一种用于单晶硅加工静音式防尘装置制造方法及图纸

技术编号:21855908 阅读:42 留言:0更新日期:2019-08-14 01:45
本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅加工静音式防尘装置,包括防尘箱体,所述防尘箱体下端面安装有减震底座,所述减震底座的下端固定连接有橡胶垫块,所述防尘箱体右侧端面设置有控制盒,且防尘箱体的前端开口处安装有滑动键,所述防尘箱体的前端位于减震底座的上端位置处设置有挡板,所述挡板中间端面安装有可视窗,所述防尘箱体的内部设置有刻蚀机。设置了减震设备,使设备工作时,不会带动防尘装置整体抖动,保障了使用者安全,增加了内部工作机器加工精度,设置了防尘壳体内的隔音板,在工件加工过程中,工件发出的噪音通过箱体内部隔音设施进行缓冲,降低声音震动,达到静音的目标,避免噪声影响使用者的身心健康。

A Silent Dust-proof Device for Single Crystal Silicon Processing

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅加工静音式防尘装置
:本技术涉及防尘装置
,具体是一种用于单晶硅加工静音式防尘装置。
技术介绍
:单晶硅,硅的单晶体,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等,单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位,单晶体硅后期加工需要防尘防静电,避免静电击穿,为了避免以上情况发生,在单晶硅加工中,对浮尘要求特别苛刻的刻腐防机设备,一般设置有防尘装置,防尘装置,是避免设备暴露在空气尘埃中,并给与一种相对无尘空间的一种装置。但是,现有的防尘装置没有设置减震设备,导致设备工作时,带动防尘装置整体抖动,危害使用者安全,影响内部工作机器加工精度,没有设置防尘壳体内的隔音板,导致了在工件加工过程中,加工工件发出的噪音没有通过任何处理措施直接传导至外界,造成噪音污染,影响使用者的身心健康,降低其他工作人员的工作效率,没有设置恒温机,导致防尘箱体内部工件因温度差异导致工件塑性变形,影响加工质量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单晶硅加工静音式防尘装置,包括防尘箱体(1),其特征在于,所述防尘箱体(1)下端面安装有减震底座(4),所述减震底座(4)的下端固定连接有橡胶垫块(6),所述防尘箱体(1)右侧端面设置有控制盒(3),且防尘箱体(1)的前端开口处安装有滑动键(5),所述防尘箱体(1)的前端位于减震底座(4)的上端位置处设置有挡板(7),所述挡板(7)中间端面安装有可视窗(8),所述防尘箱体(1)的内部设置有刻蚀机(2)。

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅加工静音式防尘装置,包括防尘箱体(1),其特征在于,所述防尘箱体(1)下端面安装有减震底座(4),所述减震底座(4)的下端固定连接有橡胶垫块(6),所述防尘箱体(1)右侧端面设置有控制盒(3),且防尘箱体(1)的前端开口处安装有滑动键(5),所述防尘箱体(1)的前端位于减震底座(4)的上端位置处设置有挡板(7),所述挡板(7)中间端面安装有可视窗(8),所述防尘箱体(1)的内部设置有刻蚀机(2)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅加工静音式防尘装置,其特征在于,所述挡板(7)通过滑动键(5)与防尘箱体(1)滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅加工静音式防尘装置,其特征在于,所述防尘箱体(1)内侧表面涂有防尘涂料。4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅加工静音式防尘装置,其特征在于,所述防尘箱体(1)板材内部设置有隔音板(9),且隔音板(9)选用消音材料,所述滑动键(5)分别安装在防尘箱体(1)的上下两端,所述可视窗(8)为双层透明钢化玻璃,...

【专利技术属性】
技术研发人员:陶建涛贠书印高贻刚李一得李婷
申请(专利权)人:内蒙古赛宝伦科技有限公司
类型:新型
国别省市:内蒙古,15

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