接，所述夹紧卡爪用于将晶棒固定在所述承载板上。可选的，所述承载板上设置有传动滚轮。可选的，所述晶棒翻转小车还包括：限位板，所述限位板固定在所述车身的顶部的上表面，并设置在所述翻转支撑杆的下方、所述盘形旋转齿轮的两侧。可选的，所述晶棒翻转小车还包括：翻转自锁机构。可选的，所述翻转自锁机构包括：设置在所述盘形旋转齿轮内的插销。可选的，所述盘形旋转齿轮通过螺栓、螺母固定在所述车身的顶部，所述螺杆轴通过定位孔的轴承连接固定在所述车身的顶部。可选的，所述转动机构与所述与换向翻转机构通过螺旋齿轮或螺杆齿轮传动连接。可选的，所述转动机构为一手柄。综上，本专利技术提供的一种晶棒翻转小车，通过转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒，操作过程安全简单，翻转过程中晶棒不会直接与地面或其他硬物接触，避免了晶棒因受力不均匀而导致隐裂异常，，保证了晶棒的品质，节省了人力，提高了效率。附图说明图1为本专利技术实施例中晶棒翻转小车的结构框架图图2A和图2B为本专利技术实施例中晶棒翻转小车的结构示意图。附图标记说明：11-车身；12-晶棒固定机构；13-换向翻转机构；14-转动机构；100-晶棒；111-顶部；112-底部；121-承载板；122-夹紧卡爪；131-螺杆轴；132-盘形旋转齿轮；133-翻转支撑杆；141-手柄；151-万向轮；152-刹车机构；161-晶棒连接机构；171-限位板。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术的晶棒翻转小车作进一步详细说明。根据下面的说明和附图，本专利技术的优点和特征将更清楚，然而，需说明的是，本专利技术技术方案的构思可按照多种不同的形式实施，并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。在说明书和权利要求书中的术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换，例如可使得本文所述的本专利技术实施例能够以不同于本文所述的或所示的其他顺序来操作。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。若某附图中的构件与其他附图中的构件相同，虽然在所有附图中都可轻易辨认出这些构件，但为了使附图的说明更为清楚，本说明书不会将所有相同构件的标号标于每一图中。请参考图1、图2A和图2B，本专利技术提供一种晶棒翻转小车，包括：车身11、晶棒固定机构12、换向翻转机构13及转动机构14，所述换向翻转机构13固定在所述车身11的顶部111，所述晶棒固定机构12与所述换向翻转机构13固定连接，所述转动机构14与所述换向翻转机构12转动连接，通过转动所述转动机构14带动所述换向翻转机构13翻转固定在所述晶棒固定机构12上的晶棒100。其中，所述换向翻转机构13包括：螺杆轴131、盘形旋转齿轮132和翻转支撑杆133。所述盘形旋转齿轮132可以为一齿轮组，例如包含若干并列设置的盘形旋转齿轮132，所述翻转支撑杆133也可称为翻转的机械臂，具有较强的承重能力，所述翻转支撑杆133与所述盘形旋转齿轮132配套设置，例如本实施例中所述换向翻转机构13包含两个并列设置的盘形旋转齿轮132，每个所述盘形旋转齿轮132连接一所述翻转支撑杆133。所述晶棒固定机构12包括：承载板121及固定在所述承载板121上的夹紧卡爪122，所述换向翻转机构13的螺杆轴131一端与所述转动机构14连接，另一端与所述盘形旋转齿轮132连接；所述翻转支撑杆133一端与所述盘形旋转齿轮132连接，另一端与所述晶棒固定机构12连接，即与所述承载板121固定连接。所述夹紧卡爪122用于将晶棒100固定在所述承载板121上，所述承载板121上设置有传动滚轮，便于将晶棒100从固化区转移至晶棒翻转小车上。所述换向翻转机构13通过螺栓、螺母固定在所述车身11的顶部111的上表面，即所述盘形旋转齿轮132通过螺栓、螺母固定在所述车身11的顶部111，所述螺杆轴131通过定位孔的轴承连接固定在所述车身11的顶部111，在本专利技术其他实施例中所述螺杆轴131也可以通过螺栓、螺母固定在所述车身11的顶部111。所述转动机构14与换向翻转机构13(螺杆轴131)通过螺旋齿轮或螺杆齿轮转动连接。因此，转动所述转动机构14带动所述螺杆轴131转动，继而带动所述盘形旋转齿轮132，所述翻转支撑杆133在所述盘形旋转齿轮132的带动下，将固定在所述晶棒固定机构12上的晶棒100进行翻转。所述转动机构14例如可以为一手柄141，操作人员可以通过旋转手柄141带动换向翻转机构13进而带动晶棒100翻转，当然所述转动机构14也可以是由电机控制的转动装置。所述转动机构14和所述换向翻转机构13分别设置在所述车身11的顶部111的相对的两端。所述转动机构14与所述车身11的顶部111一端之间的距离介于30mm～40mm之间，所述盘形旋转齿轮132位于所述车身11的顶部111的一端的边缘位置，这样便于所述盘形旋转齿轮132转动带动所述翻转支撑杆133将晶棒100从所述车身11的顶部111的上方翻转至所述车身11的顶部111的下方，即使所述晶棒100翻转180度。且手柄141在与所述换向翻转机构13相对的一端，晶棒100在翻转过程中不会对操作人员的安全带来隐患。另外，本实施中晶棒100从所述车身11的顶部11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶棒翻转小车，其特征在于，包括：车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构，所述换向翻转机构固定在所述车身的顶部，所述换向翻转机构与所述晶棒固定机构固定连接，所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接，转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。

【技术特征摘要】
1.一种晶棒翻转小车，其特征在于，包括：车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构，所述换向翻转机构固定在所述车身的顶部，所述换向翻转机构与所述晶棒固定机构固定连接，所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接，转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。2.根据权利要求1所述的晶棒翻转小车，其特征在于，所述换向翻转机构包括：螺杆轴、盘形旋转齿轮和翻转支撑杆，所述螺杆轴一端与所述转动机构连接，另一端与所述盘形旋转齿轮连接；所述翻转支撑杆一端与所述盘形旋转齿轮连接，另一端与所述晶棒固定机构连接。3.根据权利要求2所述的晶棒翻转小车，其特征在于，所述转动机构和所述换向翻转机构分别设置在所述车身的顶部相对的两端。4.根据权利要求3所述的晶棒翻转小车，其特征在于，所述转动机构与所述车身的顶部的一端之间的距离介于30mm～40mm之间，所述盘形旋转齿轮位于所述车身的顶部的一端的边缘位置。5.根据权利要求1所述的晶棒翻转小车，其特征在于，所述晶棒固定机构包括：承载板及固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：周智元，闻澜霖，王道平，杨胜友，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31