【技术实现步骤摘要】
硅片转运装置
本技术涉及一种硅片运输搬运装置，尤其涉及一种硅片转运装置。
技术介绍
现市面上的硅片转运装置的布局方式为在硅片入花篮装置的花篮输送线同侧同时设有花篮入料装置和硅片入料装置，然后将硅片置入花篮内，再将满载硅片的花篮输送出去。面对日益增长的生产需求，在现有的硅片转运装置的布局方式上很难在进行速度和效率的提升，进而无法满足现阶段对硅片入花篮的生产节拍的需求。
技术实现思路
为了能够提高硅片入花篮的生产效率，本技术的技术方案提供了一种硅片转运装置。技术方案如下：第一方面，本技术提供了一种硅片转运装置，包括至少一个硅片入料装置、至少一个花篮入料装置和硅片入花篮装置，硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧，硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，花篮升降台与花篮翻转装置沿花篮输送线依次设置。通过硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧的设计，使得原先在硅片入花篮装置一侧执行的操作分化为两侧执行，使得原先只能放置一个硅片入料装置和一个花篮入料装置的位置现在能够放置至少两个硅片入料装置或花篮入料装置，因此大大提升了硅片和花篮...
【技术保护点】
1.一种硅片转运装置，其特征在于，包括至少一个硅片入料装置、至少一个花篮入料装置和硅片入花篮装置，所述硅片入料装置和所述花篮入料装置分别设置在所述硅片入花篮装置的两侧，所述硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，所述花篮升降台与所述花篮翻转装置沿所述花篮输送线依次设置。
【技术特征摘要】
1.一种硅片转运装置，其特征在于，包括至少一个硅片入料装置、至少一个花篮入料装置和硅片入花篮装置，所述硅片入料装置和所述花篮入料装置分别设置在所述硅片入花篮装置的两侧，所述硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，所述花篮升降台与所述花篮翻转装置沿所述花篮输送线依次设置。2.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，硅片入料装置包括硅片获取部、硅片输送部和硅片分选部，所述硅片获取部与所述硅片分选部沿所述硅片输送部依次设置。3.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片获取部包括硅片顶升装置，硅片分离装置和硅片抓取夹爪，所述硅片顶升装置设置在所述硅片分离装置下方，所述硅片抓取夹爪设置在所述硅片分离装置的上方，所述顶升装置被配置于顶起所述硅片以让所述硅片抓取夹爪能够获取到硅片。4.根据权利要求3所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片分离装置为相对设置的一对风刀，所述风刀通过风力分离粘附在一起的硅片。5.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘德方，安迪，邱其伟，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。