一种用于晶圆生产环境的静电检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及静电检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置；包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪上设置有探头；还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹簧和后转动柱；还包括两组固定块、两组拉板、两组连接杆、两组套簧和两组连接板，两组固定块上均设置有通口；还包括四组螺栓、四组螺母、四组支腿和四组转动杆，四组转动杆一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆另一端均设置有吸盘，四组支腿上均设置有第一通孔，四组转动杆上均设置有第二通孔，四组螺母与四组转动杆之间均设置有锁紧垫。

An Electrostatic Detection Device for Wafer Production Environment

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产环境的静电检测装置
本技术涉及静电检测附属装置的
，特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置。
技术介绍
众所周知，用于晶圆生产环境的静电检测装置是一种用于晶圆生产过程中，对生产环境进行静电检测，使晶圆更安全进行生产的辅助装置，其在静电检测的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产环境的静电检测装置包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪通过连接导线与静电检测仪本体连接，探枪上设置有探头；现有的用于晶圆生产环境的静电检测装置使用时，通过探头进行静电检测，通过显示屏进行数据显示，并通过控制键组对静电检测仪本体进行操作控制，通过端口组连接各类其他导线，静电检测仪本体、连接导线、探枪和探头为市面常见电器件，买回使用时仅需按照一同购回的使用说明书相互电连接并与市电电连接即可进行使用，故在此不再赘述；现有的用于晶圆生产环境的静电检测装置使用中发现，当连接导线过长时，不能方便进行缠绕整理，使其较易自相缠绕，导致其实用性较差；并且不能方便对探枪进行稳定放置，导致其使用较为不便；而且其整体不能方便进行移动，从而导致其适应能力较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种其当连接导线过长时，可以方便进行缠绕整理，使其不易自相缠绕，提高其实用性；并且能够方便对探枪进行稳定放置，使其使用较为方便；而且其整体可以方便进行移动，从而提高其适应能力的用于晶圆生产环境的静电检测装置。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪通过连接导线与静电检测仪本体连接，探枪上设置有探头；还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹簧和后转动柱，前连接柱安装在静电检测仪本体顶端前方，把手安装在连接架上，前转动柱的前端与连接架连接，前转动柱的后端穿过前连接柱并伸出至前连接柱后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱前端连接；还包括两组固定块、两组拉板、两组连接杆、两组套簧和两组连接板，两组固定块均安装在静电检测仪本体左侧壁前侧和后侧，两组固定块上均设置有通口，两组连接杆一端分别与两组拉板连接，两组连接杆另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块的内侧与两组连接板连接，两组套簧分别套装在两组连接杆外侧，两组套簧的一端分别与固定块内侧壁连接，两组套簧的另一端分别与两组连接板外侧连接；还包括四组螺栓、四组螺母、四组支腿和四组转动杆，四组支腿分别安装在静电检测仪本体底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆另一端均设置有吸盘，四组支腿上均设置有第一通孔，四组转动杆上均设置有第二通孔，四组螺栓分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母内部，四组螺母与四组转动杆之间均设置有锁紧垫，四组锁紧垫分别套装在四组螺栓外侧。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括保护壳，保护壳内部设置有保护腔，保护壳右侧连通设置有保护口，保护壳盖装在探枪上，探头位于保护腔内部，探枪顶端和底端均设置有限位柱，保护壳顶端和底端均设置有弹性绳，两组弹性绳分别套装在两组限位柱外侧。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括后连接柱，后连接柱安装在静电检测仪本体顶端后方，后连接柱前侧壁上设置有放置槽，并在放置槽内部设置有滚珠轴承和限位片，放置槽前侧设置有挡片，还包括转动管，转动管后侧穿过挡片插入至滚珠轴承内部并与限位片连接。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，转动管前侧连通设置有连通口，还包括调节弹簧组和固定环，调节弹簧组一端与转动管内侧连接，调节弹簧组另一端与固定环连接，固定环上设置有缺口，后转动柱后侧卡装在固定环内部。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括固定柱和保护盖，固定柱安装在静电检测仪本体前侧，且固定柱位于控制键组和端口组的上方，保护盖顶端与固定柱铰接，且控制键组和端口组均位于保护盖内部。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括扭力弹簧和固定夹，固定夹通过扭力弹簧安装在后转动柱侧壁上。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括两组提杆和提杆，提杆左侧和右侧分别与两组提杆上方连接，两组提杆下方均安装在静电检测仪本体顶端。本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，两组弹性绳分别套装在两组限位柱外侧时，两组弹性绳均处于拉伸状态。与现有技术相比本技术的有益效果为：其可以通过手动转动把手，使其带动连接架上的后转动柱进行旋转，将连接导线一端固定在后转动柱上，使连接导线可以方便进行缠绕整理，当连接导线过长时，可以方便进行缠绕整理，使其不易自相缠绕，提高其实用性；并且能够向外侧拉动两组拉板，两组拉板分别带动两组连接板前后向移动，放置探枪，并松开两组拉板，两组连接板在两组套簧的作用下对探枪进行夹装固定，使其能够方便对探枪进行稳定放置，使其使用较为方便，而当拆卸时，拉开两组拉板，取出探枪即可，能够方便进行稳定放置或拆卸，降低其使用局限性；而且其可以通过四组万向轮使整体方便移动，并通过四组吸盘提高稳定性，当整体需要移动时，拧松四组螺母，转动转动杆，将万向轮端转至下方，拧紧四组螺母，当整体需要稳定时，拧松四组螺母，转动转动杆，将吸盘端转至下方，拧紧四组螺母，使其整体可以方便进行移动，从而提高其适应能力，锁紧垫方便螺母与转动杆之间进行锁紧，提高使用可靠性。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是前连接柱和后连接柱连接的结构示意图；图3是转动管的内部结构示意图；图4是固定块和连接板连接的结构示意图；图5是图1的A部局部放大图；附图中标记：1、静电检测仪本体；2、连接导线；3、探枪；4、探头；5、前连接柱；6、把手；7、连接架；8、前转动柱；9、后转动柱；10、固定块；11、拉板；12、连接杆；13、套簧；14、连接板；15、螺栓；16、螺母；17、支腿；18、转动杆；19、锁紧垫；20、保护壳；21、限位柱；22、弹性绳；23、后连接柱；24、挡片；25、转动管；26、固定环；27、固定柱；28、保护盖；29、固定夹；30、提杆；31、提手；32、显示屏；33、控制键组；34、端口组。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。如图1至图5所示，本技术的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体1、连接导线2和探枪3，静电检测仪本体1前侧壁设置有显示屏32、控制键组33和端口组34，探枪3通过连接导线2与静电检测仪本体1连接，探枪3上设置有探头4；还包括前连接柱5、把手6、连接架7、前转动柱8、连接弹簧和后转动柱9，前连接柱5安装在静电检测仪本体1顶端前方，把手6安装在连接架7上，前转动柱8的前端与连接架7连接，前转动柱8的后端穿过前连接柱5并伸出至前连接柱5后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱9前端连接；还包括两组固定块10、两组拉板11、两组连接杆12、两组套簧13和两组连接板14，两组固定块10均安装在静电检测仪本体1左侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体（1）、连接导线（2）和探枪（3），静电检测仪本体（1）前侧壁设置有显示屏（32）、控制键组（33）和端口组（34），探枪（3）通过连接导线（2）与静电检测仪本体（1）连接，探枪（3）上设置有探头（4）；其特征在于，还包括前连接柱（5）、把手（6）、连接架（7）、前转动柱（8）、连接弹簧和后转动柱（9），前连接柱（5）安装在静电检测仪本体（1）顶端前方，把手（6）安装在连接架（7）上，前转动柱（8）的前端与连接架（7）连接，前转动柱（8）的后端穿过前连接柱（5）并伸出至前连接柱（5）后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱（9）前端连接；还包括两组固定块（10）、两组拉板（11）、两组连接杆（12）、两组套簧（13）和两组连接板（14），两组固定块（10）均安装在静电检测仪本体（1）左侧壁前侧和后侧，两组固定块（10）上均设置有通口，两组连接杆（12）一端分别与两组拉板（11）连接，两组连接杆（12）另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块（10）的内侧与两组连接板（14）连接，两组套簧（13）分别套装在两组连接杆（12）外侧，两组套簧（13）的一端分别与固定块（10）内侧壁连接，两组套簧（13）的另一端分别与两组连接板（14）外侧连接；还包括四组螺栓（15）、四组螺母（16）、四组支腿（17）和四组转动杆（18），四组支腿（17）分别安装在静电检测仪本体（1）底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆（18）一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆（18）另一端均设置有吸盘，四组支腿（17）上均设置有第一通孔，四组转动杆（18）上均设置有第二通孔，四组螺栓（15）分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母（16）内部，四组螺母（16）与四组转动杆（18）之间均设置有锁紧垫（19），四组锁紧垫（19）分别套装在四组螺栓（15）外侧。...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体（1）、连接导线（2）和探枪（3），静电检测仪本体（1）前侧壁设置有显示屏（32）、控制键组（33）和端口组（34），探枪（3）通过连接导线（2）与静电检测仪本体（1）连接，探枪（3）上设置有探头（4）；其特征在于，还包括前连接柱（5）、把手（6）、连接架（7）、前转动柱（8）、连接弹簧和后转动柱（9），前连接柱（5）安装在静电检测仪本体（1）顶端前方，把手（6）安装在连接架（7）上，前转动柱（8）的前端与连接架（7）连接，前转动柱（8）的后端穿过前连接柱（5）并伸出至前连接柱（5）后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱（9）前端连接；还包括两组固定块（10）、两组拉板（11）、两组连接杆（12）、两组套簧（13）和两组连接板（14），两组固定块（10）均安装在静电检测仪本体（1）左侧壁前侧和后侧，两组固定块（10）上均设置有通口，两组连接杆（12）一端分别与两组拉板（11）连接，两组连接杆（12）另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块（10）的内侧与两组连接板（14）连接，两组套簧（13）分别套装在两组连接杆（12）外侧，两组套簧（13）的一端分别与固定块（10）内侧壁连接，两组套簧（13）的另一端分别与两组连接板（14）外侧连接；还包括四组螺栓（15）、四组螺母（16）、四组支腿（17）和四组转动杆（18），四组支腿（17）分别安装在静电检测仪本体（1）底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆（18）一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆（18）另一端均设置有吸盘，四组支腿（17）上均设置有第一通孔，四组转动杆（18）上均设置有第二通孔，四组螺栓（15）分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母（16）内部，四组螺母（16）与四组转动杆（18）之间均设置有锁紧垫（19），四组锁紧垫（19）分别套装在四组螺栓（15）外侧。2.如权利要求1所述的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，其特征在于，还包括保护壳（20），保护壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32